CdTe薄膜的表面腐蚀及用此法制备CdTe太阳电池,属于半导体器件加工领域。采用硝酸、冰乙酸、NaAc和去离子水的混合液作为腐蚀液,其中,NaAc作为缓冲剂,以保持溶液的pH值不变,使反应更稳定,通过CdTe和硝酸发生反应生成富碲层;清洗吹干后,沉积含Cu或不含Cu背接触层,最后沉积背电极以制备CdTe太阳电池。沉积背接触材料,可增加pn结附近的载流子浓度,降低肖特基势垒高度,避免直接沉积Cu形成比较复杂的CuxTe结构。采用这种方法腐蚀并制备CdTe太阳电池,可显著提高太阳电池的性能,并保证器件性能的稳定性和重复性。
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