蓝宝石衬底抛光液及应用

一、 项目简介

本项目是为了解决光电器件最好衬底材料之一蓝宝石衬底材料抛光液在抛光过程中存在的衬底片表面去除速率低、粗糙度高、易划伤等问题，而研发一种化学作用强、去除速率快、表面粗糙度低、无划伤、成本低，且不污染环境及腐蚀设备的蓝宝石衬底材料抛光液及制备方法。本项目采用具有自主知识产权的多功能螯合剂作为pH调节剂,同时又可起到缓冲剂、磨料稳定剂、络合及螯合的作用，实现反应剂一剂多用，降低成本。

二、 项目技术成熟程度

经20多家中外企业使用表明，该抛光液性能稳定、速率快，可一次或循环使用，目前可批量生产和应用。

三、 技术指标（包括鉴定、知识产权专利、获奖等情况）

加工去除速率>5μm/h，表面粗糙度可降至Ra:0.1～0.3nm。天津市科学技术委员会鉴定结论：国际领先，已获国家发明专利授权6项，美国发明专利1项。

四、 市场前景（应用领域、市场分析等）

随着光电技术的飞速发展，光电产品对蓝宝石衬底需求量日益增加，开发新型的抛光液及抛光技术，提高光电器件用衬底加工质量，以推进冷光源的应用进程及节能减排的有效实施，并可用于国防、仪器仪表、红外窗口等领域，因此，市场前景广泛，也可为国家光电子工业发展起到很好的促进作用。

五、 规模与投资需求（资金需求、场地规模、人员等需求）

年产量5000吨的生产规模投资为约3000万元，需千级以上超净化厂房。

六、 生产设备

低压真空系统、百级超净车间、去离子水系统等

七、 效益分析

随着国家对节能减排任务的提出及对LED产业的大力支持，蓝宝石衬底片需求量越来越大，CMP超精密表面加工抛光液的需求量也越来越大，因此此项目具有很大的经济和社会效益潜力，价格仅为进口产品的1/3，效益显著。

八、 合作方式

以产学研用的合作模式，把研发出的产品与技术转化为生产力，如可提供技术服务与支持、经销公司代销售等。

九、 项目具体联系人及联系方式（包括电子邮箱）

刘玉岭，13602103962，liuyl@jingling.com.cn

十、高清成果图片2-3张