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URE-2000B型紫外光刻机

2021-04-11 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词： 紫外光刻机
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所属领域:
先进制造与自动化
项目成果/简介:

已有样品

主要技术特点该机采用i线紫外曝光光源，光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术，采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明，并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统（可同时使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚胶曝光功能，曝光设定采用微机控制，菜单界面友好，操作简便。

项目阶段:

小批量或小范围应用

技术成熟度:
已有样品
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