目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系，这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成，这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移，导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂，且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸，因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶， 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物，再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基，由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶，这些正型248-nm光刻胶获得了高感度（20-50mJ/cm2）、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率（＞99%）及图形线条平滑陡直等的出色表现。   利用高分子产酸剂透明性好的特点，还制备了厚膜248-nm光刻胶，可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5：1的光刻图形：   在此基础上，还制备了负型248-nm光刻胶，这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备，原料易得，反应条件温和可控，去金属杂质的方法也是简便易行，成本相对低廉，在经过多年的深入研究之后，完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中，对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料，日本公司的产品占据全球市场的70%以上，而我国在中高端产品上（248-nm光刻胶、193-nm光刻胶）完全依赖进口，即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此，我们必须尽快扭转这种不利的局面，这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注，已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化，但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多，本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始，至今近二十年来聚焦于光刻胶研究，在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果，也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章： 1.国家重大科技专项（02专项）子课题,课题编号:2010ZX02303（深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究） 2.国家自然科学基金应急管理项目，51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning，European Polymer Journal，114（2019），11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application，Reactive and Functional Polymers，130（2018），118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用，中国发明专利，专利号：9。

随着机器学习与人工智能的发展，传统的CPU已经无法满足大规模神经网络训练的需要。在当前机器学习与神经网络的热潮下，美国互联网和IC巨头纷纷推出自己的神经网络/人工智能芯片，抢占这一未来市场。我们研发的神经网络/人工智能芯片可以验证多种深度学习算法及应用，具有完全自主知识产权，是将来可以挑战美国人工智能芯片领域的一个重要突破。

高精密微小几何特征零件在航空航天、国防、医疗等领域的产值已超过千亿美元。目前，我国主要用传统设备对这些零件进行微细铣削，存在着精度低、耗能高、占地空间大等突出问题。另外，超精密微细铣削设备依赖进口，价格昂贵，且高端超精密微细铣削设备还对我国禁运，严重阻碍了我国高精密微小几何特征零件的精密加工与相关应用行业的发展。通过本项目高精密微细铣削加工关键技术研发与应用，解决了以上突出问题，取得了高精密微细铣削加工关键技术与装备的重大突破，打破了国外技术封锁。创新研究成果如下： 1.发明了系列超精密微细铣削机床，提出了小型超精密微细铣削机床创成式精准设计方法，解决了超精密微细铣削机床的创新研发问题。与国内目前用于微细铣削的主要加工机床相比，精度提高了一个数量级、节约了70%的能源和75%以上的占地空间。 2.发明了系列微细球头铣刀，切削部旋转包络球面直径为50μm～1000μm，前刀面与后刀面均为直纹面，从原理上保证了切削刃轮廓制备误差≤±2μm。提出了微细铣刀的直纹面组合设计方法，研发出了其制造关键技术，解决了超硬微细铣刀的创新研发问题。 3.发明了微细铣削用工件姿态微调整装置，工件上表面调整精度达1.7μm，减少了超精密微细铣削时40%的工件调整时间。提出了微细铣削工件姿态微调整夹具设计方法与技术，解决了工件姿态微调整夹具装置的刚度与阻尼优化匹配的问题。 4.提出了微细铣削的微观关系模型与微细铣削临界工艺参数分析优化方法，解决了塑性材料微细铣削尺度效应所对应临界条件的判定、硬脆性材料塑性切削判定准则不统一的问题，为超精密微细铣削装备研发与应用提供了关键支撑理论与技术。 本项目研究成果通过了山东省教育厅组织的鉴定，鉴定委员会认为，该研究整体技术达到国际先进水平，所研发的微细球头铣刀达到国际领先水平。 取得自主知识产权国家发明专利23项，实用新型专利5项，发表论文67篇，其中被SCI/EI收录47篇。所自主研发的关键技术，市场需求度高，不但能够替代进口产品，而且具有国际市场竞争的优势，社会效益显著。 本项目成果附加值高，已在多家企业推广应用，近3年，新增产值149590.2万元，新增利润21520.6万元，经济效益重大。

该成果提出了小麦机械化秸秆还田条件下的因茬精准技术组合模式、因墒耕整播种方式、因种肥药施用模式、因苗实时诊断与管理技术、因逆实时防御补救技术，集成小麦“五因”（因茬、 因墒、 因种、 因苗、 因逆） 高产栽培技术模式和 5 套技术体系。 通过多年多点高产攻关、示范、辐射推广，适合大面积推广应用。

本成果创制的高抗白粉病和条锈病的新种质，可以作为育种中间材料提供回交转育到不同生态区的小麦品种中。 一、项目分类 关键核心技术突破 二、成果简介 栽培品种遗传基础日趋狭窄已成为作物育种取得突破性进展的主要瓶颈，外源物种蕴藏大量优异基因，而外源易位系诱导效率低、外源基因克隆难是制约外源基因导入和应用的主要限制因子。为将小麦亲缘物种簇毛麦的抗病、抗逆、优质等多种优异基因导入栽培小麦，在863、国家自然科学基金等项目资助下，将远缘杂交、染色体工程和分子生物学技术相结合，历时三十余年，成功地按照“染色体组→染色体→染色体臂→染色体区段→目标基因”由大到小、逐步深入的技术路线，将簇毛麦优异基因特别是抗病基因转入栽培小麦，对小麦白粉病和条锈病抗源更新贡献突出，新种质在小麦育种中大规模应用，产生了重大影响。该项目在簇毛麦优异基因发掘和利用方面居国际领先水平，整体达到国际先进水平。 本成果创制的高抗白粉病和条锈病的新种质，可以作为育种中间材料提供回交转育到不同生态区的小麦品种中。目前，利用该课题组提供的易位系以及该易位系衍生的新品种作为亲本，四川内江市农科院、河北石家庄市农科院、西北农林科技大学、江苏里下河农科所等单位育成了内麦8号~内麦11号、石麦14、远中175、扬麦18等40余个小麦抗病新品种。这些新品种抗病高产，累计已推广1亿亩左右。还有一批新品系正在参加全国和省级区域试验。 本成果创制的高抗白粉病和条锈病的新种质，既能提高小麦产量，又能减少病害损失，还能减少施用农药带来的污染和危害，对小麦白粉病和条锈病抗源更新将做出突出贡献，将会产生重大经济效益和社会效益。本成果提供的分子标记以及克隆的基因，为分子标记辅助育种以及设计育种奠定基础。此外，本成果创造性地将细胞遗传学和分子生物学方法相结合，有效解决了外源基因精细定位和克隆难的问题，为克隆外源基因提供了一个成功范例，可供其他作物和更多优异基因向栽培作物转移作借鉴。

项目简介： 植物源农药是指有效成分来源于植物体的农药， 山于其低毒、易分解， 是生产无公害农产品应优先选用的农药品种。但是，该类农药具有防治效果缓慢、控制有害生物的范   围较窄、产品质

       上海颀高仪器有限公司始创于1986年，是由原上海石油仪器厂和武汉理工大学资深技术专家组成，是以研制、生产、销售石油化工及煤化工领域分析仪器的专业生产厂商。产品适用于石油、电力、化工、科研、质检及大专院校等相关行业领域。本公司研制生产的常规化工分析及专用实验室仪器十三个系列，共260余种。同时每年还应对市场及用户的各种个性需求，单独开发和定制生产非标类特殊用途的仪器约20余种。上海颀高是国内同行业中产品门类最全、配套能力最强、发展速度最快的企业之一。公司坚定严格按照国标行标的试验方法规定，绝不靠偷工减料来降低成本，保证仪器部件尺寸精度以及材料性能，真正让用户实验数据满足重复性和精密度的要求。近年来我司产品精细独特的设计，节能可靠的系统，均被工矿企业、铁路部队、科研院校和质监部门广泛采用，受到用户一致好评。公司内部已实施CRM、ERP项目管理，为产品品质及企业的长远发展提供了强有力的保障。面对未来，颀高人坚守“严谨、求实、高效、创新、合作、发展”的企业精神，精益求精，以一流的产品、优质的服务满足客户需求，为促进提高民族分析仪器工业的振兴发展作出贡献。 　  多年来，公司非常注重新技术、新工艺、新器件、新材料的应用，不断提升公司仪器的自动化、智能化水平。据不完全统计，目前公司仪器中使用单片机技术或笔记本电脑进行控制测量、分析计算的仪器，已经达到近100种。仪器的技术含量和技术档次得到极大的提高，深受国内外用户的欢迎。多年的研发和实践，让上海颀高仪器更加精致稳定，更加符合国标及行标的试验要求。公司秉承“以人为本，科技创新”的理念，将销售收入的10%～15%用于研发，致力于将产品升级换代至世界一流水准。依靠“高、精、尖“的科技人才队伍及运用行业领先的开发手段，使得颀高产品质量更有保障，品种不断更新，始终处于行业领先地位。        未来的一年，我们仍将兢兢业业，乐于研发，不断提升，生产出质量更好、性能更完备的油品仪器，来满足市场和答谢各位朋友的关心与支持。同时继续秉承“质量优、服务好、价格适中”的宗旨，竭诚向各位新老用户提供质量优异的石油化工及煤化工分析仪器和良好的售后服务。欢迎各界人士惠顾考察与指导！

项目成果/简介:橡胶集料混凝土（crumb rubber concrete，CRC）是由普通水泥混凝土中掺加橡胶集料组成，与普通混凝土相比，橡胶集料混凝土具有高变形，高能量吸收，高阻尼，高抗冻、高抗渗、高抗冲击，高抗开裂，低收缩，低热膨胀系数，低等特性。根据上述特性，该项目拟对弹性混凝土的抗拉强度、抗压强度、冲击吸收率、收缩率等性能进行研究，将其应用于室外体育设施并有望投入市场。应用范围:橡胶集料混凝土的应用场景室外篮球场 、室外羽毛球场、室外网球场 、田径跑道、健身步道、其他运动场地……效益分析:需求预测及分析截止2019年底，全国体育场地354.44万个，体育场地面积29.17亿平方米，人均体育场地面积2.08平方米。根据我们的调研，全国田径场地17.39万个，场地面积9.16亿平方米。其中，设有400米环形跑道的田径场地3.61万个，占20.76%；其他田径场地13.78万个，占79.24%。  全国篮球场地97.48万个，场地面积5.79亿平方米，是数量最多的体育场地。其中，篮球场89.19万个，占91.50%；三人制篮球场6.05万个，占6.21%；全国排球场地8.77万个，场地面积0.28亿平方米。其中，室外排球场地8.44万个，占96.24%；全国羽毛球场地19.06万个，场地面积0.38亿平方米。其中，室外羽毛球场地16.08万个，占84.37%；全国健身步道7.68万个，长度17.93万公里，场地面积5.26亿平方米。 上述的体育场地，皆可用橡胶集料混凝土进行替代且预计会有比传统场地更优异的性能以及更低廉的成本。可见，橡胶集料混凝土的市场需求是非常巨大的。知识产权类型:发明专利 、 其他技术先进程度:达到国际先进水平成果获得方式:独立研究获得政府支持情况:无