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半导体光刻胶成膜树脂制备技术
1.痛点问题 光刻胶作为集成电路制备中不可或缺的一部分,已成为国家的战略资源之一。半导体光刻胶的核心在于成膜树脂,受限于研发难度大、专利壁垒高、资金投入多、准入门槛高,目前国内企业尚难以突破KrF胶(248nm)或ArF胶(193nm),而EUV胶完全不能自主供给。 2.解决方案 本项技术采用了国际最前沿的纳米氧化物团簇材料的工艺路线,可以实现单2nm小分子的光刻胶成膜树脂材料,攻克了材料合成和纳米材料提纯的难题,可满足目前半导体3nm制程节点的技术要求,RLS分辨率、边缘粗糙度、灵敏度三项关键性能指标优异,其曝光剂量远低于Intel公司提出的20mJ/cm2的成本线。此外,本项技术具有多种半导体光刻胶兼容性,可以生产248nm和193nm光源的半导体光刻胶成膜树脂,以及电子束半导体掩膜用光刻胶成膜树脂,具有广阔的技术替代优势和市场应用前景。 3.合作需求 本项技术已设立衍生企业,位于江苏常州的3000m2研发生产中心正在建设中。 1)融资需求:本轮天使轮融资6000万元。 2)资源对接需求:集成电路芯片制造、掩膜板生产企业,地方政府等。
清华大学 2022-07-12
以石膏为原料制备活性碳酸钙
成果简介以化学石膏为原料, 加入碳酸钙活化剂和碳酸氢铵研磨, 用水洗涤沉淀物后干燥, 得到粒径 0.2-5 微米活性碳酸钙产品, 滤液蒸发结晶后得到硫酸铵固体。成熟程度和所需建设条件已完成工业化生产小试。技术指标活性碳酸钙球形, 0.2-5 微米。市场分析和应用前景活性碳酸钙是 80 年代后期发展起来的一种新型超细固体材料, 作为无机填料现已广泛应用于橡胶、 塑料、 造纸、 涂料、 油墨等工业产品中。
安徽工业大学 2021-04-14
硅基薄膜太阳能电池制备技术
本项目采用隧道结技术实现叠层太阳能电池的制备,扩展电池的光谱收集范围,提高电池的转换效率。 一、项目分类 关键核心技术突破 二、成果简介 太阳能是大自然赐予人类最清洁,最丰富的能源资源,目前商用的太阳能电池以晶体硅电池为主,由于晶体硅消耗硅料较多,近年来人们一直致力于开发硅薄膜电池。非晶硅薄膜电池已经实现了商业化生产并有了一定的市场份额,但它仍存在不足之处,包括光致衰减效应和转换效率不高(约6%)等。本项目在国家863计划课题(2006AA03Z219)支持下,开展了以多晶硅薄膜、微晶硅薄膜和纳米晶薄膜的制备和相关材料的单结与叠层硅基太阳能电池关键技术研究,已经申请发明专利5项,发表科研论文20余篇。 三、创新点以及主要技术指标 1.利用LPCVD方法和自扩散技术生长多晶硅p-n结,结合层转移技术制备多晶硅薄膜太阳能电池; 2.采用金属诱导晶化和快速热处理技术实现优质多晶硅薄膜的制备并在低温下制备太阳能电池; 3.在PECVD和HWCVD生长硅薄膜时,通过生长温度,气体流量,氢气稀释比,腔室气压等参数实现微晶硅或者纳米晶薄膜的生长; 4.采用双层膜技术减小表面处入射光的反射并实现表面钝化,提高入射光的收集率和少数载流子寿命; 5.采用高低结结构增加光生载流子的收集效率; 6.采用隧道结技术实现叠层太阳能电池的制备,扩展电池的光谱收集范围,提高电池的转换效率。 四、知识产权及获奖 国家863项目(2006AA03Z219)
南京航空航天大学 2022-08-12
多种高效分子筛材料的低成本制备
一、项目分类 关键核心技术突破 二、成果简介 分子筛是指具有规则分子级别孔道结构的结晶硅铝酸盐,广泛应用于催化与吸附分离工业过程。对于工业结构革新和绿色环保化工具有十分重要的意义。 我们长期从事分子筛材料的研究和开发工作,目的有多种先进的分子筛材料得以推出。 1应用于甲醇制烯烃反应的分子筛催化材料 我们基于对甲醇制烯烃反应与失活机理的理解,成功设计AlPO-34催化剂。AlPO-34骨架杂质量级的Si可产生痕量Brønsted酸中心,与反应物甲醇作用形成痕量苯基碳正离子进而引发烃池路线实现甲醇制烯烃反应,同时大大降低了甲醇制烯烃二次反应的发生。与工业化催化剂SAPO-34相比,AlPO-34将甲醇制烯烃反应中低碳烯烃收率提高一到两个百分点,稳态寿命提高一倍。根据目前所开车的60万吨MTO装置的经济效益测评,低碳烯烃收率每提高一个百分点,每年的净利润便可提高6000万元(授权发明专利:ZL201110226964.4)。 2分子筛超薄纳米片材料 分子筛超薄纳米片具有短的孔道和较开放的晶穴,在保持分子筛择形效果的同时可以有效降低客体分子的扩散阻力,在催化与吸附分离方面表现出更高的性能,受到广泛的关注。我们使用便宜易得的模板剂与阻隔剂,成功制备了b轴取向的50纳米以下的MFI分子筛纳米片,其生产成本不足目前文献报道的五分之一,产率高达80%,此方法极具工业应用前景。目前,该技术相关的发明专利已提交,处在审查阶段。 3Lewis酸分子筛的规模化制备 我们开辟全新的方法,通过合成后处理技术将Sn、Zr等孤立金属离子引入分子筛骨架,成功制备出一系列Lewis酸分子筛材料,并将其应用在多种催化反应中。其中,Sn-分子筛与Zr-分子筛在环氧化合物开环反应中表现出极其优异的性能,具有工业应用前景(授权发明专利:ZL201410169234.9;ZL201410620863.9)。 4应用于烟气脱硝Fe-分子筛催化剂的直接合成 Fe-分子筛催化剂是新一代烟气脱硝催化剂,其综合性能已经可以与传统V2O5-WO3/TiO2体系相媲美,且避免了使用高毒性组分V2O5所产生的环境污染问题,在欧美发达国家已得到推广应用。我们成功开发原位晶化法,一步直接制备Fe-分子筛,解决了Fe-分子筛制备复杂,重现性差的问题,同时大大降低Fe-分子筛的生产成本,所制备样品在烟气脱硝反应中表现出优于Johnson Matthey产品的性能(CN201410527707.8)。
南开大学 2022-07-29
硅热法高性能镁制备工艺过程优化
项目研究内容: 镁及镁合金是迄今在工程中应用的最轻金属结构材 料,其比强度高、且具有优良的消震吸湿和电磁干扰屏蔽性能。镁的深加 工和镁合金的推广应用都离不开质优价廉的镁。 硅热法是一套复杂而高效 的工艺,本项目通过全面研究还原过程, 严格控制煅烧质量、 配料及制团, 在大量的皮江法炼镁硅热还原工艺参数与生产效率和出镁率关系的试验 基础上,利用人工神经网络和遗传算法等人工智能技术优化工艺过程,达
南昌大学 2021-04-14
新型太阳能电池材料及制备技术
我们开发成功的新型,高效,低成本的可见光响应型太阳能电池,其发电原理完全不同于现在使用的硅太阳电池,以模拟植物的光合作用作为原理,也区别于现在研究的色素增感型太阳能电池,材料费仅为非晶硅太阳能电池的十分之一,因此也叫做“光合成模拟型太阳能电池”。成功合成了在可见光领域动作的氧化物半导体光催化剂,从根本上解决了可见光响应型光电极材料。这一成果发表于《Nature》杂志,并开发出一系列新型光催化剂,在更宽的可见光领域(至600nm)有反应,已申请了多项发明专利。该成果可解决偏远地区人民的照
南京大学 2021-04-14
益生菌収酵红景天复方合剂的制备技术
发酵中药是将天然药物或中药提取液以优选的肠道益生菌菌群中一种或几种、一株或几株益生菌作为菌种,利用微生态学对提取的中药有效成分进行生物学转化,将中药的大分子物质,经过微生物转化成为能够被人体肠道直接吸收的小分子成分,使中药成为快速吸收、定量疗效的新型药物。发酵中药疗效快、效果确切。经临床和实践证明,发酵中药相比传统中药药效提高 4-28 倍。常规中医大夫开的 6 付中药,经过益生菌发酵,患者可以服用 10 天,同时药物疗效是 6 付中药的 4-28 倍。发酵中药,是对传统中药的重大创新,真正实现了中
兰州大学 2021-04-14
基于反应喷涂的金属陶瓷涂层制备技术
可以量产/n该项目应用先进的反应喷涂表面技术,在金属材料表面制备金属陶瓷涂层,工序简单、经济,获得的金属陶瓷涂层性能优良;通过喷涂Fe-Al-Cr-Ni 合金连接层,使金属陶瓷涂层和金属材料表面产生冶金结合,结合强度高;在失效的汽车零部件和成型模具表面上喷涂三元硼化物基金属陶瓷涂层,实现尺寸的恢复,延长汽车零部件和模具的使用寿命。该成果主要应用在汽车同步器齿环、活塞环、变速器换挡拨叉、汽缸套以及采矿截齿。该成果亦可应用在汽车零部件和成型模具的再制造领域。
湖北工业大学 2021-01-12
荔枝螺在制备解热抗炎药物中的应用
【发 明 人】唐于平;刘欣;段金廒;刘睿;郭建明;丁少雄;林祥志;林汝榕 【摘要】 本发明公开了荔枝螺在制备解热抗炎药物中的应用。本发明通过大量实验筛选荔枝螺的药理活性,实验结果表明,荔枝螺软体提取物或荔枝螺壳粉对二甲苯致小鼠耳廓肿胀、角叉菜胶致小鼠足跖肿胀的急性炎症模型具有较强的抑制作用,表现出很好的解热、抗炎活性,并且还具有抗氧化能力,增强SOD活力,清除氧自由基,减少丙二醛的释放作用。为充分利用广阔的海洋资源,开发新的安全有效的海洋药物具有重要的意义。
南京中医药大学 2021-04-13
碳纤维复合材料 AUV 壳体制备技术
项目背景: AUV 是新一代水下机器人,具有活动范围大、 机动性好、安全、智能化等优点,是完成各种水下任务(民用和 军用等)的重要工具。配备复合材料的 AUV 耐压舱体在满足强度 和稳定性要求下,可增大壳体内部容积,减小壳体重量,增大 AUV 的航程,提高 AUV 的综合性能,因此,进行 AUV 耐压壳体设 计有着重要的意义。 所需技术需求简要描述:1.适用于深海工作深度 2000 米以 上无人潜航壳体的新型耐压复合材料及其成型工艺与产业化制 备技术。2.开发的新型复合材料耐压壳体应具有强度高、模量大、 密度小、尺寸稳定性好、线膨胀系数低、耐海水、耐酸、耐溶剂 腐蚀等特性,外压应不小于 20MPa,内压不小于 80MPa,满足深 海无人潜航器壳体的制造要求,并可进行健康诊断。  对技术提供方的要求:1.可用于 2000 米以上深海作业的无 人潜航器壳体制备材料与制备工艺;具备产业化生产的工艺技术 及量产条件; 2.新型耐压壳体,外压不低于 20MPa、内压不低 于 80MPa,可实现 1500 公里以上,50 小时以上水下连续航行和任务执行。 
青岛钜策碳材料技术研究院有限公司 2021-09-03
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