本实用新型涉及多自由度压电超声电机技术,具体涉及基于准田字形压电振子驱动的平面电机,包 括定子组件、动子组件、支座组件和预紧组件,采用准田字形定子组件,且通过预紧组件与支座组件连 接;动子组件分别连接定子组件和支座组件。电机通过激发准田字形定子组件的面外一阶对称弯曲振动、 左右围杆面内一阶弯曲振动、前后围杆面内一阶弯曲振动三种模态的振动或近共振复合出两相椭圆运动 轨迹,据此推动动子组件交替地沿 x、y 向移动。可实现微米甚至更高精度级平面运动;