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一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法,属于微机电系统的封装方法,解决现有封装方法存在的问题,使得微型真空腔长时间保持真空,满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括:刻蚀步骤:在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑,再环绕凹坑刻蚀环形凹槽;吸气剂淀积步骤:在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜;键合步骤:在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题,可以长时间保持微型腔体内的真空度,极大的推动圆片级 MEMS
华中科技大学 2021-04-14
水轮机调节系统高阶数学模型的降阶方法
一种水轮机调节系统高阶数学模型的降阶方法,包括如下步骤:①简化系统分母的最高次项,实现 系统的一次降阶,得到一次低阶等效系统式;②从波动叠加的角度出发,将一次低阶等效系统式变换为 两个 2 阶子系统相加的形式;③进行拉普拉斯反变换,得到水轮机调节系统的一次低阶等效系统在负荷 阶跃扰动下的机组转速响应波动方程;④对完整 5 阶系统式进行二次降阶;⑤利用二阶系统进行水轮机 调节系统转速响应调节品质的影响因素分析。其优点是:较之其他降阶方法,本方法是
武汉大学 2021-04-14
一种基于显著直方图特征的行人检测方法及系统
一种基于显著直方图特征的行人检测方法及系统,训练阶段包括首先分别将样本数据集中每个正样 本或负样本归一化为预设尺寸,然后作为输入图像提取特征,根据所得特征训练分类器;正样本的图像 包含行人,负样本的图像不包含行人;测试阶段包括对测试数据集中任一测试图像,首先以测试图像为 输入图像,分别以输入图像的每个像素为中心建立预设尺寸的局部区域,并提取每个局部区域的特征, 然后将每个局部区域的特征输入训练阶段所得分类器,得到各局部区域是否包含行人的分类结果。提取 特征时,将梯度的幅值和相应局部区域显著概率值结合
武汉大学 2021-04-14
基于web的学生考试成绩管理系统V1.0
基于web的学生考试成绩管理系统
西华师范大学 2015-01-07
基于多终端协同的多流并发传输控制方法与系统
南京邮电大学 2021-04-14
基于代理的城市交通流分析、预测与控制系统
南京邮电大学 2021-04-14
一种深井脉冲电容器的恒流充电系统
本发明公开了一种深井脉冲电容器的恒流充电系统,包括设置 在地面上的第一装置、电缆、设置在井下的第二装置和脉冲电容器。 第一装置将工频 220V 交流电源变为中频高压交流电源,然后经电缆将 其传输到第二装置,第二装置再将此中频高压电源变成所需的高压直 流电源直接对脉冲电容器充电。脉冲电容器的电压通过电阻分压器来 实现测量,控制程序通过脉冲电容器电压的增量计算平均充电电流, 并通过调节逆变电路中开关管的驱动脉宽来改变平均充电电流,形成 闭环控制,实现平均充电电流的恒定。本发明采用闭环控制方法,实 现了深
华中科技大学 2021-04-14
基于滑模观测的永磁同步电机控制方法及系统
本发明公开了一种永磁同步电机的控制方法及系统,在永磁同 步电机矢量控制中设计了负载转矩的滑模观测器,结合速度环的滑模 控制进行补偿,对速度控制器进行了重新设计,同时得到了较为稳定 的 q 轴参考电流,进而得到比较理想的转速、转矩。本发明能在系统 受到干扰的情况下快速有效地调节永磁同步电机的各项输入和输出参 数,动态响应速度快,鲁棒性高,提高了永磁同步电机的控制精度及 其运行的可靠性。 
华中科技大学 2021-04-14
表面式永磁同步电机的直接转矩控制方法及系统
本发明公开了一种表面式永磁同步电机的直接转矩控制方法及 系统。该方法包括:获取定子电压、定子电流;根据定子电压和定子 电流,计算电磁转矩 Te 和定子磁链ψs;根据 Te 和ψs,计算当前时 刻的转矩角δ,结合转矩角参考值δ*得到下一采样周期内的转矩角变 化量Δδ;根据下一采样周期内的转矩角变化量Δδ以及定子磁链与 α轴之间的相角ρs,得到下一周期定子磁链与α轴之间的相角参考值 ρsref;根据下一周期定子磁链与α轴之间的相角参考值ρsref 以及定 子磁链参考值<img file=""DDA
华中科技大学 2021-04-14
一种用于可调桨叶片的激光测量装置及系统
本实用新型公开了一种可调桨叶片激光测量装置,包括底座、旋转台、激光位移传感器、横向移动机构和纵向移动机构;底座,用于支撑测量装置其它部件;旋转台,安装于底座上,用于放置和旋转待测可调桨叶片;横向移动机构,用于在水平方向上调节激光位移传感器相对可调桨叶片上测点的位置;纵向移动机构,用于在竖直方向上调节激光位移传感器相对可调桨叶片上测点的位置;激光位移传感器,用于采集可调桨叶片上测点与激光位移传感器之间的距离。本实用新型提供了一种可调桨叶片激光测量系统。本实用新型采用激光三角测量原理获取测点的空间坐标,
华中科技大学 2021-04-14
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