本发明公开了一种多顶针芯片剥离装置，包括多顶针主体机构， 安装于 Z 向升降机构上并连接旋转驱动机构，其包括中心顶针和外圈 顶针，外圈顶针先接触蓝膜上芯片的外缘实现预顶松，然后中心顶针 上升至外圈顶针等高并协作顶起芯片，完成芯片剥离；旋转驱动机构， 连接多顶针主体机构，用于先后驱动外圈顶针和中心顶针上升以完成 芯片顶起动作；Z 向升降机构，安装于三自由度微调对准机构上，停 机状态时其处于下降位置，工作状态其处于抬升位置，为顶起芯片做 好准备；三自由度微调对准机构，用于对多顶针主体机构进行 X、Y 和 Z 向的微调。本发明可实现顶针的快捷更换以及各顶针高度的方便 调节，芯片受力均匀，有效减少剥离过程中的芯片失效。 

本发明公开了一种超薄芯片的制备方法，具体为：首先在硅晶圆表面光刻形成掩膜以暴露出需要减薄的区域，再采用刻蚀工艺对硅晶圆进行局部减薄，对减薄后的区域进行芯片后续工艺处理得到芯片，最后将芯片与硅晶圆分离。本发明只是部分减薄了硅片，所以硅晶圆的机械强度仍然可以支持硅片进行后续的加工工艺，相对于传统的利用支撑基底来减薄芯片的方法，简化了工艺流程，降低了工艺成本。另外由于不需要用机械研磨工艺来进行减薄，所以不会因为机械研磨对硅晶圆造成的轻微震动而使厚度不能减得过小，通过本发明可以使芯片减薄到比机械研磨方法更薄的程度。

5G、大数据、人工智能、元宇宙等新业务应用的兴起，以及后疫情时代催生的远程办公、远程教学等实时视频业务，急剧加速了通信网络流量激增的趋势。而长距离、大容量、高速率的光纤通信技术成为了实现信息化社会和数字经济的必由之路。对于光通信产业链上的模块厂商、设备制造商、运营商来说，测试是必不可少的环节。一般来说，驱动光收发机的高速芯片的开发进度会比光通信器件滞后差不多一年。 在光通信模块厂商、设备制造商开发最新相干光通信子组件时，工程师需要先进的测试设备，提供足够的性能，证明其最终模块设计的预期性能。随着系统速率的提升，复杂调制格式的演进，市场大量需求的出现，催生了低成本、高性能的宽带高速光电信号分析仪的巨大市场需求。同时，当今世界格局下，亟需突破国外在高速光通信信号检测领域对国内的技术限制和关键仪器、器件的性能瓶颈，实现在高速光电信号分析仪的国产化目标。 【成果介绍】 本成果基于线性光采样，利用低重复频率脉冲光对待测信号光在光域上进行采样，使用技术成熟成本较低的低速的光电探测器和采集卡进行光电和模数的转换，软件同步算法为光采样技术提供了数字信号处理上的支持，通过恢复出信号的眼图和星座图以及计算相应的 EVM 和 Q 值来判断信号的质量。通过多年技术积累，在相干检测中全光采样技术、超低时间抖动采样脉冲源的实现方法、以及相干检测算法和软件时钟提取技术中取得突破。 图1 高速光调制信号分析仪样机 【性能指标】 基于线性相干光采样技术在国内首次现场测试了4个ITU-T标准波长信道下的128Gbps PDM-QPSK光信号，测量结果利用安捷伦的光调制分析仪作为对照参考，同样信号下测得的 EVM 差值小于2%，Q 因子差值小于2dB。实现指标包括全光采样源时间抖动为60.335fs，分析带宽>1THz，时域分辨率200fs，待测光信号速率达到508.608Gbps，实测相位误差小于1.5°，测量时间100ms，平均故障间隔时间MTBF 1000小时。开发全光采样时域分析数据解算软件，可以实现光电信号波形分析、速率测量和眼图测量等功能。 图2 测试架构 图3 窄带光采样结果 图4 宽带光采样结果 【技术优势】 已经研制出样机。光采样技术相对于传统电采样方式，降低了系统带宽要求，减缓了光电探测器和采集卡带宽的瓶颈效应，降低了成本和硬件设计复杂度。同时，本产品所采用的线性光采样技术，其灵敏度远高于非线性光采样，且对高阶调制格式具有同样的处理效果和优越性能，能全面分析信号特性。低成本高测量带宽的线性光采样技术已成为高速信号质量检测未来最有潜力的方向。

① 酞菁纳米材料制备。使用四苯氧基金属酞菁，采用混合溶剂缓慢挥发的方法，得到一维的酞菁纳米线； ② 器件组装。使用梳状电极，将酞菁纳米线搭在梳状电极两端，形成电路。得到的酞菁器件对 808 nm光敏感，可以迅速产生响应，恢复时间短，课重复响应。

广州爱闪思光电科技有限公司，坐落于广东省广州市南沙区，是一家主要从事特种成像系统的研发、生产和销售业务的公司。主要产品有： 高性价比的小型工业光场相机，实时全偏振相机，哈特曼波前传感器，16通道多模态相机，谱段可换的实时多光谱相机，等。

深圳市亚泰光电技术有限公司成立于2003年，注册资金人民币2000万元，是一家集研发、生产、销售、服务为一体的国家高新技术企业。专业从事设备故障诊断和状态监测技术产品的研发生产，主要包含油液、工业内窥镜、振动方向。公司自主研发的铁谱仪、工业内窥镜、多通道振动分析仪等产品已经获得发明专利23项，软件著作权7项，境外外观专利3项，PCT 2项，多项产品技术属国内外首创。 一直以来，公司坚持以人为本，重视自主创新，聘请了杨叔子、温诗铸、徐扬生等院士技术顾问；与中科院、清华大学研究院、华南理工、武汉理工以及深圳大学等国内知名科研院校都建立了良好的研发合作关系。亚泰公司所属行业是高新技术领域高端装备制造业，为珠三角规划纲要和广东省现代产业体系重点发展行业。经过十余年的磨练，亚泰公司已成为我国状态监测行业的领军企业之一，多次承担科技部、工信部、发改委等多项省部级以上科技项目。 公司致力于为客户提供专业化、针对性的系统解决方案，在各大领域中发挥着重要作用，主要取得以下社会效益：宝钢：亚泰首创的stelmor线冷却控制系统很好地解决了钢绞线和子午线目前存在的产品质量受环境温度影响而产生的较大波动的难题,提高了产品的质量，顺利出口; 天安门阅兵式：2009年10月1日，中华人民共和国成立60周年阅兵在北京天安门举行，多种新式武器接受检阅。其中由亚泰光电生产的铁谱仪用于保障和监测装甲车的技术状态，为阅兵的顺利进行提供了重要保障; 索马里护航：中国海军派出舰队赴索马里海域执行护航任务，亚泰光电公司的铁谱仪和快速油质分析仪成为油液监测的重要手段，确保机械设备的安全运行。

 广州华之尊光电科技有限公司成立于2004年，是一家集生产、研发、销售为一体的国家级高新技术企业，近20年来一直专注于中小功率高精密激光雕刻机切割机、CCD视觉自动定位激光加工设备、3D打印机、三维扫描仪等智能制造设备的研发、生产及销售。       公司积极依托高速发展的亚洲新一代信息技术产业，在两岸三地分别拥有“产品研发”、“应用技术研发”两大研发中心，三大生产基地。作为智能制造/数字技术产业化解决方案服务提供商，公司一直致力于提供促进产业发展的、先进的、系统化的激光技术/数字技术解决方案，目前已在精密电子（Die cut）、半导体产业（Wafer）、3C产业、核电领域、汽车产业、FPD平板显示领域、生物医疗领域等工业领域得到了广泛应用，成果丰硕。公司在激光、数字技术领域拥有核心技术及可持续研发能力，为新材料、新技术、新工艺在工业市场的成熟及深入的应用打下了坚实的基础。       “立足数字工业，赋能教育未来”，公司凭借十几年成熟的工业市场及可靠的先进应用沉淀，积极为高校教学科研需求，提供先进的、系统化的教学解决方案。目前已与浙江大学（激光技术联合实验室）、中国美术学院（柔性材料协同创新中心）、广东轻工职业技术学院（国际数字创意谷）等高校建立不同类型的服务于科研、教学的各种产教融合基地！并已荣获教育部职业院校艺术设计类专业《激光科技与传统工艺》时尚品项目负责人单位、激光技术/数字技术高职院校艺术设计学科中应用国家教学成果奖协报单位、教育部高职艺术设计类（产品艺术设计专业、工艺美术设计专业、雕刻艺术设计专业）国家教学标准制定参与单位、广东省工程技术示范中心（省级）及广东省应用技术协同创新中心（省级）共建单位、中南地区港澳特区金工研究会常务理事单位、华东高校工程训练/金工教学研究会常务理事单位、创客教育基地联盟常务理事单位等殊荣。       华之尊将继续秉承“诚信、稳健、创新、匠心”的经营理念，不忘初心、砥砺前行。向广大用户持续提供高品质的激光设备/数字设备和系统化解决方案，以崭新、贴心的技术服务架起与广大用户沟通的桥梁，让广大用户体验到世界上先进的雕刻切割技术的同时，充分享受华之尊优越的品质、非凡的魅力及亲和的服务！

 福建利利普光电科技有限公司创建于1993年，是中国微型彩色液晶显示产业的领先龙头企业，现拥有两个独立的研发生产基地和"LILLIPUT"与"OWON"两个独立品牌。公司在美国、英国、加拿大、香港、厦门、深圳设有分公司。多次荣获国家、省、市包括科技进步奖在内的各种奖项,2004年被认定为福建省高新技术企业。        福建利利普光电科技有限公司（OWON）是一家集研发、生产、销售、服务为一体的产、学、研相结合的高新企业。目前OWON产品涵盖频谱分析仪、数字示波器、信号发生器、数字可编程直流电源等多种数字化测试仪器。        OWON品牌的数字仪器，广泛适用于生产制造、工业控制、广播电视、网络通信和科研教学等领域，成功进入美国哈佛大学、美国麻省理工、日本早稻田大学、日本千叶大学、米兰大学、天津大学、西安电子科技大学、厦门大学等知名高校实验室，成为测量测试领域的世界级供应商和客户的首选商业伙伴。        创新是产品的核心与灵魂，公司坚信产品质量远胜于产品本身；公司引进ISO9001:2008质量管理体系, 致力于整合单一的生产环节以融入全员质量控制管理中，体现出利利普人对产品质量的专注与苛求。        倾听是OWON品牌成长的动力。利利普公司致力于构建一个以诚信、创新、人性化为核心价值的品牌企业，虚心听取来自各方朋友的意见与建议，注重人性关怀为企业成长凝聚力的可持续发展模式。        "合您所需，全能全时"满足工程测量的便利性和准确性是OWON产品一如既往的坚持和追求。

上海昊量光电设备有限公司是目前国内知名光电产品专业代理商，也是近年来发展迅速的光电产品代理企业。除了拥有一批专业技术销售工程师之外，还有拥有一支强大技术支持队伍。我们的技术支持团队可以为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等工作。为客户提供适合的产品和提供完善的服务是我们始终秉承的理念！ 自2008年成立以来，昊量光电专注于光电领域的技术服务与产品经销，致力于引进国外先进性与创新性的光电技术与可靠产品，为国内前沿的科研与工业领域提供优质的产品与服务，助力中国智造与中国创造! 目前，昊量光电已经与来自美国、欧洲、日本的多家知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系。其代理品牌均处于相关领域的发展前沿，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究与国防等。近年来，我们也专注于前沿的细分市场，为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等领域的客户提供系统解决方案。 秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观，昊量光电坚持以诚信为基石，凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值，实现各方共赢！ 立足于光电产业，昊量光电始终坚持价值创造与创新，赢得客户与合作伙伴的认可，不断拓展业务领域的新边疆，立志打造国际一流的代理服务品牌！