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一种光刻掩模优化设计方法
本发明公开了一种光刻掩模优化设计方法,该方法首先依据表 征掩模的网格格点尺寸大小对掩模进行分级,在粗网格上快速求解掩 模,然后对在粗网格上求解得到的掩模进行插值传播到下一级较细网 格上进行细化校正,最终实现了掩模的快速优化。 
华中科技大学 2021-04-11
微纳米压印光刻工艺及装备
微纳米结构成形是光电子制造中的核心工艺之一。压印光刻克服了传统光学光刻中光学衍射效应的限制,是一种经济、高效、高分辨的结构成形方法。 正在探索的压印工艺方法包括:UV-NIL、模板电诱导自组装纳米成形、电润湿驱动纳米压印等。   正在探讨压印光刻的应用领域包括:集成电路(IC)、微机电系统(MEMS)、生物微流控、光波导、光或磁存储、有机光电子、平板显示等器件的制造。
西安交通大学 2021-04-11
超衍射极限纳米光刻机技术
研发阶段/n1、在该方向发表论文10余篇,Nature子刊,Science子刊各一篇。。2、申报和获得该方向相关发明专利8项。其中1项授权转让给Facebook,Sony和中国一家企业。在华中科技大学申报5项发明专利,依托武汉舒博光电技术有限公司申报2项发明专利。。3、研发出2代超分辨纳米光刻样机。。4、配备光学装备开发专门团队,初步建成光学精密制造和检测平台。
华中科技大学 2021-01-12
一种光刻掩模优化设计方法
本发明公开了一种光刻掩模优化设计方法,该方法首先依据表征掩模的网格格点尺寸大小对掩模进行分级,在粗网格上快速求解掩模,然后对在粗网格上求解得到的掩模进行插值传播到下一级较细网格上进行细化校正,最终实现了掩模的快速优化。
华中科技大学 2021-04-14
用于浸没式光刻的浸液温控装置
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统,包括:用于浸液流动的浸液管路,待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管路,温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出;用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路,工艺冷却液在该回路中循环流动;以及多个热交换器,其沿流向依次布置,所述浸液管路和工艺冷却水回路同时流经每个热交换器,并利用各热交换器分别依次完成工艺冷却液和浸液之间的热交换,从而通过多次换热获得具有稳定温度的浸液,实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部回流结构与多级热交换器相结合,
华中科技大学 2021-04-14
超高细胞浓度光合细菌的培养和产业化生产技术
光合细菌是地球上最古老的光合作用原核生物,广泛分布于海洋、湖泊和河流中,因其不仅具有极高的营养价值,可明显提高养殖动物的生长速度和抗病能力,而且具有重要的去除污染物净化环境的功能,在畜牧、水产养殖和环境治理等领域都有非常重要和广泛的应用前景与价值。 应用领域:下面都是光合细菌使用效果的文献报道。 水产养殖:可提高对虾出苗率30%左右,出苗对虾规格整齐强壮,提高了虾苗的抗病和促生长效果,同时可以改善水质。用量10毫升/立方水体。 观赏鱼病防治:可防治金鱼的烂鳃病和水霉病。用量1~4%。 轮虫养殖:对鱼、虾、蟹人工育苗养殖阶段的重要活饵料轮虫的培养具有明显的促进作用。用量0.6毫升/升。 肉奶牛养殖:奶牛日产奶量增加2~3公斤,增产幅度7-22%。肉牛日多增重0.2公斤。用量250毫升/牛日。 鸡饲养:出栏成活率提高1.9%,出栏效益增加0.57元/只。乌鸡生长率提高17%。蛋鸡产蛋率提高,蛋的品质更好。用量0.4毫升/只日。 兔饲养:兔月多增重150克,提高25%,同时提高了兔病的痊愈率和抗病能力。
北京科技大学 2021-04-11
智能化油膜轴承关键技术研发
基于具有完全自主知识产权的机电液气一体化的大型油膜轴承综合试验台,油膜轴承研究实现了从“基础理论研究-试验研究-产品中试-推广应用”的完成产品研发链条,为我国各类油膜轴承新技术、新产品的开发提供有效的试验保障和技术支持,为发展智能化油膜轴承产品、多层合金新型结合技术提供了系统的理论指导。该技术成果授权国家发明专利10项,实用新型专利5项,软件著作权5项。为企业产品研发提供了重要的理论与技术支撑,实施研究成果在企业中验证和应用,推进了核心基础件的高端化进程。
太原科技大学 2021-05-04
无醛生物质胶黏剂制造与应用技术
项目采用豆粕、棉粕等植物蛋白为主要原料,开发出蛋白质活化、降粘、增强及快速固化等技术,创新植物蛋白胶黏剂施胶设备,解决了蛋白胶黏剂工业化应用的一系列难题,获国家发明专利12项。 黏剂产品具有涂布性能好、预压性好、固化温度低(110-120℃)固化速度快、耐水胶合强度高、成本低等优点,可用于单板类人造板生产。人造板产品力学性能表现优异,12小时水煮不开胶,无甲醛,胶黏剂产品成本与环保型三聚氰胺改性脲醛树脂相当,具有较好的性能与成本优势。
北京林业大学 2021-05-09
无醛生物质胶黏剂制造与应用技术
项目成果/简介: 项目采用豆粕、棉粕等植物蛋白为主要原料,开发出蛋白质活化、降粘、增强及快速固化等技术,创新植物蛋白胶黏剂施胶设备,解决了蛋白胶黏剂工业化应用的一系列难题,获国家发明专利12项。 黏剂产品具有涂布性能好、预压性好、固化温度低(110-120℃)固化速度快、耐水胶合强度高、成本低等优点,可用于单板类人造板生产。人造板产品力学性
北京林业大学 2021-01-12
ATMP模块化高应用度全地形移动机构平台的设计研发与实现
一、项目进展 创意计划阶段 二、负责人及成员 姓名 学院/所学专业 入学/毕业时间 学号 简凯纳 机电工程学院/机械工程 2018.9/2022.6 201831031312 张星 电气信息学院/电子信息工程 2018.9/2022.6 201831072307 陈浩彬 机电工程学院/机械设计及其自动化 2020.9/ 202031030285 邓青蓝 机电工程学院/机械设计及其自动化 2018.9/2022.6 201831053229 三、指导教师 姓名 学院/所学专业 职务/职称 研究方向 杨林君 工程训练中心/机械工程 实验师 机械工程 陈建勇 理学院/凝聚态物理 讲师 凝聚态物理 四、项目简介 目前,在移动机器人领域,轮式移动机器人因具有结构相对简单、驱动和控制方便、工作效率高等优点被广泛用在需要越过障碍物的工作中。但是,一般常用的移动装置为四轮驱动结构,动力相对不足,越障能力差;各种零部件之间拆装特别繁琐,不同模块之间管理混乱,更换属于一个模块的坏掉的零部件往往需要拆卸掉其它模块的零部件,电气元器件之间走线杂乱无序,电池等器件暴露在外部空气中,容易造成短路等安全问题。因此,增大驱动动力,提高越障能力,加强模块之间的管理,方便模块之间的拆装,提高电子元器件的安全性显得尤为重要。 我们项目本次设计和研究的是一种六轮结构的全地形机器人,使用模块化安装,使结构更为紧凑稳定,适用于多场景,提高轮式全地形机器人的应用度。我们采用基于探索者的PLA材料高提纯外分子重结晶化密致处理,极大增强了摩擦系数,底盘采用西南石油大学自主研发探索者二代原理高致合度准刚性攀岩越障地盘,越野能力增强,其底盘后侧主要为空体重心靠前,便于越障。
西南石油大学 2023-07-20
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