针对催化剂表面碳析出-成核过程不可控、生长表面易失活和半导体性单壁碳纳米管难以分离等问题,我们突破了催化剂同步可控蒸发、成核-生长调控、电极棒连续供给等关键技术,解决批次间单壁碳纳米管直径、纯度一致性差的难题,实现高质量单壁碳纳米管的高效、宏量、可控制备。而且研究突破了高纯半导体性单壁碳纳米管分离与晶圆级薄膜组装技术,实现了纯度≥99.9%的半导体性单壁碳纳米管分离,并突破4-6英寸晶圆级薄膜可控制备。目前,正在推进电弧放电法制备单壁碳纳米管产业化进程,一方面可有效避开现有技术路线的缺陷和直接竞争,另一方面也将为发展碳基传感芯片和碳基集成电路提供高性能原材料。研究成果曾获2022年中国电子学会自然科学奖二等奖。
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