成熟度:技术突破 一种安全、可靠、光强稳定的数字化超高压汞灯曝光光源控制器,驱动功率高达3kW,功率调整步长小于5W,光强稳定性误差不高于0.3%@30min,汞灯触发成功率高于90%。 意向开展成果转化的前提条件:中试放大及产业化工艺开发资金支持