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掺铝氧化锌薄膜的退火真空度和氩离子溅射清洗工艺控制
掺铝氧化锌薄膜( AZO )成本低廉、无毒环保,溶胶凝胶法制备 AZO 薄膜具有工艺简单、成膜均匀性好、易于精确掺杂等优点,而后续处理工艺则是提高溶胶凝胶法制备的透明导电薄膜性能的关键。为此我们研究 105  到  10-4 Pa 大真空度范围退火条件下的电阻率变化规律,发现:电阻率的降低集中在相对狭窄的真空度范围,其中在 100 Pa  到 10 Pa  之间,电阻率陡降了 2 个数量级。电阻率在 10 Pa  退火时达到最小值,继续提高真空度(减低气压),电阻率不再继续降低。这一研究结果不仅澄清了以往对溶胶 - 凝胶法制备透明薄膜后续工艺处理的模糊认识,而且对实际生产工艺具有重要的指导意义,例如以此为根据,选择合适的真空度退火,达到既满足产品的性能指标,又能节能减排的最佳效果。 XRD 与 XPS  的分析表明中真空下氧空位、锌填隙、以及 Al3+  对 Zn2+  离子的取代是中真空度下电阻率陡降的主要原因。此外,利用  Ar+ 离子对退火后的样品进行反溅射清洗,能进一步提高电导率。更重要的是能在薄膜表面形成具有一定的凹凸起伏的绒面结构,能将入射太阳光分散到各个角度。用作太阳能电池电极时,能有效增强太阳能电池内的光吸收材料对入射太阳光的捕获,提高光能利用率。
辽宁大学 2021-04-11
一种解耦型六自由度工业机器人的运动控制方法
本发明公开了一种解耦型六自由度工业机器人的运动控制方法,该方法包括:(a)根据机器人所需实现的位姿,通过 D-H 模型法获得末端执行机构相对于基坐标系的位姿矩阵;(b)将机器人避开奇异形位时所能实现的正常位姿定义为不同的关节特性属性,并设定机器人实现所需的位姿时的关节特征属性组合;(c)根据位姿矩阵以及设定的关节特征属性组合及其取值条件,通过反变换法分别求得关于机器人各个关节变量的唯一解;(d)根据所求得的解,执行对六自由度工业机器人的关节运动,相应完成整体运动控制过程。通过本发明,具备可预知过奇异点路径、算法简单、反解速度快以及能较好地确定唯一解等优点,并能很好地应用于实际的工业机器人运动控制。
华中科技大学 2021-04-11
云南省人民政府关于2021年度科学技术奖励的决定
为深入贯彻落实习近平新时代中国特色社会主义思想,全面贯彻党的十九大和十九届历次全会精神,坚定实施创新驱动发展战略,省人民政府决定对我省在科学技术进步、经济社会发展中作出突出贡献的科学技术人员和组织给予奖励。
云南省人民政府办公厅 2022-05-18
关于开展2022年度上海市科学技术奖提名工作的通知
为进一步激励自主创新、激发人才活力、营造良好创新环境,加快建设具有全球影响力的科技创新中心,根据《上海市科学技术奖励规定》(沪府令18号),现就2022年度上海市科学技术奖提名工作有关事项通知。
上海市科学技术委员会 2022-07-08
关于发布2023年度京津冀基础研究合作专项项目申报的通知
为贯彻落实《京津冀协同发展规划纲要》,按照《关于共同推进京津冀基础研究的合作协议(2021-2025年)》要求,京津冀三地继续实施基础研究合作专项,2023年度将围绕生物医药领域受理专项项目,单项支持力度60万元,项目执行期3年,要求京津冀三地合作开展联合研究。
基础研究处 2023-08-14
关于2022年度上海市重点实验室评估结果公示的通知
根据《中共中央办公厅、国务院办公厅关于深化项目评审、人才评价、机构评估改革的意见》等文件要求,现将2022年度上海市重点实验室(工程与制造领域)评估结果予以公示。
上海市科学技术委员会 2023-03-17
关于申报2023年度内蒙古自治区“骏马奖”的通知
根据《内蒙古自治区人民政府办公厅关于印发的通知》(内政办发〔2021〕24号)和全国评比达标表彰工作协调小组《关于内蒙古自治区政府申报项目的复函》(国评组函[2015]37号)精神,现将2023年度自治区“骏马奖”申报工作有关事项通知如下。
内蒙古自治区科学技术厅 2023-08-08
通过程序降温提高金属氧化物传感器气体敏感度的方法
本发明公开了一种提高金属氧化物传感器气体敏感度的方法, 该方法是在洁净背景气氛下,将金属氧化物气体传感器在特定工作温 度(200-400℃)稳定,然后设定降温速度为 1-50℃/s 范围内的某一特定 速度,程序降温到特定低温(室温-200℃),获得传感器的电阻随温度的 变化曲线 Rair-T,作为基底信号;检测气体氛围下,以相同流程控制 传感器温度,获得传感器的电阻随温度的变化曲线 RGas-T,作为响应 信号;将基
华中科技大学 2021-04-14
零刚度磁悬浮主动隔振器及其构成的六自由度隔振系统
本发明提供了一种结构紧凑的零刚度磁悬浮主动隔振器及其构成的六自由度隔振系统,属于精密隔振领域。该零刚度磁悬浮主动隔振器包括永磁被动隔振单元、主动隔振单元和安全限位组件。永磁被动隔振单元包括上部磁铁、下部磁铁、中间磁铁及其相关连接部件,磁铁为矩形磁铁。主动隔振单元可施加垂向和水平向的定位控制与振动主动控制,包括洛伦兹电机、速度传感器和位移传感器。安全限位组件具有机械水平调节和限位安全保护作用。本发明所提供的零刚度磁悬浮主动隔振器在水平向具有零刚度且在垂向具有承载力的同时具有准零刚度的特点,其构成的六自
华中科技大学 2021-04-14
一种适用于纳米材料操控的多自由度纳米操作台
本发明公开了一种适用于纳米材料操控的多自由度纳米操作台,包括底座、Z 向位移台、XY 向位移台和纳米操作臂,其中 Z 向位移台沿着竖直方向设置在底座上,包括彼此连接的固定部件和安装有 Z 向直线驱动电机的移动部件;XY 向位移台沿着水平方向设置在 Z 向位移台的移动部件上,并包括彼此并联滑动连接的第一至第三并联部件,其中第一并联部件上安装有 Y 向直线驱动电机,第二并联部件上安装有 X 向直线驱动电机,第三并联部件上安装有旋转运动驱动电机和纳米操作臂。本发明通过对驱动电机与位移台的高精度控制以及主要
华中科技大学 2021-04-14
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