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中山大学 > 科技成果 > 正文

氮化硅基光子集成技术及关键器件

2021-04-10 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
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所属领域:
电子信息
项目成果/简介:
项目采用了中山大学自主研发的低损耗低应力超低温氮化硅材料平台，研制了一系列光子集成的关键 器件
项目阶段:
试用
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