微光学衍射器件

2021-04-11 00:00:00

云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn

关键词：衍射器件

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所属领域:

先进制造与自动化

项目成果/简介:

已有样品

深入研究基于标量衍射理论的GS算法、直接二元搜索法(DBS)、模拟退火算法(SA)、遗传算法(GA)、能量守恒算法及基于矢量衍射理论的积分法、微分法、模态法、耦合波法，开发出多款专业光学设计软件，可提供全局最优设计方案。深入开展高深宽比纳米结构的制备研究，成功实现大角度、复杂图形的设计、加工、制备。

项目阶段:

小批量或小范围应用

技术成熟度:

已有样品

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