本发明公开了一种高分辨率的生物传感器。第一绝缘层、纳米功能层和第二绝缘层构成的基本单元的中心设有纳米孔从而组成纳米功能层单元,第一电泳电极或微泵、第一储藏室、第二储藏室、第二电泳电极或微泵和微纳米分离通道构成微纳米流体器件单元,纳米功能层单元、源电极、漏电极、介电层、栅电极构成场效应晶体管单元。当生物分子在微纳米流体器件中经过纳米孔,并与纳米功能层发生相互作用时,由场效应晶体管单元测量该相互作用导致的场效应特征的变化,达到检测生物分子的目的。本发明解决了将纳米孔集成于纳米功能层的技术难点,可以控制生物分子穿越纳米孔时形态的变化,解决了达到检测生物分子的特征结构的分辨率,传感器的制备方法简单。
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