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一种基于SOI封装的六轴微惯性器件及其加工方法
东南大学
2021-04-11
超快高储能柔性器件
华中科技大学
2021-04-10
光学微腔器件
中国科学技术大学
2021-04-14
光学微腔器件
中国科学技术大学
2023-05-17
新型谐振MEMS微惯性传感器
上海交通大学
2021-04-10
新型谐振MEMS微惯性传感器
上海交通大学
2021-04-13
六轴联动数控砂带磨床
华中科技大学
2021-04-14
微纳光学器件及系统
上海理工大学
2021-04-13
一种微环波导器件
华中科技大学
2021-04-14
微纳米光纤及其相关新型器件
南京大学
2021-04-14