一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法
本发明公开了一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法,方法是将起偏臂产生的调制光线投射到待测样件表面,检偏臂将待测样件反射(或透射)的光线解调并接收,通过对测量光谱进行谐波分析,计算获得待测样件的全穆勒矩阵信息,并通过非线性回归,库匹配等算法拟合提取待测样件的光学常数,特征形貌尺寸等信息。椭偏仪包括起偏臂(包括光源,透镜组,起偏器和伺服电机驱动的补偿器),待测样件和检偏臂(包括伺服电机驱动的补偿器,检偏器,透镜组和光谱仪)。本发明可实现各种信息光电子功能材料和器件,以及纳米制造中各种纳米结构的在线
华中科技大学
2021-04-14