专利内容是本发明针对背景技术存在的缺陷,提出了一种钇铁石榴石单晶薄膜及其液相外延制备方法,本发明得到的钇铁石榴石单晶薄膜的铁磁共振线宽很窄,达到了1Oe以下(0.4Oe),薄膜表面的粗糙度、晶格匹配、应力、含铅量、杂相等都得到了较大的改善。