纳米科技是21世纪材料技术革命的核心，而纳米测量是纳米技术中重要环节，我校研制的光电轮廓仪是纳米测量的重要仪器之一。该仪器除在计量系统作为传递基准仪外，也可广泛用于材料科学、生物学、化学、微机械学以及半导体工业等领域中的纳米分析测量。   仪器主要技术指标为：   测量方法：非接触式、三维、光学相移干涉法   物镜倍率：40X   测量范围：0.1×0.1mm   测量列阵：510×510象素   最小显示值：0.1nm   测量表面粗糙度范围：Ra～0.1nm-120nm   最大可测量台阶和孔深：1100nm   仪器Ra测量重复性：Ra≤1nm

“虚拟工艺”软件可由标准工艺流程文件和掩膜版图文件，模拟出所要加工的MEMS器件的真实三维结构，具有良好的通用性和精度。下图为自主开发的“虚拟工艺”软件生成的微夹钳三维结构。 “虚拟运行”软件对器件的运动情况进行仿真，并与最初设计方案比较来指导和修正实际加工。下图显示了微夹钳的虚拟运行结果，图中的器件颜色表示了器件运动时的剧烈程度，红色表示变形最剧烈的部分，淡蓝色表示变形较小的部分。

项目的背景及目的 迄今为止，集成电路的模拟、仿真直至评测已有了非常完善的工具软件；并已成为设计过程的重要组成部分；对设计的成功、可靠、高效都已起到决定性作用。而对MEMS而言，还相差甚远，这和MEMS发展的成熟程度有着直接关系。当然，这并不意味着MEMS不需要这样的工具和系统。相反，由于MEMS的功能多样、加工复杂、分析困难、设计周期长、成本高等。特别需要一个能包括运动仿真、评测在内的设计工具和系统。这是当前推动MEMS发展的当务之急。

本发明提供了一种沟道的刻蚀方法，提供一待刻蚀对象，对所述待刻蚀对象一次刻蚀后，交替进行表面处理‑二次刻蚀，直至刻蚀掉所有的鳍结构的牺牲层；其中，一次刻蚀用于刻蚀掉所述若干鳍结构中当前宽度最小的鳍结构的全部牺牲层以及其它宽度更宽的鳍结构的部分牺牲层；表面处理用于在待刻蚀对象的沟道层与剩余的牺牲层的暴露在外的表面形成保护层；所述二次刻蚀用于刻蚀掉当前宽度次之的鳍结构的全部的牺牲层，以及所述保护层。本发明在传统的刻蚀工艺中加入氧化步骤，既实现了对沟道层的保护，又实现了在不同沟道宽度的刻蚀中，减少沟道层的损失量。

面向领带企业的信息管理系统包括色配合书的管理、领带样本的管理和客户管理等功能。本系统采用目前先进的数据库技术、网络技术、多媒体技术等，使得主要办公业务流程能够在计算机上实现，从而提高工作效率。系统能与企业现有的信息系统，如档案管理系统，人事管理系统等集成，以最大程度地共享资源，减少数据重复录入，提高统计分析的速度和质量；系统具有完善的WEB功能，具有良好的适应性，支持当今流行的浏览器、文字处理软件以及各种服务器端客户端操作系统。系统使用高效的数据处理和信息通讯机制，管理者可在任何时间、任何地点、任何机器上对领带产品及企业信息进行管理，提高了企业管理的效率和水平。

成果简介安全生产管理信息系统建立以现场管理、 业务处理、 安全管控为框架的信息系统， 可以使企业及时掌握现场安全生产动态， 及时发现和处置事故隐患， 预防事故的发生， 为安全管理部门的监管和决策提供管控工具。 实现全员、 全过程、全系统的安全管理， 提高企业安全管理水平。安全生产管理信息系统的重点是对于涉及安全的“设备设施” 的维护和安全检查， 核心主线是按照“安全生产标准化规范” 形成:标准制定、 现场执行、 检查评价、 绩效改善的 PDCA 信息化闭环。

我国目前供电运营单位管理模式多采用人工操作方式，管理水平和工作效率难以进一步提升。为适应新形式下的我国铁路行业的现代化、自动化和信息化的需要，实现供电系统的现代化管理模式。在铁道部科技发展项目（牵引供电运营安全保障及信息智能化管理系统的研究，合同号2002J035）的资助下，结合全路信息化进程，从铁道部、路局、分局和供电段对牵引供电运营管理信息系统的需求出发，就牵引供电运营信息管理标准化工作、牵引供电段对牵引供电运营管理信息系统的需求出发，就牵引供电运营信息管理标准化工作、牵引供电段局域网我建设规划及其与全路信息化网络数据共享及接口关系、供电段局域网日常办公信息与电调生产指挥信息系统集成、接触网状态修智能决策系统、牵引供电事故远程诊断及抢修智能决策系统以及部-局-分局-段之间信息传递、浏览方式等方面进行了研究，研制了“牵引供电管理信息系统”（power supply management Information system for electric railway ,简称PSMIS） PSMIS系统是基于计算机技术、网络技术和分布式数据库技术开发的，以计算机网络为载体、以供电段设备管理和运营管理为主线，实现供电段各种技术资源、设备信息和运营数据管理的大型集成管理信息系统。系统通过网络平台将铁路供电段段属部门连成一个整体，利用模块化、高效灵活的业务软件向用户提供了设备管理、运营管理、机电报管理、图形视频管理、事故抢修支持以及各种业务信息查询统计等功能。能充分实现牵引供电业务的信息化和标准化，提供各种设计资料和运营资源的共享，通过各种专家支持系统为管理决策者和技术管理者提供辅助信息和决策依据，并通过计算机网络将各类报表和数据逐级上报，提供高效快捷的现代化管理手段，为我国铁路实现网络经实时信息管理打下坚实的基础。

产品详细介绍  德睿博物馆多媒体信息发布系统   　 博物馆作为公益性文化教育机构，是弘扬和培育民族精神的重要文化基础设施，因此，如何充分发挥这个基地的作用，对外展示、宣传博物馆的内涵和外在的形象就显得尤为重要。根据博物馆的这一现实需求，上海德睿电子科技有限有限公司开发了德睿多媒体发布系统。该系统实现馆藏展示、馆内导航、广告、公告、新闻信息、历史资料、教学、讲座或报告等的多媒体内容发布，内容形式可为文字、图片、文件、音频、视频等。 　　该系统集远程内容发布、远程管理、海量存储、高清视频、交互传输于一体，是一个完美的数字化分布式多媒体发布平台，它也是国内第一套博物馆分布式多媒体发布系统。　控制中心：集中了系统管理、内容发布、远程、采集编码、数据存储等主要功能；展区配备了视频播出服务器与显示终端，视频播出服务器将根据控制中心播控系统的控制，进行多媒体信息的播放。   展览馆、图书馆、博物馆多媒体联网信息发布系统 　　伴随着市场化的不断深入，各行各业供需双方急切的需要能通过各种渠道得以有效交流，进而达成交易。在众多的交流平台中，会展方式成为其中最为重要和发展最快的公共平台。 　　因此，为了更好的为企业和观众提供服务；为了提高展馆设施与资源的使用效率；为了便于主管部门的管理、协调工作；为了提升整个展馆形象和服务档次。需要建设一套统一管理、方便迅捷的公共信息服务平台。 　 展览馆、图书馆、博物馆信息发布系统解决方案                　　 　　从德睿多媒体信息发布的角度，展览馆、图书馆、博物馆的信息发布区域可分为三块：公共信息发布区，会展大厅，各办公楼层。在这些区域各相应地点（各展位上方、各楼层电梯口等），设置大屏幕等离子彩电（附美观小巧的控制终端设备）。 　　在公共信息发布区：主要由管理人员，面向所有人员，发布管理信息和各种公告，从而起到统一的管理和导引作用。同时也可发布某些企业的广告。 　　在大厅各展位上方：通过大屏幕彩电显示该展位的企业介绍等信息。各展位的信息各不相同，但管理人员仍可在各展位的电视屏幕上统一发放重要通知。 　　在各楼层：由管理人员根据需要发布信息，如通知、公告、广告等。由于采用先进的网络流媒体技术，各电视显示终端能够以灵活多样的形式发布信息。文字显示模式，可以通过周期性屏幕切换，显示信息。 　　　　信息发布与管理： 　　根据展览馆、图书馆、博物馆的特点，信息的发布及管理由以下方式构成： 　　统一管理和发布，整个信息管理平台由主管部门控制，所有企业信息和各种公告信息均由管理人员统一制作和发布，或者由管理人员授权企业制作和发布； 　　设置企业信息服务区，各企业经过管理员授权，可以在自己展位的显示终端发布自身信息，包括企业介绍和招聘信息等。企业只能在规定的显示模板内选择信息发布的方式，避免了五花八门的海报式宣传，实现信息发布形式的统一化和标准化。企业所发行信息受管理员监管，管理员可随时中止某企业的非法信息；展览馆、图书馆、博物馆除了提供供需双方的交互平台，还可以提供各种公益性服务。通过智能信息平台，管理人员可以在合适的时间播放各类公益节目。