针对极紫外光刻机物镜的温管和温控技术难题，设计和开发了针对极紫外光刻机的具有自主知识产权的超精密温控装置，目前已应用在半导体制造业及光刻机生产厂商、高档数控行业和民用航天上，涉及企事业单位共30余家。研制了不同控温精度和控温功率的系列产品，采用主动温度控制方法，解决了单点温度控制稳定性和多通道温度控制均匀性的问题；设计了具有功能模块化的温控层次结构，解决了超精密温控中系统内外的扰动和时滞问题，控温速度快；研制了大功率串联半导体制冷模块，结合模糊PID控制算法，提高了收敛速度、控制精度和抗扰动能力。项

本项目经过多年研发，掌握了一种粉末冶金超细晶粒（均小于5微米）高强度钢（抗压强度达到2000MPa以上）的制备技术，该新型材料可用于高精度模具、精密齿轮、高强轴承等高精部件的制备。

本项目主要包括超细高纯氧化铝粉体及生物医用氧化锆纳米粉体，以纳米级、亚微米级的无机盐、过渡金属离子为中间原料制备，具有耐候性好、耐酸碱腐蚀、投资规模小、附加值高等优点，应用广泛，能够替代国外进口产品。 本项目是通过溶胶凝胶与水热法相结合的技术手段，使易水解的金属无机盐或金属醇盐化合物在某种溶剂中与水发生反应，经过水解与缩聚过程逐渐凝胶化，再经干燥、烧结等后处理得到超细粉末，避免了微粒的过度生长以及在液相中的团聚，可获得粒径分布很窄纳米级。

应用领域： 超净工作台是开展生物技术研究和实验必不可少的基础设备之一，该设备广泛应用于生物制药，生物化学，环境监测及电子仪器仪表等行业，供操作区空气净化使用。 ◆产品特点 1.垂直层流送风，防止操作室内部样品相互交叉污染。 2.采用超高效无隔板过滤器，对0.3微米的颗粒过滤效率达到99.99%(操作区洁净度远高于100级）． 3.高品质离心式，超低噪音风机。 4.正压式过滤系统，确保工作区域为无尘无菌环境。 5.人体工程学60倾斜角操作面，减轻操作者压迫感； 6.工作台面选用优质304不锈钢材质，美观、易清理、耐腐蚀。 7.箱体表面采用静电喷涂工艺，耐酸碱，美观大方。 8.前窗采用全钢化玻璃视窗及配重平衡，既可保证操作者的人身安全又任意升降，定位灵活， 工作区内配备多功能插座，为操作者提供便利。两侧为透明玻璃视窗，内外通透美观舒适。  9.分体式结构，下设角轮. 10.标配液晶智能控制器，具有高效过滤器失效报警功能、压差显示功能、 紫外杀菌定时功能、温度显示功能、预约开机功能、累计工作时间功能；手动调风速。

最大功率（KW） : 1.1KW （含备用插座），操作台侧面备有插 座，方便其它设备用电，无需另接电源。 荧光灯/紫外灯规格及数量14W X2/8WX2 在送风系统设置“阻泄露”技术的优质HEPA FILTER器装置， 对于0.3um的尘埃颗粒捕集效率》99.99%,确保达到洁净度 IS05 级。 过滤材料：采用进口滤膜，材质为硅硼酸盐超细玻璃纤维，满 足使用条件下的温度、湿度、耐腐蚀性和机械强度的要求，无 释放对人员、环境和设备产生不利影响的物质。 风机系统采用可调风量风机系统，轻触型开关调节电压，保证 工作区风速始终处于理想态。 滑动前窗采用进口悬挂升降系统，使用钢化安全玻璃能任意升 降定位技术，可靠性，无故障、免维护，并能完全关闭以便灭 困O 箱体及操作台面材质箱体采用优质冷轧钢板烤漆处理，操作台 面为304不锈钢。 安全互锁功能照明和紫外灯具有安全互锁功能，具有紫外灯预 约定时开关功能。

项目简介 本成果主要涉及一种节水灌溉用喷头，通过在射流元件侧壁开一去水槽，有利于从 射流元件内部截取控制信号流，并方便取水量的调节；另一方面，信号嘴的取水位置对 主射流的影响不敏感，降低了零件的装配精度。该成果处于中试研究阶段，并申请了专 利，专利号：ZL00710190179.1。 性能指标 （1）异形喷嘴全射流喷头由旋转密封机构、流道、换向机构、异形射流元件体四部 分组成。 （2）喷嘴为非圆形，侧面开有一凹槽，凹

全钢结构通风柜或通风橱材质说明 A．结构组合：采用三段组合式柜体，上部柜体（通风柜），中间（操作台面），下部柜体（内含单侧独立抽气式组成柜及另侧独立水、电、管线系统容纳柜设计。 B．外壳：采用厚1.2mm（含）以上钢板冲压成型制作，表面经耐酸碱EPOXY粉体烤漆涂装处理。 C．内壳：采用进口耐酸碱通风柜内衬通风柜专用，厚6mm白色表面SOLID PHENOLIC RESIN COMPOSITE LINER 积层化学板装设。 D．台面：采用实验室专用12.7mm厚美国威盛亚实芯理化板制作而成,四周加厚为25.4mm。具有耐腐、抗菌防静电等优点。 E．照明：采用30W日光灯. F．拉手：采用SUS304不锈钢亚光方型拉手。 G．气流板： 采用5mm厚通风柜专用抗倍特气流板，安装位置与角度需使排气分布均匀，无死角，在标准状况下，导流板上方与中、下方出风口排风量比例各约50±10%，以确保不同比重之气体均能有效排除，另并具手动可调排风量比例设计，可提高中、下方出风口排风量比例至80%以上，以适应不同实验之需求。 H．窗口：采用5mm厚的钢化防爆玻璃。内部采用垂体平衡装置，可以停留在上下任何位置。 I．柜体操作门上、下开启高度： 600～700mm。 J．工作面风速：  0.3～0.5m/s。 K．排风量： 1080～1400m3/h。 L． 排风阻力： 5～12mmH2O。 M．工作电压： AC220V～380V。 N．电机功率： 0.04～2.2kw。 O．电器配件：万用插座（220V/10A）、日光灯、风机开停控制。 P．上水：1组DN25。（视用户要求而配置） Q．下水：1组DN50。（视用户要求而配置） R．出风口尺寸：Φ300mm。 S．风机：采用玻璃钢材质，耐酸碱、抗老化。 T．风管：采用玻璃钢材质，耐酸碱、抗老化。     全钢通风柜采用1.2mm厚，宝钢冷轧钢板在数控加工中心、剪裁、定位打孔、折弯焊接后成型，表面经酸洗、磷化处理后喷涂环氧树脂粉末高温烘烤固化。附着力高、表面硬度腐蚀性极强，外形美观。 　　操作台面为陶瓷板，厚度为25mm，或环氧树脂板，厚度为15mm，或用厚度为12.7mm美国威盛亚实心理化板,边缘加厚成25.4mm并呈弧形，防止液体外漏。台面耐酸碱、耐化学溶剂腐蚀性、耐磨性极佳，无毒，使用寿命长。台面配置通风柜专用PP小杯槽及其他配件。 主要功能特点： 安全性 三块导流板使处于不同高度空间的有害气体分别从不同的段区排出。通风柜以操作表面风速0.5m/s的速度将通风柜中的空气排出，确保无任何残留气体存在。通风效率高，排风量为450-1600m3/h，且噪声小。 可为实验者提供了更加安全、舒适的试验空间。 智能化控制 通风采用通风柜风机排风，水、电、气和通风一体化面板控制，可配备防腐、防爆照明灯，多功能（三相、单相）插座。具备气体管道和多个水管接口。可满足多种试验使用水、用电、用气的要求。 经济性 较传统的旁路通风柜，在空调环境下，可以节省能源50%左右。 规格（标准型） 尺寸 1200mm L*D*H 1500mm L*D*H 1800mm L*D*H 外部尺寸 1200*850*2350 1500*850*2350 1800*850*2350 内部尺寸 990*750*1205 1290*750*1205 1590*750*1205 下柜体尺寸 1200*650*860 1500*650*860 1800*650*860 台面高度 860 860 860 风门开启高度 650 650 650 推荐使用面风速 在风门开启高度60%的位置上，通风柜使用平均面风速不低于0.5米/秒   可以根据用户要求，设计、制造非标准型通风柜

全钢实验台材质说明 ·台面：采用美国威盛亚12.7mm厚实芯理化板，表面经技术处理，光滑无毛孔，耐酸碱、防腐蚀、边缘加厚至25.4mm，铣边处理，并在台面下方开有滴水沿。台面耐腐蚀、防水均达到实验室行业优质标准。 ·柜体：主体结构采用固定式金属柜体直接支撑台面。柜体及框架采用1.2mm厚优质冷轧钢板，柜体内设一层活动搁板，搁板采用1.2mm厚优质冷轧钢板，外经酸洗磷化后环氧树脂静电粉沫喷涂。实验柜底板为整片式设计，柜体后背板可拆。 ·门、抽屉面：采用1.2mm厚优质冷轧钢板，表面经去脂磷化后静电粉沫喷涂，结构为双层中空加筋式。抽屉内无外露铆钉及螺丝。 ·滑轨：采用德国海福乐三节静音滚珠滑轨。 ·铰链：采用德国海福乐优质铰链，开启110°至175°。 ·拉手：采用一体成型式槽拉手或不锈钢拉手，整体美观。 ·水槽：采用实验室专用科恩品牌，水池为PP水槽，耐酸碱，规格为500*400*300mm。 ·化验水咀： 采用钢制三口白色水龙头，水嘴为尖嘴型，高头、单口360度旋转，便于多用途使用，可拆卸清洗阻塞。具有缓压作用；表面环氧树脂喷涂，陶瓷阀芯；出水可拆卸，内有成型螺纹，可方便连接循环等特殊用水水管。 ·落水装置： 采用PP防虹吸瓶式存水器，具有堵臭及防止水管阻塞的功能，并易拆卸保养。 ·双面试剂支架：立柱采用上海宝钢A3方钢型材焊接成型，规格为:40*100*1.5mm,表面经EPOXY粉体喷涂处理，结构牢固可靠，防腐性能良好,外表美观。 ·试剂架层板：试剂架层板采用10mm厚单面磨沙优质钢化玻璃，四周车边处理，光滑，不伤手，配玻璃托板及钢板折弯挂钩，可根据舒适要求自由调整高度；边缘配Ø12mm不锈钢管，以防止试剂瓶跌落。外型设计美观大方、实用。  ·插座：采用松洋品牌220V/10A多功能插座。     全钢实验台台面选用美国威盛亚实芯理化板，柜体采用1.2mm的冷轧钢板,经酸洗磷化环氧树脂烤漆处理。其结构合理，承重性好，组合灵活，利于维修，便于安装运输，是中、高档实验室的最佳选择。钢架表面均经酸洗、磷化、环氧树脂粉末静电喷涂。美观、现代、抗酸碱。 标准尺寸 长 宽 台面高 总高 2400 1500 800 1550 3000 1500 800 1550 3600 1500 800 1550 4200 1500 800 1550

产品详细介绍箱体全钢结构；全部采用1.0mm冷轧钢板拆弯成型,表面环氧树脂喷涂处理，颜色搭配新颖；平衡上下推拉玻璃门,可停留任何位置，开启高度可达到800mm；导流板采用进口抗贝特三节导流；台面:13mm厚实芯理化板实验室专用台面；具有耐药性、耐磨、防静电、抗菌、阻燃、防酸碱等特点,上加厚至26mm用作挡水沿；地脚采用M12不锈钢可调节螺栓与模具组合地脚,防滑减振；配电控制面板:电源及控制面板内嵌于上箱体右前侧面上，可拆卸、易检修；二次回路电控系统,内配两个防水圆孔节能灯、两个10A/220V防水万用插座，带一套PP小杯槽及单口水龙头。