高质量CVD金刚石及其制备关键技术

新材料及其应用

金刚石具有宽带隙、高热导率、高击穿场强、高载流子迁移率，是制作高功/高频电子器件的理想半导体材料。金刚石耐高温、抗酸碱、抗腐蚀、抗辐照等优越性能，也使其在极端环境光学器件等领域具有极其重要的应用价值。

北京科技大学碳基材料与功能薄膜团队发展的新型双磁场调控直流喷射等离子体CVD，以及大功率微波等离子体CVD，可实现高质量、大尺寸、高厚度金刚石材料快速高效制备，研发的金刚石产品主要应用在精密刀具、热沉组件、光学窗口、半导体晶片等领域，覆盖超精密加工、高热流密度散热、高性能透波输能、精准探测与高频高功率电子器件、珠宝首饰等领域，金刚石材料制备及加工整体技术处于国际先进水平。

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