紫外深层光刻机

2021-04-11 00:00:00

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关键词：光刻机

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所属领域:

先进制造与自动化

项目成果/简介:

已有样品

本机是中科院光电技术研究所发挥微细加工光刻设备研制技术优势，据市场需求开展创新应用研制成功的一种新型深紫外( 365nm)光刻设备。具有分辨率高，套刻准，线条陡直，线条高宽比大，曝光速度快，自动化程度和可靠性高等特点。微电子，微光学、微机械系统、MEMS、红外器件、光学分刻板、生物芯片、准UGA及声表面波等器件的研制和生产深层光刻中具有突出的功能和用途。

项目阶段:

小批量或小范围应用

技术成熟度:

已有样品

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