本发明涉及膦酸盐阻垢缓蚀剂的离子色谱分离分析方法,特别涉及等度分离非抑制电导检测的膦酸盐阻垢缓蚀剂的离子色谱分离分析方法。包括以下步骤:基线测绘、进样和离子交换、洗脱、非抑制电导检测分析;本发明对三种常用膦酸盐阻垢缓蚀剂能进行良好的分离分析,保留时间、峰高、峰面积的相对标准偏差均小于4%,工艺流程大为简化,本方法可用于膦酸盐阻垢缓蚀剂含量的检测,为也可同时检测实际样品的纯度。