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中国科学技术大学
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超精密电涡流位移传感器

2023-05-16 13:52:41
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
所属领域:
高端装备制造
项目成果/简介:

 1.温飘、分辨率、稳定性等指标具有国际领先水平;

2.温度自补偿技术、信号源漂移自矫正技术、噪声抑制技术等是主要创新点。 

应用范围:

 可用在大型天文望远镜中作为边缘传感器;

可以用在精密车床、电子显微镜、原子力显微镜、共焦显微镜等中 

项目阶段:

 小试中试阶段 

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