本发明公开了一种超薄芯片的制备方法，具体为：首先在硅晶圆表面光刻形成掩膜以暴露出需要减薄的区域，再采用刻蚀工艺对硅晶圆进行局部减薄，对减薄后的区域进行芯片后续工艺处理得到芯片，最后将芯片与硅晶圆分离。本发明只是部分减薄了硅片，所以硅晶圆的机械强度仍然可以支持硅片进行后续的加工工艺，相对于传统的利用支撑基底来减薄芯片的方法，简化了工艺流程，降低了工艺成本。另外由于不需要用机械研磨工艺来进行减薄，所以不会因为机械研磨对硅晶圆造成的轻微震动而使厚度不能减得过小，通过本发明可以使芯片减薄到比机械研磨方法更薄的程度。

成果与项目的背景及主要用途： RFID是射频识别技术的英文(Radio FrequencyIdentification)的缩写，射频识别技术是 20 世纪 90 年代开始兴起的一种自动识别技术，射频识别技术是一项利用射频信号通过空间耦合(交变磁场或电磁场)实现无接触信息传递并通过所传递的信息达到识别目的的技术。RFID 系统通过射频信号自动识别目标对象并获取相关数据，识别工作无须人工干预。作为条形码的无线版本，RFID 技术具有条形码所不具备的防水、防磁、耐高温、使用寿命长、读取距离大、标签上数据可以加密、存储数据容量更大、存储信息更改自如等优点，已经被世界公认为本世纪十大重要技术之一，在生产、零售、物流、交通等各个行业等各个行业有着广阔的应用前景。 本项目主要研发了基于 ISO18000-6B 协议的无源电子标签芯片，其可用于物流，货品识别，高速公路收费等诸多领域，是目前国内外射频电路研究领域的热点。 技术原理与工艺流程简介：UHF 频段的无源电子标签工作原理如下：通过标签上外置的偶极子天线接收读卡器发送的载波信号，并将其转换为直流信号，为整个芯片供电；同时片上的解调模块解调出经调制的载波信号所携带的数据信息，并传递给片上的基带部分加以处理；基带部分连同 EEPROM 部分一起完成数据的读写和控制功能，再由调制模块以反向发射的形式将上行信号返回给读卡器完成一次通信。 本设计的工艺流程是基于 Chartered 0.35um EEPROM 数字工艺，从芯片设计、仿真、版图验证。最终通过代工厂完成芯片制作。技术水平及专利与获奖情况：根据测试结构表明，各项指标都达到了商用需求，在国内属领先水平。该项成果已获得国家知识产权局颁发的集成电路布图登记证书。BS.06500285.7 应用前景分析及效益预测：目前国内的 UHF 频段的 RFID 产品正处于高速成长期，需求量快速增长，但大多数核心技术需要依赖进口。如果本项目能够实现技术转产，可以预计的前景和经济效益是相当可观的。有了自主知识产权的 UHF频段电子标签，在很多领域都可以加以移植，取代进口产品不但可以大大节省开支，同时也可以实现产品的自我定制及更新，最大程度的方便了国内用户的应用。 应用领域：货品跟踪和识别（代替条形码）、高速移动物体的识别、防伪认证以及电子支付等领域都会有广泛的应用。 技术转化条件（包括：原料、设备、厂房面积的要求及投资规模）：四十平方米以上的办公用房，电脑、工作站若干，相应软件。也可以和 RFID天线制造单位，卡片封装单位共同合作，将成果转产。 合作方式及条件：面谈。

5G、大数据、人工智能、元宇宙等新业务应用的兴起，以及后疫情时代催生的远程办公、远程教学等实时视频业务，急剧加速了通信网络流量激增的趋势。而长距离、大容量、高速率的光纤通信技术成为了实现信息化社会和数字经济的必由之路。对于光通信产业链上的模块厂商、设备制造商、运营商来说，测试是必不可少的环节。一般来说，驱动光收发机的高速芯片的开发进度会比光通信器件滞后差不多一年。 在光通信模块厂商、设备制造商开发最新相干光通信子组件时，工程师需要先进的测试设备，提供足够的性能，证明其最终模块设计的预期性能。随着系统速率的提升，复杂调制格式的演进，市场大量需求的出现，催生了低成本、高性能的宽带高速光电信号分析仪的巨大市场需求。同时，当今世界格局下，亟需突破国外在高速光通信信号检测领域对国内的技术限制和关键仪器、器件的性能瓶颈，实现在高速光电信号分析仪的国产化目标。 【成果介绍】 本成果基于线性光采样，利用低重复频率脉冲光对待测信号光在光域上进行采样，使用技术成熟成本较低的低速的光电探测器和采集卡进行光电和模数的转换，软件同步算法为光采样技术提供了数字信号处理上的支持，通过恢复出信号的眼图和星座图以及计算相应的 EVM 和 Q 值来判断信号的质量。通过多年技术积累，在相干检测中全光采样技术、超低时间抖动采样脉冲源的实现方法、以及相干检测算法和软件时钟提取技术中取得突破。 图1 高速光调制信号分析仪样机 【性能指标】 基于线性相干光采样技术在国内首次现场测试了4个ITU-T标准波长信道下的128Gbps PDM-QPSK光信号，测量结果利用安捷伦的光调制分析仪作为对照参考，同样信号下测得的 EVM 差值小于2%，Q 因子差值小于2dB。实现指标包括全光采样源时间抖动为60.335fs，分析带宽>1THz，时域分辨率200fs，待测光信号速率达到508.608Gbps，实测相位误差小于1.5°，测量时间100ms，平均故障间隔时间MTBF 1000小时。开发全光采样时域分析数据解算软件，可以实现光电信号波形分析、速率测量和眼图测量等功能。 图2 测试架构 图3 窄带光采样结果 图4 宽带光采样结果 【技术优势】 已经研制出样机。光采样技术相对于传统电采样方式，降低了系统带宽要求，减缓了光电探测器和采集卡带宽的瓶颈效应，降低了成本和硬件设计复杂度。同时，本产品所采用的线性光采样技术，其灵敏度远高于非线性光采样，且对高阶调制格式具有同样的处理效果和优越性能，能全面分析信号特性。低成本高测量带宽的线性光采样技术已成为高速信号质量检测未来最有潜力的方向。

① 酞菁纳米材料制备。使用四苯氧基金属酞菁，采用混合溶剂缓慢挥发的方法，得到一维的酞菁纳米线； ② 器件组装。使用梳状电极，将酞菁纳米线搭在梳状电极两端，形成电路。得到的酞菁器件对 808 nm光敏感，可以迅速产生响应，恢复时间短，课重复响应。

云南华尔贝光电技术有限公司位于云南滇中新区昆明空港经济区，是云南省综合实力行业领先，专业从事LED校园健康照明、5G智慧多功能路灯设计、研发、生产、销售和安装运维为一体的高新技术企业。华尔贝，自成立以来，始终重视新技术与新产品的研发、新成果转化，与云南大学等科研院校建立了科研生产联合机构，致力于LED技术和应用的研究创新；积极推动建立健全多项技术标准，参与多项国家标准、行业标准、地方标准和团体标准的起草编制工作。企业通过并落实质量管理体系、环境管理体系、职业健康安全管理体系，建设了西南地区设施齐全、装备先进的LED照明产品生产基地和专业检验检测中心，拥有城市及道路照明工程壹级、电子与智能化工程专业承包贰级、机电设备安装专业承包叁级等资质，已成为能系统地提供5G智慧多功能路灯、健康智慧照明整体解决方案的科技型高赋能型企业。

捷能通专业研发生产LED护眼教室灯、LED护眼黑板灯、录播教室灯、阅览室灯等一系列专业学校护眼照明产品。捷能通，深耕LED照明科技市场，变道教育照明6年好评不断，秉持“用光明守护成长！”的理念，是最早进入教育照明市场的并专注这一领域的领军型企业。  捷能通产品经国家级实验室检测，无蓝光危害、无眩光、无频闪、高显指，并通过CCC、UL、CE、RoHS等认证，拥有教育照明领域的136项专利及288项国家级实验室的检测认证，获得“国家高新技术企业”“厦门市科技小巨人企业”“中国教育装备协会2020年度推荐产品”等99项市级荣誉，同时与厦门大学、厦门理工学院等国内著名科研院校开展密切的科研合作和技术交流。  捷能通品牌至今已在北京、上海 、广东、浙江、湖南、湖北、江苏、安徽、甘肃、黑龙江等全国30多个省市完成超万所的学校的灯光改造，创造上万间健康光环境示范教室，获得到了广大学子、家长及教育人士的认可。 捷能通将继续秉承着“用光明守护成长！”的经营理念，为广大学子的视力健康保驾护航，致力于让全国学校教室照明卫生标准达标率达到100%！

广州华之尊光电科技有限公司成立于2004年，是一家集生产、研发、销售为一体的国家级高新技术企业、广东省专精特新企业、科技创新小巨人企业，二十多年来一直专注于高精密激光切割雕刻一体机、CCD视觉自动定位高精度激光设备、激光焊接机、激光清洗机、激光熔覆机、激光微纳加工等智能制造设备。

 福建利利普光电科技有限公司创建于1993年，是中国微型彩色液晶显示产业的领先龙头企业，现拥有两个独立的研发生产基地和"LILLIPUT"与"OWON"两个独立品牌。公司在美国、英国、加拿大、香港、厦门、深圳设有分公司。多次荣获国家、省、市包括科技进步奖在内的各种奖项,2004年被认定为福建省高新技术企业。        福建利利普光电科技有限公司（OWON）是一家集研发、生产、销售、服务为一体的产、学、研相结合的高新企业。目前OWON产品涵盖频谱分析仪、数字示波器、信号发生器、数字可编程直流电源等多种数字化测试仪器。        OWON品牌的数字仪器，广泛适用于生产制造、工业控制、广播电视、网络通信和科研教学等领域，成功进入美国哈佛大学、美国麻省理工、日本早稻田大学、日本千叶大学、米兰大学、天津大学、西安电子科技大学、厦门大学等知名高校实验室，成为测量测试领域的世界级供应商和客户的首选商业伙伴。        创新是产品的核心与灵魂，公司坚信产品质量远胜于产品本身；公司引进ISO9001:2008质量管理体系, 致力于整合单一的生产环节以融入全员质量控制管理中，体现出利利普人对产品质量的专注与苛求。        倾听是OWON品牌成长的动力。利利普公司致力于构建一个以诚信、创新、人性化为核心价值的品牌企业，虚心听取来自各方朋友的意见与建议，注重人性关怀为企业成长凝聚力的可持续发展模式。        "合您所需，全能全时"满足工程测量的便利性和准确性是OWON产品一如既往的坚持和追求。

上海昊量光电设备有限公司是目前国内知名光电产品专业代理商，也是近年来发展迅速的光电产品代理企业。除了拥有一批专业技术销售工程师之外，还有拥有一支强大技术支持队伍。我们的技术支持团队可以为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等工作。为客户提供适合的产品和提供完善的服务是我们始终秉承的理念！ 自2008年成立以来，昊量光电专注于光电领域的技术服务与产品经销，致力于引进国外先进性与创新性的光电技术与可靠产品，为国内前沿的科研与工业领域提供优质的产品与服务，助力中国智造与中国创造! 目前，昊量光电已经与来自美国、欧洲、日本的多家知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系。其代理品牌均处于相关领域的发展前沿，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究与国防等。近年来，我们也专注于前沿的细分市场，为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等领域的客户提供系统解决方案。 秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观，昊量光电坚持以诚信为基石，凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值，实现各方共赢！ 立足于光电产业，昊量光电始终坚持价值创造与创新，赢得客户与合作伙伴的认可，不断拓展业务领域的新边疆，立志打造国际一流的代理服务品牌！