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通过程序降温提高金属氧化物传感器气体敏感度的方法

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
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所属领域:
电子信息
项目成果/简介:

本发明公开了一种提高金属氧化物传感器气体敏感度的方法,

该方法是在洁净背景气氛下,将金属氧化物气体传感器在特定工作温

度(200-400℃)稳定,然后设定降温速度为 1-50℃/s 范围内的某一特定

速度,程序降温到特定低温(室温-200℃),获得传感器的电阻随温度的

变化曲线 Rair-T,作为基底信号;检测气体氛围下,以相同流程控制

传感器温度,获得传感器的电阻随温度的变化曲线 RGas-T,作为响应

信号;将基

项目阶段:
未应用
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