本发明公开了一种在SOI硅片上制备微机械悬空结构的方法。对悬空结构及其固定结构采用不同的槽宽设计，其中，固定结构的槽宽明显大于悬空结构，宽槽底部经刻蚀首先到达或更加接近SiO2层，再通过各向同性干法刻蚀使窄槽底部相互连通并与窄槽下方的Si层分离，将窄槽间的梁释放，形成具有平整底面的悬空结构，同时去除固定结构与悬空结构连接区底部的Si以及固定结构与其它结构之间的区域底部的Si，使得固定结构与窄槽下方的Si层及其它结构隔离，从而使不同的固定结构间相互绝缘。本发明的方法简单有效，能广泛应用于MEMS悬空结构的加工。

本发明属于材料力学技术领域，并公开了一种获取材料宏观三维等效属性的方法，包括如下步骤：(1)建立用于描述材料与微观结构的双尺度坐标系，基于渐进性扩展理论，构建材料宏观等效属性模型；(2)构建三维微观结构的周期性边界模型；(3)通过有限元分析来建立三维微观结构的周期性约束关系；(4)基于周期性约束关系建立三维微观结构内线弹性平衡方程，并根据线弹性平衡方程获得微观结构的位移场；(5)基于有限单元分析与微观结构的位移场，求解单元应变能，获得材料宏观三维等效属性；本发明提供的方法在进行有限单元分析中引入单元交互性能量，建立微观结构在单元测试应变下的总应变能与材料属性建立等价关系，高效获取材料属性。

1 成果简介 微波耦合加热移动物体的过程，在数学与物理的建模上，通常认为是极其复杂的过程，普通人员很难掌握，另外，模拟仿真计算还极其耗时。为解决此问题，我们利用运动的相对性原理和不同物理量(电磁场、温度场和流场)在不同坐标系之间转换，提出了一种计算微波耦合加热移动物体的数值计算方法。此法具有操作过程简易，计算精度高且耗时少的特点，理论上，此计算方法还适用于微波耦合电磁搅伴器时的加热过程计算。 2 关键技术 从物理场的角度而言，微波加热是一个典型的多物理场问题，主要涉及的是电磁场与温度场能量的转换与传导，以及流场（如周围空气）与加热物之间的共扼传热。 在现代工业与科研中，广泛应用微波加热。如《Science》和《nature》，分别在 2016 与 2018 年，刊登了利用微波制作石墨烯技术。但由于微波最大的缺陷，就是加热的不均匀性，又极大地影响了微波的应用。为了改善加热的均质性，通常使加热物运动，如旋转或采用磁搅伴器。微波治疗肿瘤，被国际医学界称为绿色疗法，肿瘤细胞死亡最可能萎缩和死亡在 42.5℃～43.5℃之间，温度低了则治疗肿瘤无效，而温度高了，又会损伤周围健康器官，由于在人体上操作，故要非常谨慎的，所以又限制了微波应用。若能有一种快速预测的计算方法，能立即得到加热的温度场分布，则是一个非常有意义的事！ 针对移动物体的微波加热，传统模型计算极其复杂，只有少量专业研究人员会计算，一般人员很难掌握，同时计算又极其耗时。本方法在此方面进行了大胆的探索。 3 知识产权及项目获奖情况 发表了一篇 SCI 论文，专门论述了该方法，详见：PU GUANGYi, PU CHENG XI, J. WANG, C. F. SONG, “A method for coupled microwave heating process and heat transfer simultaneously of moving objects,” Journal of Food Processing and Preservation, vol. 42, no.1,e13468, 2018. DOI: 10.1111/jfpp.13468. 4 项目成熟度 该方法计算工作量小，计算方便，且精度高，适合加热运动物体或电磁搅拌装置，或同时加热运动物体及有电磁搅拌的情况。现在 CAD 与 CAE 技术发展非常迅速。所以，理论上可以直接利用这些商业软件进行建模与计算。 5 投资期望及应用情况； （1） 微波治疗肿瘤方面。由于微波能够穿透到肿瘤内部，直接“杀死”肿瘤细胞，理论上，远比高能射线如γ射线效果好，且对人体副作用小。先前没有广泛使用，原因之一是不好控制加热的不均匀性。若能在治疗之前，先预先计算出加热物温度场分布，即预测出温度场的分布，则可以控制微波直接“杀死”肿瘤细胞。 （2） 石墨烯的过程制作。 （3） 食品及其他工业与科研的应用。 

1 成果简介 微波耦合加热移动物体的过程，在数学与物理的建模上，通常认为是极其复杂的过程，普通人员很难掌握，另外，模拟仿真计算还极其耗时。为解决此问题，我们利用运动的相对性原理和不同物理量(电磁场、温度场和流场)在不同坐标系之间转换，提出了一种计算微波耦合加热移动物体的数值计算方法。此法具有操作过程简易，计算精度高且耗时少的特点，理论上，此计算方法还适用于微波耦合电磁搅伴器时的加热过程计算。 2 关键技术 从物理场的角度而言，微波加热是一个典型的多物理场问题，主要涉及的是电磁场与温度场能量的转换与传导，以及流场（如周围空气）与加热物之间的共扼传热。在现代工业与科研中，广泛应用微波加热。如《Science》和《nature》，分别在 2016 与 2018 年，刊登了利用微波制作石墨烯技术。但由于微波最大的缺陷，就是加热的不均匀性，又极大地影响了微波的应用。为了改善加热的均质性，通常使加热物运动，如旋转或采用磁搅伴器。微波治疗肿瘤，被国际医学界称为绿色疗法，肿瘤细胞死亡最可能萎缩和死亡在 42.5℃～43.5℃之间，温度低了则治疗肿瘤无效，而温度高了，又会损伤周围健康器官，由于在人体上操作，故要非常谨慎的，所以又限制了微波应用。若能有一种快速预测的计算方法，能立即得到加热的温度场分布，则是一个非常有意义的事！ 针对移动物体的微波加热，传统模型计算极其复杂，只有少量专业研究人员会计算，一般人员很难掌握，同时计算又极其耗时。本方法在此方面进行了大胆的探索。 3 知识产权及项目获奖情况 发表了一篇 SCI 论文，专门论述了该方法，详见：PU GUANGYi, PU CHENG XI, J. WANG, C. F. SONG, “A method for coupled microwave heating process and heat transfer simultaneously of moving objects,” Journal of Food Processing and Preservation, vol. 42, no.1,e13468, 2018. DOI: 10.1111/jfpp.13468. 4 项目成熟度 该方法计算工作量小，计算方便，且精度高，适合加热运动物体或电磁搅拌装置，或同时加热运动物体及有电磁搅拌的情况。现在 CAD 与 CAE 技术发展非常迅速。所以，理论上可以直接利用这些商业软件进行建模与计算。 5 投资期望及应用情况 （1） 微波治疗肿瘤方面。由于微波能够穿透到肿瘤内部，直接“杀死”肿瘤细胞，理论上，远比高能射线如γ射线效果好，且对人体副作用小。先前没有广泛使用，原因之一是不好控制加热的不均匀性。若能在治疗之前，先预先计算出加热物温度场分布，即预测出温度场的分布，则可以控制微波直接“杀死”肿瘤细胞。 （2） 石墨烯的过程制作。 （3） 食品及其他工业与科研的应用。 

本发明提供一种自动化光纤载氢装置，包括沿光纤运行方向设置的收放纤模块、载氢模块、旋转模块、进给模块、自动锁紧模块、进排气模块、以及控制模块，所述各个模块分别与控制模块电气连接。载氢模块包括绕纤棒、水浴加热箱、载氢罐，载氢罐设置在水浴加热箱内，自动锁紧模块与载氢罐的密封盖连接，进排气模块与载氢罐的进排气口连接，绕纤棒与旋转模块和进给模块连接，同时配合收放纤模块的收放光纤，使绕纤棒在绕光纤的同时伸入载氢罐或从载氢罐伸出。本发明自动化程度高，提高了光纤载氢的生产效率；可对数公里的光纤进行载氢；避免了氢气泄露事故，提高了光纤载氢的安全性；保证了光纤在绕纤棒上的均匀绕制，提高了光纤载氢的一致性。

本实用新型公开了一种用于校正农产品光学特性检测装置的固体仿体的制造模具。包括三种针对不同使用需求的模具，分别是用于制作薄平板型固体仿体的模具、用于制作厚平板型固体仿体的模具和用于制作带半球厚板型固体仿体的模具，模具通过模块化组件搭建而成；模块化组件包括底座板、薄中间板、注射器、厚中间板、烧杯和半球板，薄中间板和厚中间板均为中部开有通槽的环形结构，环形结构的侧壁开有用于注入液体的径向通道，底座板为一块平板结构，半球板为一端中心带有凸台的平板结构，半球板非凸台端面中心开有半球形孔。本实用新型的模具模块化成本低，制作固体仿体时间短，制作的固定固体仿体能够长期保存，能够用于提高农产品光学特性的检测精度。

❂产品介绍： 毕恩思BC-E智慧净气型储药柜系列专为生物样本、耗材、化学品、标准品等（以下统称为试剂）的智能化管理工作，预防和控制危险试剂事故，从实验室信息化管理的实际需求出发，以自动化、开放式管理为目标，实现实验室化学品、耗材、标准品等的领用、归还及用量的自动化管理，无需人工手动记录，提高安全性，提高数据准确率，加强自动化程度，真正意义上实现实验室试剂（生物样本、耗材、化学品、标准品等）的智能管理与运行一体化。同时针对有毒有害化学品存储产生的废气进行净化，适用于各种领域，各种化学品类型。可存储大多数在实验室使用的化学品，净化柜内有毒气体，24小时净化实验室空气，环保效率高。 ❂产品特点： 1、金属部件：主要材质≥1.2mm镀锌钢板，环氧树脂静电喷涂，覆有耐用防化无铅涂层，保持高光洁度并Z大限度的降低腐蚀和湿气的影响，四边圆弧角设计防止磕碰。 2、门体：5mm防爆玻璃四周镶嵌钣金固定，与柜体融为一体，大气美观。 3、层板：一体成型PP托盘，抗酸碱，高度可调，可选配均匀穿孔镀锌层板。 4、抗酸碱盛漏液抽屉：聚丙烯PP内胆，耐腐蚀，防止试剂瓶打碎泄漏的液体外溢。 5、实时温湿度环境监控系统，显示实时温湿度，设置报警参数，保障产品使用安全。 6、风机监控：风机系统失灵报警，在线可调风机转速，保证不同化学品量的储存需求。 7、过滤器饱和报警系统：产品配有双层过滤器及双VOC探头，一个探头监测室内空气质量，一个探头监测过滤器饱和状况，过滤器设定饱和报警值，超出范围即报警，当浓度长时间超出设定值需更换过滤器。 8、美国PSC风机，24伏电压，性能稳定，超静音，无火花静电。 9、效率高过滤系统，按照颗粒大小选择排列分布，遵循ASTM标准，有效针对酸性气体和有机气体，吸附能力强，针对粒子过滤器，采用效率高HEPA过滤器，对大于0.3um的粒子，过滤效率达99.995%。 10、主副柜独立模块化设计，可运用于不同配置场合，一个主柜可连接数台副柜。 11、副柜进气口使用磁吸固定滤尘网，方便清理拆卸。 12、副柜使用带开关量的智能电控锁，方便安全。 ❂常见问题： 如何分辨智慧净气型储药柜的安全性？ 很多客户对智慧净气型储药柜安全性没有一个全新的认识，以下是我司对智慧净气型储药柜的一个分析。可以供顾客参考： 1、我所运用的一个化学品或一组化学品被过滤器过滤后是不是契合行业标准? 2、假如是的，过滤器的运用寿命是多久? 3、我是不是要装备可靠的过滤器主动饱和报警器？ 4、假如无需装备，出产厂商所供给的检测过滤器饱和办法是什么? 5、跟着时间的推移，出产厂商能否供给一个持久的对于过滤器替换本钱和动力节约费用比照的研究报告？ 6、出产厂商是不是供给服务或许流程来监控我的存储化学品的改动并选用新的运用计划？ 7、终，出产厂商能否把对于这些问题的答案以书面形式表答出来？ ❂产品优势： 1、智慧净气型储药柜无需安装管道工程，安装便捷，废气不外排，新型环保。 2、顶部根据化学品类别可选配过滤模块系统，满足多种不同种类的化学品存储。 3、好的模块化过滤技术，完全吸附过滤实验产生的有害气体、颗粒粉尘等物质。 4、无需消耗空调能耗，效率高节省能源。 5、移动方便，就近存储，方便存取，提高工作效率。 ❂工作原理： 1、 风机 位于柜体顶部的风机将实验室内空气抽入柜体内部产生负压。 2、气体过滤 柜内储存的试剂所挥发的有害气体经风机进入过滤模块，有害气体分子被过滤器截留过滤，洁净气体返回室内。 3、高质量的空气净化功能经过滤的洁净空气返回到室内，不会危害人员健康。 4、净化实验室空气 24小时净化实验室内空气，提升实验室空气质量（建议药品柜保持24小时开机） ❂常用型号： 规格型号 参数 配置 选配 BC-EM500 主柜 外部尺寸： 500*668*2035(W*D*H)mm 隐形称重模块：1套 电压：220V/50Hz 功率：50W 操作屏：15.9英寸 刷卡器：1个 标签打印机：1套 出入库管理系统模块：1个 远程系统模块：1个 后台管理系统模块：1个 权限管理系统模块：1个 称重天平 BC-ES600 副柜 外部尺寸： 600*592*2035(W*D*H)mm 内部尺寸： 519*545*1628(W*D*H)mm 过滤器尺寸：370*395*50mm 初效过滤器尺寸：370*396*21mm 层板承重：＞100kg/㎡ 空气处理量：220m³/h 柜内体积：0.45 m³ 存储容量：140瓶（500ml） 音量：40dBA 电压：220V/50Hz 功率：42W 电流：2A 过滤器：2组 初效过滤器：1个 风机：1个 层板：4块 显示屏：5英寸液晶 触摸屏 VOC报警系统：1套 温湿度报警系统：1套 电源线：1根 锁具：双锁 可选过滤器型号: OG：有机过滤器 AG：无机过滤器 AM:氨气过滤器 FO：甲醛过滤器 HEPA   H14：效率高HEPA过滤器 可选报警器： 氨气报警器 甲醛报警器 HCL报警器 酸碱盒

产品介绍 无管道净气型药品柜系列专为有毒有害化学品存储而设计，适用于各种领域，各种化学品类型。可存储大多数在实验室使用的化学品，净化柜内有毒气体，24小时净化实验室空气，高效环保。 产品特性 1、金属部件：主要材质≥1.2mm镀锌钢板，环氧树脂静电喷涂，覆有耐用防化无铅涂层，保持高光洁度并 限度的降低腐蚀和湿气的影响。 2、门板：主要材质≥6mm亚克力板，耐候性 ，优异的抗化学品性能，不易老化，无色透明，通体透光，视觉舒适，美观大方。 3、层板：PE层板，抗酸碱，高度可调。 4、酸碱盒：聚丙烯PP材质，存储强酸强碱，耐腐蚀。 5、七英寸液晶触摸屏显示，实时温湿度环境监控，风机监控，VOC浓度环境监控及一体化报警系统。 6、PSC风机，24伏电流，性能稳定，无火花静电。 7、高效过滤系统，按照颗粒大小选择排列分布，遵循ASTM标准，有效针对酸性气体和有机气体，吸附能力强，针对粒子过滤器，采用高效HEPA过滤器，对大于0.3um的粒子，过滤效率达99.995%。 8、LED照明灯功率相当于25W的日光灯，不产生热量，安全并不影响实验环境温度，节能、环保、寿命长。   优异性 1、无需安装管道工程，安装便捷，废气不外排，新型环保。 2、顶部根据化学品类别可选配过滤模块系统，满足多种不同种类的化学品存储。 3、先进模块化过滤技术，完全吸附过滤实验产生的有害气体、颗粒粉尘等物质。 4、无需消耗空调能耗，高效节省能源。 5、移动方便，就近存储，方便存取，提高工作效率。   工作原理 1、 风机 位于柜体顶部的风机将实验室内空气抽入柜体内部产生负压。 2、气体过滤 柜内储存的试剂所挥发的有害气体经风机进入过滤模块，有毒有害气体分子被过滤器截留过滤，洁净气体返回室内。 3、高质量的空气净化功能 经过滤的洁净空气返回到室内，不会危害人员健康。 4、净化实验室空气 24小时净化实验室内空气，提升实验室空气质量（药品柜需保持24小时开机） 。 产品型号 产品参数 YB-G800 外部尺寸：800*510*2080mm 内部尺寸：708*450*1750mm 层板：8块 层板承重：30kg 空气处理量：220m3/h 存储容量：160瓶（500ml） 音量：40dBA 电压：220V/50Hz 功率：76W 电流：3A 分子过滤器：2组（每组4小块） 初效过滤器：1块 照明：LED照明灯1组 显示屏：七英寸液晶触摸屏 电源线：1根 控制系统：1套 报警系统：1套 YB-G1600 外部尺寸：1600*510*2080mm 内部尺寸：1510*450*1750mm 层板：16块 层板承重：30kg 空气处理量：220m3/h 存储容量：320瓶（500ml） 音量：40dBA 电压：220V/50Hz 功率：110W 电流：3A 分子过滤器：2组（每组4小块） 初效过滤器：1块 风机数量：1个 照明：LED照明灯1组 显示屏：七英寸液晶触摸屏 电源线：1根 控制系统：1套 报警系统：1套 YB-GS819 外部尺寸：819*354*725mm长宽高 内部尺寸：753*322*519mm 层板：2块 层板承重：30kg 空气处理量：75m3/h 存储容量：48瓶（500ml） 音量：40 dBA 电压：220V/50HZ 功率：42W 电流：3A 分子过滤器：1组（每组2小块） 初效过滤器：1块 风机数量：1个 照明：LED照明灯1组 显示屏：七英寸液晶触摸屏 电源线：1根 控制系统：1套 报警系统：1套

应用范围 所有具有局部挥发性的的挥发源，如化学品操作，仪器工作过程中的挥发，锡焊等。溶解，混合，搅拌，移液，取样，PH测试，凯氏定氮仪，HPLC，GC-MS，LC-MS……过滤器对于有机溶剂，酸碱，香料，农药等具有较强的吸附能力。 工作原理 箱体内部自带风机和过滤器，风机将挥发源处的风通过吸风罩及管道抽进箱体的过 产品特性 1、金属部件：主要材质≥1.2mm镀锌钢板，环氧树脂静电喷涂，覆有耐用防化无铅涂层，保持高光洁度并最大限度的降低腐蚀和湿气的影响。 2、七英寸液晶触摸屏显示，实时温湿度环境监控，风机监控，VOC浓度环境监控及一体化报警系统。 3、PSC风机，24伏电流，性能稳定，无火花静电。 4、高效过滤系统，按照颗粒大小选择排列分布，遵循ASTM标准，有效针对酸性气体和有机气体，吸附能力强，针对粒子过滤器，采用高效HEPA过滤器，对大于0.3um的粒子，过滤效率达99.995%。 5、接口：抗电磁干扰电源线。 6、过滤器可选型号：SFGL OG型过滤有机气体，SFGL AG型过滤酸性气体，HEPA H14过滤粉尘和微粒。 产品参数 规格尺寸：H600*W460*D460mm 空气处理量：230 m³/h 功率：72W 电流：1.2A 噪音：≤50dba 电压/频率：220V/50Hz 外部手臂：活节式手臂-从罩到进风口(管臂可移动，手臂全部展开高度：1300mm) 显示屏：7英寸液晶触摸控制屏 接口内径：75mm 过滤器：2组 使用环境温度：-30°C～70°C 底部滚轮：共四个，两个锁定万向轮 吸风罩直径：φ375mm