一种精密减振组件及由其构成的减振平台

先进制造与自动化

本发明公开了一种精密减振组件及由其构成的减振平台，具有减振和 Z 向定位功能。精密减振组件包括被动减振部件、主动减振执行器和外框架。被动减振部件采用双腔体结构的活塞杆，气囊和压力腔分别位于两个腔体内，气囊具有较大的纵向支撑力和较低的刚度，能隔离衰减高频的振动。主动减振执行器为直线型音圈电机，与被动减振部件并联，根据被控对象振动状态和位置信息，对被动对象施加作用力，带动被控对象运动到指定的位置和对振动进行补偿。至少三个精密减振组件构成的减振平台具有多自由度减振，Z 向精确定位和调平调焦功能。本发明可用

未应用