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沟道的刻蚀方法、半导体器件及其制备方法与电子设备
本发明提供了一种沟道的刻蚀方法,提供一待刻蚀对象,对所述待刻蚀对象一次刻蚀后,交替进行表面处理‑二次刻蚀,直至刻蚀掉所有的鳍结构的牺牲层;其中,一次刻蚀用于刻蚀掉所述若干鳍结构中当前宽度最小的鳍结构的全部牺牲层以及其它宽度更宽的鳍结构的部分牺牲层;表面处理用于在待刻蚀对象的沟道层与剩余的牺牲层的暴露在外的表面形成保护层;所述二次刻蚀用于刻蚀掉当前宽度次之的鳍结构的全部的牺牲层,以及所述保护层。本发明在传统的刻蚀工艺中加入氧化步骤,既实现了对沟道层的保护,又实现了在不同沟道宽度的刻蚀中,减少沟道层的损失量。
复旦大学 2021-01-12
固定化磷脂酶A1在制备磷脂DHA中的应用
本发明提供了一种固定化磷脂酶A1在制备磷脂DHA中的应用,具体过程为,六水硝酸钴和2‑甲基咪唑分别溶于无水甲醇得到六水硝酸钴溶液和2‑甲基咪唑溶液,将2‑甲基咪唑溶液滴加至六水硝酸钴溶液中,搅拌反应、静置、干燥,得到ZIF‑67纳米材料,将ZIF‑67纳米材料于磷酸钠缓冲液中混悬,加入磷脂酶A1溶液,调节pH,置于摇床孵育,离心、干燥,获得ZIF‑67纳米材料固定化磷脂酶A1;将游离脂肪酸和大豆卵磷脂组成的底物和固定化磷脂酶A1在有机反应体系中进行催化反应,分离纯化获得磷脂DHA。固定化磷脂酶A1,稳定性好,催化制备磷脂DHA,DHA掺入率高达51.04%。
南京工业大学 2021-01-12
用于净化重金属污水的改性浮石及其制备方法和用途
本发明公开了一种用于净化重金属污水的改性浮石及其制备方法和用途,采取浮石为原料,通过破碎,筛分,球磨加工成不规则粒状,加工成Φ=16-100目所需大小的颗粒现状,放入烘箱烘干,马弗炉煅烧,自来水淬火,沥干,烘箱烘干,小粒状浮石即为成品。采用改性后浮石通过吸附-离子交换作用,将水体中的重金属离子Cu2+、Pb2+、Zn2+、Cd2+、Cr2+、Hg2+、As5+除去,达到净化重金属废水的目的。该原料成本低廉,加工工艺简单,使用改性浮石去除单体重金属及混合重金属效果好,见效快,无二次污染。 发明人:王银叶;张宏伟
天津城建大学 2021-01-12
用于烟气脱硫、脱硝的改性污泥活性炭及其制备方法
本发明公开了一种烟气脱硫、脱硝用伽玛型三氧化二铝膜和五氧化二钒改性污泥活性炭,其原料组分为ALCL3·6H2O、V2O5及污水处理厂的污泥;制备步骤为: ①制备AL(OH)3溶胶; ②制备污泥活性炭; ③制备伽玛型三氧化二铝膜改性污泥活性炭; ④制备伽玛型三氧化二铝膜和五氧化二钒改性污泥活性炭。 本发明首次将伽玛型三氧化二铝膜和五氧化二钒用于改性污泥活性炭的制备,有效提高了污泥活性炭的脱硫、脱硝效率,符合现有使用要求。本发明应用于对低浓度烟气的脱硫和脱硝。
天津城建大学 2021-01-12
一种赤泥制备道路硅酸盐水泥的方法
本发明公开了一种赤泥制备道路硅酸盐水泥的方法,以脱碱后的氧化铝赤泥为主要原料制备道路硅酸盐水泥,本发明通过设计道路硅酸盐水泥熟料中C3S、C2S、C4AF和C3A等主要的矿物组成,以40~60%的赤泥部分代替道路硅酸盐水泥生产所用的钙质、铝质原料,完全取代铁质和硅质原料;本方法所制得的赤泥道路硅酸盐水泥性能良好,赤泥的利用率高。
天津城建大学 2021-01-12
一种新型多通道Ni/CM陶瓷催化膜的制备方法
本发明属于陶瓷催化膜技术领域,涉及一种新型多通道Ni/CM陶瓷催化膜的制备方法。将2‑氨基对苯二甲酸加入N,N二甲基甲酰胺中并混合均匀,缓慢滴加入六水合硝酸镍的水溶液中,并混合均匀。将膜管浸没,进行水热合成反应,反应结束后冷却,洗涤并烘干,煅烧,冷却,得到催化膜。将硼氢化钠加入乙醇溶液并混合均匀,强制循环流动经过催化膜的膜孔,得到多通道Ni/CM陶瓷催化膜。本发明所提出的工艺能够使Ni‑MOF‑NH<subgt;2</subgt;在膜孔内充分生长,增加活性组分,并且使得活性组分分布均匀,从而有效提高了金属Ni的利用率。制备过程简单可控,催化膜活性高、稳定性好,回收简单方便,适合大规模工业应用推广。
南京工业大学 2021-01-12
催化苯乙烯环氧化制备苯乙烷的新型催化剂
环氧苯乙烷作为一种重要的化工中间体被广泛应用于化工与医药生产等众多领域,传统的制备方法——卤醇法在生产过程中环境污染严重、对原料的利用率不高,导致生产成本居高不下。随着整个社会环保意识的不断增强,绿色化学日益受到重视。在催化苯乙烯环氧化反应的研究过程中,开发高效、低污染、低能耗、环境友好的催化剂一直是研究的主要方向。虽然在许多研究人员的不懈努力下,催化剂的研究取得了可喜的进展,但是现有的催化剂还存在着一些缺陷,新型高效催化剂的研发仍然是当前研究的热点之一。 我们发现将普鲁士蓝类配合物用于催化苯乙烯环氧化制备环氧苯乙烷,具有合成方法简单、催化活性高(苯乙烯转化率97%,环氧苯乙烷选择性64%)、稳定性强以及分离容易等特点,有非常好的实际工业应用的价值,已经获得国家发明专利授权。
兰州大学 2021-01-12
一 种聚乙烯蜡微粉的制备方法及喷雾造粒
本发明公开了一种聚乙烯蜡微粉的制备方法,包括如下步骤:(1)原料的熔化与输送:采用加热装置制备聚乙烯蜡料液,保温齿轮泵将所述聚乙烯蜡料液通过管道输送到位于喷雾造粒塔内部的雾化器处,所述管道和除去喷孔外雾化器的其他部分需整体保温;(2)压缩空气和雾化:空气压缩机提供的压缩空气经过另一路管道输送至雾化器,与具有压力的所述聚乙烯蜡料液相互匹配,将所述聚乙烯蜡料液充分雾化,雾化后的雾滴在造粒塔内冷却固化为微粉;(3)产品的收集:收集装置收集冷却固化后的微粉,即得产品。本发明还公开了一种喷雾造粒系统,用于聚乙烯蜡微粉的制备。本发明所述方法能耗低、操作简便且安全可靠且制得的产品粒度小。
安徽理工大学 2021-04-13
一 种利用乙醇还原制备多面体纳米钯材料的方法
本发明涉及一种利用乙醇还原制备多面体纳米钯材料的方法,采用简易加热装置,在常压环境中以水为主体溶剂,添加少量乙醇作为助溶剂和还原剂,在 65-80℃温度条件下一步合成多面体纳米钯材料,以表面活性剂-大分子复合体系为软模板,低温合成多面体形貌纳米钯材料。本发明是一种方便且比较环保的技术,工艺条件温和,无需复杂设备,操作简单,不需要高温和有毒有机相为溶剂或助剂,制得的多面体纳米钯材料产率高,多面体形貌产率为 83~94%,且颗粒尺寸范围在 10~35nm 之间,尺寸分布集中,可以进行大量生产,具有较好的应用前景。
安徽理工大学 2021-04-13
具有多层纳米结构的柔性铜基材料及其制备方法、应用
本发明提供一种具有多层纳米结构的柔性铜基材料,该材料包括柔性基体,所述柔性基体具有多层结构层,所述多层结构层包括:铜基金属层构成的第一结构层;位于铜基金属层两侧的第二结构层,所述第二结构层为铜多孔层;以及位于铜多孔层上的第三结构层,所述第三结构层为氧化物层。本发明通过控制基体材料,结合脱合金溶液和时间的控制,调控材料的结构,获得不同的纳米结构层,并保留部分原始基体层,从而在具备优异的柔韧性同时,多层纳米结构层提供优异的催化性能。
南京工业大学 2021-01-12
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