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通信感知一体化氮化镓光电子集成芯片
研究背景 芯片是人类最伟大的发明之一,也是现代电子信息产业的基础和核心。小到手机、电脑、数码相机,大到6G、物联网、云计算均基于芯片技术的不断突破。半导体光刻工艺水平的发展是以芯片为核心的电子信息产业的基石,目前半导体光刻的制造工艺几乎是摩尔定律的物理极限。随着制造工艺的越来越小,芯片内晶体管单元已经接近分子尺度,半导体制作工艺的“瓶颈效应”越来越明显。随着全球化以及科技的高速发展,急剧增长的庞大数据量要求数据处理模型和算法结构不断优化升级,带来的结果就是对计算能力和系统功耗的要求不断提高。而目前智能电子设备大多存在传输瓶颈、功耗增加以及计算力瓶颈等现象,已越来越难以满足大数据时代对计算力与功耗的需求,因此提高运算速度同时降低运算功耗是目前信息工业界面临的紧要问题。 如当年集成电路开创信息时代一样,当下已经普及的光通信正在成为新革命力量的开路先锋。与此同时,光子芯片正在从分立式器件向集成光路演进,光子芯片向小型化、集成化的发展趋势已是必然。相对于电子驱动的集成电路,光子芯片有超高速率,超低功耗等特点,利用光信号进行数据获取、传输、计算、存储和显示的光子芯片,具有非常广阔的发展空间和巨大的潜能。 项目功能 本项目瞄准光通信关键技术及核心芯片,基于量子阱二极管发光探测共存现象,探索关键微纳制造技术,研制出可以同时实现通信、感知功能的一体化光电子芯片。 技术路线 一、技术原理及可行性 本项目主要负责人王永进教授发现如图1所示的量子阱二极管发光探测共存现象,首次研制出同质集成发射、传输、调制和接收器件的光电子芯片,这些原创工作引起了业界相关科研小组地广泛关注,化合物半导体同质集成光电子芯片成为研究热点。香港大学的蔡凯威小组和申请人合作提出湿法刻蚀和激光选择性剥离技术,在蓝宝石氮化物晶圆上实现LED基同质集成光电子芯片(Optica 5, 564-569 (2018))。沙特阿卜杜拉国王科技大学Ooi教授和美国加州大学圣巴巴拉分校Nakamura教授小组在蓝宝石氮化物晶圆上,研制出基于氮化物激光器的同质集成光电子芯片(Opt. Express 26, A219(2018))。中科院苏州纳米所孙钱小组在硅衬底氮化物晶圆上,研制出基于氮化物激光器的同质集成光电子芯片(IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 8200305 (2018))。在NRZ-OOK调制方式下,InGaN/GaN量子阱二极管可实现Gbps的光发射、调制和探测速率(Appl. Phys. Express 13, 014001 (2020))。这些工作表明研发基于光子传输的化合物半导体同质集成光电子芯片以实现片上光子通信是可行的。   二、总体结构设计及工艺流程 本项目提出的同时通信/感知一体化光电子芯片基于常规的蓝宝石衬底氮化镓基多量子阱LED外延片进行设计,无需特殊定制的外延结构。以典型的2寸氮化镓基蓝光LED外延片为例,其外延片结构如图2所示,从下至上依次为蓝宝石衬底、AlGaN缓冲层、未掺杂GaN层、N型GaN层、InGaN/GaN多量子阱层和P型GaN层,通过调节InGaN/GaN多量子阱层的参数(层厚度与In的比例等等)可制备具有不同中心波长的光源器件。   图3为本项目所提出的同时通信/感知一体化光电子芯片结构。在蓝宝石衬底的氮化物晶圆上通过刻蚀和沉积等一系列晶圆级微纳加工技术,制备出单片集成的InGaN/GaN多量子阱LED和PD。光子芯片的P、N电极可以采用倒装技术直接与基板相连,光线从透明的蓝宝石衬底发出,这样不仅使得器件具有优良的电性能和热特性而且简化了其后期的封装工艺。 三、技术创新优势 1、同一块晶圆上集成LED和PD使得两者间距离大大缩短,不仅有助于增强PD对蓝宝石表面反射光线的耦合,提升感知系统性能,而且缩小了器件整体外形,符合集成电子器件小型化、便携化的发展趋势; 2、单片集成的LED和PD器件相比于传统异质的、分立的LED和PD简化了封装形式和工艺,不再需要对LED和PD进行单独的封装,而且同质集成器件的基板也较异质结构的简单统一,极大地缩短了集成系统的制作周期; 3、同时通信/感知一体化光电子芯片采用相同的工艺就可以制作出LED和PD,简化了生长异质材料的复杂性,缩短了器件流片的周期,使用同一工艺就可将LED和PD进行批量生产,有效地降低了生产成本。 四、实验验证 本项目团队所在的Peter Grünberg研究中心拥有完整的LED器件制备、光电性能测试与电学性能测试平台,并且项目成员积累了丰富的测试技术与经验,能够满足本项目的同时通信/感知一体化光电子芯片测试同时表征光电参数与电学参数的需求。下图4所示为器件形貌表征图,从左边依次是扫描电镜图、光镜图、原子力显微镜图。   基于通信感知一体化芯片,本项目利用单个多功能集成器件成功实现了对人体脉搏的监测功能,如图5所示。   另外基于通信感知一体化氮化镓光电子芯片,我们还实现了照明、成像和探测功能为一体的LED阵列系统,如图6所示。该系统可以在点亮照明的同时,实现对外界光信号的探测与感知,通过后端系统处理后,再将信息通过阵列显示出来,实现多种功能的集成。 项目负责人王永进教授是国家自然基金委优秀青年项目、国家973项目获得者,他以第一或通讯作者身份在Light-Sci Appl.等主流学术期刊发表一系列高质量研究论文,获授权中国发明专利23项,美国发明专利2项,被National Science Review、Semiconductor Today等做9次专题报道,荣获2019年中国电子学会科学技术奖(自然科学)、2019年南京市十大重大原创成果奖等。
南京邮电大学 2021-05-11
焊接结构内外一体化智能检测装备与自主评估技术
焊接作为工程机械领域的关键技术,直接决定着国之重器的安全可靠性。目前,智能焊接与检测严重依赖国外进口设备,价格昂贵、售后服务难以保障。对于大型、复杂焊接结构,焊后焊缝质量智能检测在整条焊接产线上属于空白。本团队在国内首次开发了大型焊接结构内外一体化智能检测装备及软件,部分高端装备达到国际水平,建成了国内首条内外一体化焊接智能检测与评估生产线,在徐工挖掘机上获得应用,并在央视CCTV2制造中国节目中播出。 图片 内外一体化焊缝智能检测与评估生产线获央视CCTV2报道
吉林大学 2025-02-10
一种小麦种植一体化施肥装置
本实用新型公开了一种小麦种植一体化施肥装置,包括机架,所述机架的顶部固定连接有混合设备,所述机架的左侧固定连接有翻耕装置,所述机架顶部的右侧固定连接有推杆,所述机架的底部固定连接有喷洒装置,所述混合设备包括箱体,所述箱体的底部与机架的顶部固定连接,所述箱体内腔的顶部固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有搅拌杆。本实用新型通过机架、混合设备、翻耕装置、推杆和喷洒装置的配合使用,能够有效的降低传统
青岛农业大学 2021-01-12
一种桥梁桩基墩台一体化结构
本实用新型涉及桥梁建设技术领域,尤其是一种桥梁桩基墩台一体化结构,包括承台,所述承台的内部安装有限位钢板,所述限位钢板的底面固定安装有钢管桩基,所述钢管桩基贯穿所述承台的底面,所述钢管桩基的外侧壁焊接有多个倒刺,所述承台的上表面浇筑有墩柱。本实用新型在墩台部分的承台中安装有限位钢板,在限位钢板底面焊接有钢管桩基,利用承台内部的强化钢架将限位钢板卡接在其内部,然后通过混凝土浇筑成承台,使得墩台部分与桩基部分成为一体化结构,增加安装结构的紧凑性,加强桥梁建设的稳定性,同时在钢管桩基的外侧壁焊接有多个倒刺
安徽建筑大学 2021-01-12
一种可自清洁的一体化泵站
本成果采用的一个新型可自清洁移动式底部结构,泵站底部改为可上下移动的抗压不锈钢底板,在底板下面安装四个可自动控制升降的液压升降装置。根据筒体内的水位,对不锈钢底板进行适当的升降从而得到合适的喇叭管悬空高,悬空高一定时充分吸收筒内中上层水体,使水泵运行平稳,筒内水位降低时,降低悬空高筒低水流中杂质被充分吸收,既保护了水泵正常运行又实现了一体化泵站的自清洁。
扬州大学 2021-04-14
掘锚支一体化快速掘进作业平台
项目成果/简介:本作业平台可以实现掘进头支护作业的完全机械化,改善掘进头工作面的支护状况,大大减轻工人劳动强度,能满足一定的超前支护要求,能有效提高掘进面作业速度,充分保证工作人员的作业安全性,是改进目前掘进头支护作业工作方式的综合机械化成套作业设备。
安徽理工大学 2021-04-11
线性 / 非线性一体化相控阵超声检测系统
无损检测在现代工业中受到越来越广泛的关注,超声检测方法由于其适用性广、绿色环保等优点,一直以来是应用最广泛的无损检测方法。相控阵超声检测技术具有检测速度快、效率高、缺陷检出率较高、检测方法灵活多样以及适用于狭窄空间等优点。目前,欧美等发达国家已经普遍采用了相控阵超声检测技术。最近几年,国内一些大型电力和石化公司也开始采用相控阵方法进行检测,但所使用的设备均为国外进口,比如加拿大R/DTech公司生产的PipeWIZARD管道相控阵超声检测系统,日本Olympus、美国GE等公司也分别有各自的相控阵超声检测产品。 最近几年,国家相关部门也开始对相控阵超声检测技术逐渐重视起来,并于2012年底发布,2013年6月开始实施了国内第一个相控阵超声检测的国家标准-GB/T 29302-2012《无损检测仪器相控阵超声检测系统的性能与检验》。
北京大学 2021-02-01
掘锚支一体化快速掘进作业平台
本作业平台可以实现掘进头支护作业的完全机械化,改善掘进头 工作面的支护状况,大大减轻工人劳动强度,能满足一定的超前支护 要求,能有效提高掘进面作业速度,充分保证工作人员的作业安全性, 是改进目前掘进头支护作业工作方式的综合机械化成套作业设备。
安徽理工大学 2021-04-30
化工“三废”一体化深度净化技术
石化产业的废气、废水、废渣排放量分别位居工业污染物排放量的第1、第4和第5位,现有工艺针对废气、废水、废渣分别采用焚烧、生化等方法处理,存在投资大、能耗高、达标排放难等问题。本项目以“过程减量化、治理精准化”为理念,开发“废弃物”中资源化合物的回收技术、废气/废水催化氧化技术、废渣临氧裂解技术、低品位能量综合利用技术,形成化工“废气、废水、废渣”“一站式”净化的成套装备与工艺技术。并且环保装置与化工装置一体化运行,实现化工装置的“三废”零排放。
南京工业大学 2021-01-12
一体化与普适服务网络
北京交通大学下一代互联网研究中心在深刻理解已有网络技术及其严重弊端的基础上,从根本上对未来互联网的发展提出了一种全新的“标识分组网络”的设计思路:将目前的多种媒体网络、多种服务模式通过“标识化”统一管理,抽象为一体化网络与普适服务的体系结构,再基于“分组”的形式进行传输。“标识分组网络”既能继承分组传输的优势,又能有效解决现有网络的主要弊端,以开创下一代信息网络全新的发展局面。 接入标识与交换路由标识分离的一体化网络结构具有如下重要作用:保证各种接入网络及用户的移动性;保证用户的隐私性和安全性;保证网络的可控可管性。普适服务体系具有如下重要作用:支持网络服务与资源的统一处理、支持多连接多路径的高效传输协议设计。
北京交通大学 2021-04-13
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