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一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺
本发明公开了一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺,包括步骤:(1)在单晶硅片上旋涂光刻胶并通过光学光刻或电子束光刻得到光刻胶图形 ;( 2 ) 镀 上 银 膜 或 金 膜 ;( 3 ) 在 电 场 之 中 , 采 用 HF 、H<sub>2</sub>O<sub>2</sub>和去离子水的混合溶液作为刻蚀剂进行金属催化刻蚀;(4)去除光刻胶;(5)去除单晶硅片上残留的金属膜并进行清洗处理。本发明通过在刻蚀过程中控制电场强度,由此形成从数十纳米至数
华中科技大学 2021-04-14
一种用于浸没式光刻的浸液温控系统
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统,通过其获得具有稳定温度的浸液,以用于浸没式光刻工艺中,其特征在于,该温控系统包括:用于浸液流动的浸液管路,待温控的浸液通过管路进口进入该浸液管路,温控后的浸液通过该浸液管路出口输出;用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路,工艺冷却液在该回路中循环流动;以及热交换器(6),所述浸液管路和工艺冷却液回路同时流经该热交换(6),利用该热交换器(6)完成工艺冷却液和浸液的热交换,获得具有稳定温度的浸液,实现对浸液的温度控制。本发明的装置采用内部回流结构与热交换器
华中科技大学 2021-04-14
一种输液管针头的上料装置
本实用新型公开了一种输液管针头的自动上料装置,用于输液管针头与管体组装工艺中对针头自动上料,该装置包括通过支撑杆固定设置在工作台基座上的支撑板,以及固定设置在所述支撑板上的振动电机和送料机构,其特征在于,所述送料机构包括位于上端的料斗,设置在料斗下端并与下料口连通的送料通道,以及设置在送料通道末端的卡料口,所述送料通道倾斜布置,所述振动电机产生振动,料斗中的针头在振动作用下利用重力沿所述倾斜的送料通道滑落至所述卡料口排列,即完成自动上料。本实用新型的装置结构简单,使用方便,依靠送料机构中倾斜的沟槽通
华中科技大学 2021-04-14
一种数字储能的关键技术
1.痛点问题 储能是能源革命的关键性技术。传统储能方案为了去除电池储能系统固有的“短板效应”,过度追求电池一致性,带来一系列行业痛点问题,如缺乏系统级本质安全机制、建设和运维高,用户体验差等。 2.解决方案 数字储能,基于能量信息化处理和动态可重构电池网络技术将每个电池单体/模组产生的模拟连续能量流离散化为一系列电池“能量片”,进而通过信息技术手段对电池“能量片”在时空两维上进行细粒度的数字化调度和重组,从根本上解决了传统模拟电池储能系统所固有的系统“短板效应”,极大提升了电池储能系统的效率、寿命、可靠性与安全性,是目前唯一一种从根上消除系统“短板效应”和具有内生系统级本质安全机制的技术体系。 基于数字能量交换系统和技术,可提供如下产品和服务: 1)低成本长寿命高安全高可靠的电池储能系统:通过数字能量交换系统构建任意规模的本质安全的长寿命数字储能系统,实现了用一套技术和产品体系适应电源侧/电网侧/用户侧储能。此外,数字储能从根本上克服了电池储能系统“短板效应”,实现了无需单体层面硬性拆解、分选和重组,直接从车上到储能站的无缝衔接,极大降低了退役动力电池梯次利用储能系统的建设成本和运维成本。 2)基站、机房、数据中心备电/储能:“电源IT化,软件可定义”的设计理念,与中国移动共同研发了数字能源机柜,入选国家“四部委绿色产品目录”。数字能源机柜支持按需部署和扩容,系统供电效率至少提升25%,机房利用效率至少提升20%,同时支持机柜即数据中心的5G边缘计算部署模式。 3)基于数字储能系统的新型云储能系统:通过采用数字能量交换系统对现有通信基站/变电站/机房/数据中心等用户侧存量电池进行数字化改造,进而通过互联网对改造后的海量分布式数字储能系统进行互联网化管控,实现细粒度的自动充放电管控和运维巡检,极大降低了储能系统的建设和运维成本,支持共享经济模式下的能源互联网能量运营模式。 合作需求 资源对接需求:电池厂商、pack厂商、新能源车厂、新能源发电企业、电网公司、金融机构(风投/险资/银行/金租)、地方政府等。 合作需求:供应链合作、市场合作、数字储能电池银行新型商业模式(电池全生命周期高效利用)等方面的战略合作、示范项目配套储能建设等。
清华大学 2022-05-12
一种基于BS的数据传输系统
本新技术成果提供了一种基于B/S的数据传输系统,包括数据分析系统和数据管理系统,所述数据分析系统将需要调用的函数和参数通过HTTP请求传输到数据管理系统,数据管理系统根据接收的函数和参数调用相应的数据,并运行函数,将执行函数得到的数据返回到数据分析系统。本技术基于B/S的数据传输系统,减少了数据的传输量和数据传输的次数,从而提高了数据传输率。
西南交通大学 2016-06-27
一种用于泵站拦污的折形拦污栅
拦污栅栅前相同体积的污物堵塞的深度小,拦污水位差小,栅后流速分布有所改善,主机运行费用节省 6%以上,而且清污方便,清污费用少。
扬州大学 2021-04-14
一种基于切割重排的高斯光束整形系统
本发明涉及一种高斯光束整形系统,将具有高斯状分布的圆光 斑整形成均匀分布的线条形光斑,用于激光扫描加工,提高加工效率 和提高表面温度均匀性。本系统由扩束系统、空间切割重排系统和聚 焦系统组成。扩束采用具有一定焦距比的负柱面镜和正柱面镜,实现 在其中一个方向的扩束。光束空间切割采用一组具有一定旋转角度的 平行平板玻璃,切割产生多分子光束并产生一定的偏移。经另外一组 具有一定旋转角度的平行平板玻璃重排,将重排后的光斑经柱
华中科技大学 2021-04-14
一种基于 RFID 技术的智能铣削刀具系统
本发明公开了一种基于 RFID 技术的智能铣削刀具系统,包括 安装在机床的基座上的主轴,主轴上安装有刀柄,刀柄上安装有刀具, 基座上固定安装有初级单元,刀柄上固定安装有次级单元,刀具上固 定安装有传感单元,传感单元安装在靠近刀具的切削刃的部位,传感 单元与次级单元通过导线连接;传感单元用于在切削的过程中实时感 知刀具的物理量;次级单元用于在线采样传感单元感知的物理量并通 过无线传输通道向初级单元传输;初级单元用于产生射频载波及在无 线传输通道中获取次级单元传输的数据。本系统通过同
华中科技大学 2021-04-14
一种带有手刹的自驱动滑轮鞋
本发明公开了一种带有手刹的自驱动滑轮鞋,包括两个前轮、两个后轮、框边、踩踏承接面、方向杆、踩踏板、弹簧、基底面、转动中心、刹车环、刹车片、转动齿轮、驱动齿轮、第一转轴、手柄、手刹、第二转轴;其实施方式为在与鞋子大小差不多的框边的下方安装四个轮子,在中央安装踩踏板,通过人们站立在框边内,向下踩踩踏板,踩踏板驱动齿轮转动,从而带动轮子向前转动,实现自驱动滑轮鞋向前运动。本发明结构小巧,四个轮子能够保证平衡,方便大多数人们使用,减少了技术难度。直立
武汉大学 2021-04-14
一种用于开启医用安瓿瓶的指套
本实用新型涉及一种医疗器械,尤其涉及一种用于开启医用玻璃安瓿瓶的指套,包括拇指套(1)和食指套(2),其特征在于,所述拇指套(1)和食指套(2)外设有无菌纱布(3),所述无菌纱布(3)上覆盖有薄膜(4),所述薄膜(4)可撕除。所述拇指套(1)、食指套(2)与所述无菌纱布(3)之间还可设置粘扣,使所述无菌纱布可从所述拇指套(1)和食指套(2)上取下并进行更换。所述拇指套(1)和食指套(2)之间还可以设置连接绳(5)、夹子、卡紧装置(7)等部件,所
武汉大学 2021-04-14
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