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一种芯片位置和倾角检测装置及方法
本发明公开了一种芯片位置和倾角检测装置，包括光源组件、光路传输组件、摄像组件以及自准直仪，其中光源组件由分别对应于芯片和基板的第一、第二光源构成；光路传输组件由第一、第二和第三半透半反棱镜以及第一、第二反射镜共同构成，由此在同一光路系统中实现对芯片和基板位置的检测；摄像组件由具备不同视野的第一和第二摄像单元构成，其中第一摄像单元用于采集芯片或基板的大视野图像，根据 MARK 点实现初步定位，第二摄像单元用于采集其具体位置图像；自准直仪用于获取代表芯片水平倾角信息的法线倾斜量。本发明还公开了相应的检测
华中科技大学
2021-04-14
一种光刻机自动调焦方法及装置
本发明公开了一种光刻机自动调焦方法及装置，其方法是将平行光束经第一狭缝投射至硅片表面，再经振动反射镜扫描后通过第二狭缝，由光电探测器接收光强信号，然后通过提取光强信号中二倍于扫描频率的频域成分得到硅片的粗调量，通过提取光强信号中一倍于扫描频率的频域成分得到硅片的精调量，最后由驱动装置调整硅片至焦点位置。调焦装置主要由两个狭缝、一个振动反射镜、光电传感器、驱动台和若干光学镜片组成，信号处理过程由计算机编程完成。该方法与装置相较于以往对比光斑强度进行调焦的方式，具有结构简单、响应迅速、精度高(优于 0.
华中科技大学
2021-04-14
一种适于顶针快速更换的芯片剥离装置
本发明公开了一种适于顶针快速更换的芯片剥离装置，包括顶 针头机构、传动机构、顶起驱动机构、Z 向升降机构和二自由度位置 调整机构，其中顶针头机构配合安装在传动机构上，并可实现顶针的 快速更换；传动机构安装在顶起驱动机构上，用于传递顶针顶起驱动 力同时与顶针头机构相配合实现顶针罩内腔的真空度；顶起驱动机构 安装在 Z 向升降机构上，用于提供顶针顶起剥离芯片的驱动力，并对 顶针的顶起高度进行反馈控制；Z 向升降机构则安装在二自由度位置调整机构上并由其执行 X、Y 向的位置调整之后，再将安装于自身其 他组
华中科技大学
2021-04-14
第五代燃气安全保护报警装置
近年来国内外因液化气、天燃气等引起爆炸火灾和中毒事故不断发生，安全使用燃气管道越来越引起百姓的重视，人民和政府有关部门已逐渐认识到安全使用燃气管道是关系到千家万户人民生命和财产的重要问题。西安市天燃气公司从99年开始规定在燃气管道用户上安装我研制的燃气安全保护器第3代产品（政府行为）。
西安交通大学
2021-01-12
单粒子束散射光强分布的测量装置
可以量产/n该成果公开了一种单粒子束散射光强分布的测量装置，它包括光源、分光光路、光接收和探测组件以及微流控芯片组件，所述光源包括主测量光源、辅助测量光源和系统调整光源；所述分光光路包括分光镜和PIN管；所述光接收和探测组件包括90°离轴抛物面反射镜、望远镜镜组、光阑、滤光片、ICCD探测器、信号探测及发生电路、复合滤光片、PMT探测器、示波器和计算机；所述微流控芯片组件包括微流控芯片、光屏、三轴调节具和微流泵。另外，本实用新型还公开了一种单粒子束散射光强分布的测量方法。
华中农业大学
2021-01-12
一种建筑围护结构用热流测量装置
本实用新型公开了一种建筑围护结构用热流测量装置，包括有底座，底座上设有纵向伸缩杆组，纵向伸缩杆组的上端安装有用于分析计算温度的主机，主机的主机壳两侧安装有横向伸缩杆组，横向伸缩杆组的伸出端端部安装有硅胶贴片，硅胶贴片包括贴片式温度传感器、连接管和硅胶套，硅胶套的内部设置有贴片式温度传感器，贴片式温度传感器内安装有位于一侧的连接管，连接管与主机壳内部的抽气设备连接。本实用新型可测量不同厚度的建筑围护结构体，与现有技术相比，更加实用便捷，而且测量精度更高，通过硅胶贴片的设计，使得贴片在测量过程热量几乎不
安徽建筑大学
2021-01-12
一种用于粘性土龟裂发展的观测装置
本实用新型涉及一种用于粘性土龟裂发展的观测装置，包括有放置桌、一个顶部敞开的方形隔热框、两个石英玻璃实验框、固定在放置桌四个拐角处的支撑柱、两个数字摄像头、PLC控制器，隔热框固定在放置桌桌面上，两个石英玻璃实验框并列分布地放置在隔热框内的前后两侧，隔热框的隔热底板上固定有两个相互独立的加热复合层，两个加热复合层上分别嵌入有温度传感器，所述温度传感器电连接于PLC控制器；四个支撑柱上分别套接有一个可上下移动的伸缩杆，石英玻璃实验框固定连接在同侧的两个伸缩杆之间；放置桌上同一端的两个支撑柱上还分别套接
安徽建筑大学
2021-01-12
一种火灾试验加载梁多功能滑块装置
本实用新型公开了一种火灾试验加载梁多功能滑块装置，包括横向加载梁、多功能滑块和竖向加载梁，所述横向加载梁下端滑动设置有多功能滑块，横向加载梁下端两侧对称铆接设置有竖向加载梁，多功能滑块下端铆接设置有电动液压千斤顶，电动液压千斤顶下端焊接设置有钨钢连接杆，电动液压千斤顶下端中部和钨钢连接杆连接处镶嵌设置有应变式标准测力仪传感器，多功能滑块、电动液压千斤顶、应变式标准测力仪传感器和钨钢连接杆配合形成加载装置。本实用新型结构简单，构造合理，可以实现纵向、横向、多点，多面的任意组合加载，使得模拟结构在火灾中
安徽建筑大学
2021-01-12
一种具有清理功能的加工废料回收装置
本实用新型公开了一种具有清理功能的加工废料回收装置，包括箱体，所述箱体内壁的一侧固定连接有回收箱，回收箱的右侧滑动连接有电机箱，且电机箱的顶部固定连接有移动装置，所述电机箱内壁的底部固定连接有电机，所述电机的输出轴上固定连接有第一锥形齿轮，且第一锥形齿轮的一侧啮合有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮的轴心处固定连接有中轴，本实用新型涉及加工废料回收技术领域。该具有清理功能的加工废料回收装置，达到了可以升降的目的，使得在清理的过程中可以加大力度，确保能够清理彻底，极大的提升了工作效率，可以有效的进行清理，
安徽建筑大学
2021-01-12
基于非均布并联机构的水果采摘装置
本发明公开了一种基于非均布并联机构的水果采摘装置。包括定平台、四台电机、四组控制臂、动平台、末端采摘机构和控制系统；定平台竖直放置，四台电机均经各自的控制臂与位于定平台前方的动平台相连接，动平台前部安装有用于采摘水果的末端采摘机构，四台电机和末端采摘机构均与控制系统连接。本发明可任意角度控制末端采摘机构对水果的位置定位，任意角度摘果，大大减小采摘机构的惯性和增加采摘机构的精确性；采摘时能减少水果损伤，具有灵活、精确、快速、低损伤的水果采摘优势。
浙江大学
2021-04-13