技术成熟度:技术突破
日盲紫外光电探测器具有优异的抗干扰能力和高温稳定性,在导弹预警、火焰探测等军事和民用领域有广泛的应用。氧化镓(Ga2O3)材料因合适的带隙宽度(4.4-5.3eV)和良好的热力学和化学稳定性成为制备日盲紫外探测器的理想材料。尽管氧化镓基日盲紫外探测器已经取得显著进展,但提升探测器性能、优化器件结构以及实现商业化应用仍面临着挑战。研发团队针对Ga2O3探测器响应度低、光谱选择型差和响应时间慢的问题,利用金属有机物化学气相沉积方法和范德华外延方法制备了Ga2O3单晶薄膜,并构建了异质结型和肖特基型探测器,器件在零偏压下响应度高于0.1 A/W,紫外/可见抑制比>104,响应上升/下降时间为微秒量级,探测性能处于国际前列水平。
意向开展成果转化的前提条件:中试放大及产业化工艺开发资金支持
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