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钛金属表面原位合成 TiC-DLC 复合涂层的方法

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
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所属领域:
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项目成果/简介:

本发明公开了一种钛金属表面原位合成 TiC-DLC 复合涂层的方法，将 Ti 靶置于镀膜室内，并通入 烃类气体，对镀膜室抽真空并保持 100~400°C温度，采用电弧离子镀使 Ti 离子从 Ti 靶蒸发出来，同时 利用电弧放电离化烃类气体，从而在 Ti 靶形成 TiC 掺杂的 DLC 复合涂层。本发明采用原位合成技术在 Ti 靶材表

项目阶段:
产业化应用
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