超薄石墨片作衬底的碲化镉太阳电池,属于新能源材料与器件领域。本发明 采用柔性超薄石墨片作为衬底材料,在石墨片上溅射一层铜,进行热处理。铜 扩散进入石墨形成掺铜石墨片。在掺铜石墨片上沉积一层碲,再沉积碲化镉并 进行退火处理。在碲化镉的沉积及退火处理过程中,在石墨片和碲化镉之间形 成重掺杂的CuxTe层而实现柔性石墨衬底与碲化镉之间的欧姆接触。然后依次 沉积硫化镉、透明导电薄膜和栅状铝电极获得柔性碲化镉薄膜太阳电池。本发 明解决了制备高效柔性碲化镉电池所需的较高工艺温度与常规柔性衬底耐受温 度低的矛盾。
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