超衍射极限纳米光刻机技术

2021-01-12 00:00:00

云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn

关键词：纳米光刻机

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所属领域:

高端装备制造

项目成果/简介:

研发阶段/n1、在该方向发表论文10余篇，Nature子刊，Science子刊各一篇。。2、申报和获得该方向相关发明专利8项。其中1项授权转让给Facebook，Sony和中国一家企业。在华中科技大学申报5项发明专利，依托武汉舒博光电技术有限公司申报2项发明专利。。3、研发出2代超分辨纳米光刻样机。。4、配备光学装备开发专门团队，初步建成光学精密制造和检测平台。

项目阶段:

小批量或小范围应用

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