一种测量微位移的装置

高端装备制造

本发明公开了一种测量微位移的装置，包括导轨、固定安装在导轨前端的固定板、固定安装在导轨中部的主板以及活动安装在导轨后端可沿导轨轴线滑动的镜架，固定板上设有光检测器，主板上设有激光器、分光镜和第一反射镜，镜架上设有第二反射镜，所述激光器、分光镜、第一反射镜、第二反射镜和光检测器构成迈克尔逊干涉仪，被测物体的两端分别固定在主板和镜架上。本发明所提供的测量微位移的装置，结构简单，更加小型化，便于携带；测量结果由光检测器直接读取，提高了检测精度，且操作简单，易于调节。

国内领先

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