多功能超快阴极荧光系统

电子信息

在超高时空尺度对半导体材料的载流子动力学进行测量对新型低维半导材料和纳米光电器件开发具有重要的科学意义和实际应用价值。针对传统测量手段如超快荧光光谱技术等在空间分辨率上的限制，本项目研制了一种基于场发射扫描电子显微镜的超快阴极荧光系统，实现在纳米与皮秒超高时空分辨尺度下对半导体材料局域发光性质以及载流子动力学信息进行研究和定量分析。该系统同时兼具时间分辨阴极荧光探测、静态荧光探测、偏振阴极荧光探测、角分辨阴极荧光探测等功能，可对材料荧光信息的各个组分进行综合、全方位的采集与分析，工作模式多样化，彼此之间可灵活切换且互不影响，是测量半导体材料荧光性质以及载流子动力学的高端仪器设备。

超快阴极荧光设备的原理

应用案例一：金刚石微晶局部荧光特性测试应用

应用案例二：弯曲氧化锌微米线载流子动力学测试应用

应用领域主要为半导体材料检测、光电材料检测、光伏与光电器件检测等；

用户主要为半导体材料与光电器件生产企业、高校与科研院所等。

目前国际上只有1家瑞士公司提供该类型的设备产品，售价约2000万1套。我们研发的设备在时空分辨性能上比国际现有的产品高1倍，且成本大为降低，且所有核心技术自主可控。我们是目前国内唯一能提供该设备和技术的研究团队。