超快扫描电子显微镜

电子信息

在超高时空尺度对半导体材料的载流子动力学进行测量对新型低维半导材料和纳米光电器件开发具有重要的科学意义和实际应用价值。针对传统测量手段如超快光谱技术等在空间分辨率上的限制，本项目研制了一种基于场发射扫描电子显微镜的超快扫描电子显微镜系统，实现在纳米与飞秒超高时空分辨尺度下对半导体材料局域载流子动力学信息进行可视化测量和定量分析。该系统是测量半导体材料光生载流子动力学的前沿高端仪器设备。

超快扫描电镜设备的原理

应用案例：半导体表面光生载流子的测试应用

应用领域主要为半导体材料检测、光电材料检测、光伏与光电器件检测等；

用户主要为半导体材料与光电器件生产企业、高校与科研院所等。

目前国际上尚无公司能提供该类型的全套设备产品。我们研发的设备在时空分辨性能上比国际现有报道的类似设备都要高，且所有核心技术自主可控。我们是目前国内唯一能提供该设备和技术的研究团队。