基于柔性铁电薄膜的流体驱动式压电传感器及其制备方法

2021-04-14 00:00:00

云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn

关键词：柔性铁电薄膜的

点击收藏

所属领域:

其它领域

项目成果/简介:

本发明公开了一种基于柔性铁电薄膜的流体驱动式压电传感器及其制备方法，包括玻璃基片和微流

控芯片基片；玻璃基片上集成有两相平行的 P(VDF-TrFE)电纺丝薄膜条；微流控芯片基片制作有微沟道

和分布于微沟道两侧的电极凹槽；微流控芯片基片还设有进样口、出样口和银浆注入口，进样口、出样

口与微沟道两端连通，银浆注入口与电极凹槽连通；玻璃基片和微流控芯片基片键合，?P(VDF-TrFE)

电纺丝薄膜条位于微沟道和电极凹槽底部。本发明制作简单，成本低廉

项目阶段:

未应用

知识产权编号:

201510419074.3

会员登录可查看合作方式、专利情况及联系方式

扫码关注，查看更多科技成果