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一种适于顶针快速更换的芯片剥离装置
本发明公开了一种适于顶针快速更换的芯片剥离装置，包括顶针头机构、传动机构、顶起驱动机构、Z 向升降机构和二自由度位置调整机构，其中顶针头机构配合安装在传动机构上，并可实现顶针的快速更换；传动机构安装在顶起驱动机构上，用于传递顶针顶起驱动力同时与顶针头机构相配合实现顶针罩内腔的真空度；顶起驱动机构安装在 Z 向升降机构上，用于提供顶针顶起剥离芯片的驱动力，并对顶针的顶起高度进行反馈控制；Z 向升降机构则安装在二自由度位置调整机构上并由其执行 X、Y 向的位置调整之后，再将安装于自身其他组件一同调整上升
华中科技大学
2021-04-14
一种 4D 座椅的数据采集设备
本实用新型公开了一种 4D 座椅的数据采集设备，包括座椅动作采集器，座椅动作采集器包括支撑座及直线位移传感器，支撑座包括底架、多根立柱和活动顶架，每根立柱上均安装一直线位移传感器，直线位移传感器包括外壳及能沿外壳的纵向移动的活动电刷，多个直线位移传感器均与一用于采集其数据的多通道数显仪表连接，多通道数显仪表连接有能拟合出每个活动电刷的速度时间关系曲线和位移时间关系曲线的数据处理装置。本实用新型能方便快捷产出 4D 动作文件，且性能稳定、可靠性高、维修方便和智能化程度高。
华中科技大学
2021-04-14
一种用于超导电机的力矩传导结构
本发明公开一种用于超导电机的力矩传导结构，包括与处于低 温状态超导线圈端面相连的第一环、与处于常温状态电机轴端相连的 第二环，以及连接前面两者的环形力矩传导部件，其中环形力矩传导 部件由多个环形传导件和多个弧形连接件组成，环形传导件同心设置 在第一环与第二环之间并沿径向间隔分布；弧形连接件沿周向安装在 各个环形传导件的间隙内且彼此间隔地交错分布，热通量从第二环经 弧形连接件后沿着与其相连的环形传导件周向流动，再经下一弧形连 接件依次进入与之相邻的下一环形传导件后继续沿周向流动。本发明 在利用环形周向
华中科技大学
2021-04-14
椭偏仪测量系统的随机误差评估方法
本发明公开了一种评估椭偏仪测量系统的随机误差的方法。该方法首先建立椭偏仪测量系统的系统模型和系统传递函数，然后通过分析椭偏仪测量系统的随机噪声的来源及特点，建立适用于具体配置类型椭偏仪测量系统的随机噪声模型，最后根据传递函数和随机噪声模型，推导随机噪声的传递模型，从而计算评估系统的随机误差。评估仪器随机误差的一般方法是进行多次测量，然后根据多次测量结果的分布情况评估测量系统的随机误差，本发明方法通过建立随机噪声模型和计算随机噪声传递特性，可以在一次测量中评估椭偏仪测量系统的随机误差。适用于现有多种配
华中科技大学
2021-04-14
一种面向多云架构的网络性能提升方法
一种面向多云架构的网络性能提升方法，属于云计算领域，解 决传统多云架构系统未考虑不同云存储服务器之间性能差异的问题， 以提升网络性能。本发明采用多云架构，将用户文件通过纠删码编码 后冗余地储存在多个云存储服务器中，每个云存储服务器都只能获得 文件的部分数据，在进行文件传输时能根据实际的网络环境尽可能多 地利用性能好的云存储服务器，同时避免被性能差的云存储服务器拖 累，使得系统的网络性能比传统的多云架构系统以及任一云存
华中科技大学
2021-04-14
一种输液管针头的上料装置
本发明公开了一种输液管针头的自动上料装置，用于输液管针头与管体组装工艺中对针头自动上料，该装置包括通过支撑杆固定设置在工作台基座上的支撑板，以及固定设置在所述支撑板上的振动电机和送料机构，其特征在于，所述送料机构包括位于上端的料斗，设置在料斗下端并与下料口连通的送料通道，以及设置在送料通道末端的卡料口，所述送料通道倾斜布置，所述振动电机产生振动，料斗中的针头在振动作用下利用重力沿所述倾斜的送料通道滑落至所述卡料口排列，即完成自动上料。本发明的装置结构简单，使用方便，依靠送料机构中倾斜的沟槽通道实现输
华中科技大学
2021-04-14
一种高压信号隔离的快速保护装置
本发明公开了一种高压信号隔离的快速保护装置，包括阈值发 送模块，用于发送阈值通信信号至光纤电平转化模块，阈值通信信号 由光纤电平转化模块转化为阈值光信号在光纤中传输。当传输至 ECRH 系统时转化为阈值通信信号，阈值通信信号由信号解码模块解 码为阈值数字信号，并由数模转化模块将阈值数字信号转化为阈值模 拟信号，通过电压比较模块将保护信号与阈值模拟信号比较输出故障 判断信号，电光转化模块根据故障判断信号确定是否输出光束，由光 束有无决定控制系统是否切断 ECRH 系统的电源。由于光纤电平转化 模块和电
华中科技大学
2021-04-14
一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺
本发明公开了一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺，包括步骤：（1）在单晶硅片上旋涂光刻胶并通过光学光刻或电子束光刻得到光刻胶图形 ；（ 2 ） 镀 上 银 膜 或 金 膜 ；（ 3 ） 在 电 场 之 中 ， 采 用 HF 、H<sub>2</sub>O<sub>2</sub>和去离子水的混合溶液作为刻蚀剂进行金属催化刻蚀；（4）去除光刻胶；（5）去除单晶硅片上残留的金属膜并进行清洗处理。本发明通过在刻蚀过程中控制电场强度，由此形成从数十纳米至数
华中科技大学
2021-04-14
一种关于模板库编程约定的检查方法
本发明公开了一种关于模板库编程约定的检查方法，属于计算 机并行程序设计技术领域。本发明首先将编程约定描述为状态，以及 将状态的迁移描述为编程约定中对指定方法的调用；然后将状态实现 为类，并在类中编写符合编程约定的方法来供编程人员调用，以保证 当编程人员违反编程约定的时候让编译器会停止编译并给出相应提 示；预测编程人员可能会出现哪些错误，并在相应的表示状态的类中 添加方法，使得当编程人员违反编程约定时能给出相应的提示信
华中科技大学
2021-04-14
一种用于浸没式光刻的浸液温控系统
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，通过其获得具有稳定温度的浸液，以用于浸没式光刻工艺中，其特征在于，该温控系统包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过管路进口进入该浸液管路，温控后的浸液通过该浸液管路出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及热交换器（6），所述浸液管路和工艺冷却液回路同时流经该热交换（6），利用该热交换器（6）完成工艺冷却液和浸液的热交换，获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置采用内部回流结构与热交换器
华中科技大学
2021-04-14