室温下超灵敏高选择性痕量级HF传感器

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        技术成熟度：技术突破

        随着物联网和人工智能的快速发展，应用于半导体加工的氢氟酸(HF)需求急剧增长。然而，HF对人体的危害不可逆，因此迫切需要开发高灵敏度、高选择性和快速检测HF的方法。本展品展示了一种基于CuI-MCOF敏感材料构建的首例化学电阻型HF气体传感器。CuI-MCOF类似于人体鼻腔内嗅觉神经，通过选择性放大过程实现了对HF气体分子的特异性，该传感器在室温下对100ppm的HF气体展现出7188%的高灵敏度响应。响应时间和恢复时间分别仅为4秒和2秒，其检测限(LOD)为11 ppb。同时，具有优异的抗干扰性能（抗湿、抗干扰气）和出色的HF传感循环稳定性。

        意向开展成果转化的前提条件：中试放大及产业化工艺开发资金支持

独立研究