一种主动式气浮支承装置
本发明公开了一种主动式气浮支承装置,包括气浮支承本体、 气膜主动调节单元、支承本体检测单元和驱动控制单元,其中支承本 体检测装置测量气浮支承的状态,驱动控制系统根据检测信号生成控 制信号,驱动控制气膜主动调节装置产生主动作用,动态调节气浮支 承表面的气膜形态,由此动态调整气浮支承装置的气膜间隙压强分布, 从而提高气浮支承的动刚度特性。通过本发明,能够显著提高气浮支 承的动刚度特性,并达到稳定气浮支承的目的;此外,按照本发明的 主动式气浮支承装置还具备结构紧凑、便于操控和高精度的特点,因 而尤其适用于对支承动刚度要求高的超精密加工或高速主轴等场合。
华中科技大学
2021-04-11