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沟道的刻蚀方法、半导体器件及其制备方法与电子设备
本发明提供了一种沟道的刻蚀方法,提供一待刻蚀对象,对所述待刻蚀对象一次刻蚀后,交替进行表面处理‑二次刻蚀,直至刻蚀掉所有的鳍结构的牺牲层;其中,一次刻蚀用于刻蚀掉所述若干鳍结构中当前宽度最小的鳍结构的全部牺牲层以及其它宽度更宽的鳍结构的部分牺牲层;表面处理用于在待刻蚀对象的沟道层与剩余的牺牲层的暴露在外的表面形成保护层;所述二次刻蚀用于刻蚀掉当前宽度次之的鳍结构的全部的牺牲层,以及所述保护层。本发明在传统的刻蚀工艺中加入氧化步骤,既实现了对沟道层的保护,又实现了在不同沟道宽度的刻蚀中,减少沟道层的损失量。
复旦大学 2021-01-12
一种高性能的球团矿粘结剂的制备方法
简介:本发明公开了一种高性能的球团矿粘结剂的制备方法,属于冶金球团粘结剂技术领域。本发明按质量比称取膨润土35‑42份、活性石灰5‑8份、聚乙二醇2‑4份和聚酯树脂2‑3份混匀得混合物A;按质量比称取粉煤灰1‑2份、烧结矿筛下料5‑9份和氧化锆1份,与混合物A混匀得混合物B;按质量比称取淀粉4‑7份、食盐1‑3份、聚氨基甲酸酯1‑3份和酚醛树脂2‑4份混匀得混合物C;混合物B与混合物C混匀后即得粘结剂。本发明的一种高性能的球团矿粘结剂的制备方法,将钢铁企业的废物资源化利用,且烧残率低,使球团矿的冶金性能得到改善,入炉矿石的品位提高,且减少了高炉炼铁冶炼的渣量,燃耗降低,具有良好的经济效益。  
安徽工业大学 2021-04-11
用于金属铝板表面防腐的有机-无机复合溶胶的制备方法
本发明涉及溶胶的制备,旨在提供一种用于金属铝板表面防腐的有机-无机复合溶胶的制备方法。包括:在搅拌下将正硅酸甲酯、正硅酸乙酯中的至少一种加入氨气的饱和醇溶剂中,然后加入水,在60℃下反应;然后在搅拌下再加入Al(OH)3溶胶,50℃陈化24小时;再将含二价锌离子的锌盐与酸混合制备成双组分催化剂,并在搅拌下加入调节pH值为1~5;搅拌后将有机硅氧烷加入该溶胶中反应,制得适用于金属铝板防腐的复合溶胶。本发明增加了涂层与金属铝板的附着力,为涂层的硬度和柔韧性提高提供了基础;使反应产物形成一定分子量的线型结构而非柔韧性较差的体型结构,从而提高涂层的柔韧性。
浙江大学 2021-04-11
pH和温度双重敏感的离子微水凝胶的制备方法
本发明涉及环境敏感型的高分子材料领域,旨在提供一种pH和温度双重敏感的离子微水凝胶的制备方法。该方法是将N-烷基丙烯酰胺类单体、含叔胺基团的双键化合物和引发剂在无水溶剂1,4-二氧六环或四氢呋喃中,无氧条件下进行自由基共聚反应;采用乙醚或石油醚为沉淀剂提取二元共聚物,经离心分离后真空干燥至恒重;将所得二元共聚物配制成水溶液,加入多卤代烷烃化合物,在40-70°C恒温搅拌;纯化后加入有机阳离子盐类化合物,室温下恒温搅拌即得pH和温度双重敏感的离子微水凝胶。该制备方法简单易控,得到的微水凝胶具有pH和温度双重敏感性,引入了聚离子液体的优良特性,纯度高、稳定性好,溶胀率大,适合在药物可控缓释和传感器等领域的应用。
浙江大学 2021-04-11
能安全吸附水体中镉的生物炭的制备方法
本发明公开了一种能安全吸附水体中镉的生物质炭的制备方法,包括以下步骤:1)、将收割后的象草除杂后风干,然后依次进行粉碎、烘干;2)、粉碎烘干后的象草放入炭化炉内,然后以4~6℃/min的速率升温至480~520℃进行隔氧炭化反应,保温反应1.8~2.2h;3)、将步骤2)所得的炭化后象草冷却至室温,粉碎过筛,得生物质炭。本发明克服了现有吸附技术治理重金属污水过程中吸附效率不高、易导致二次污染和成本较高这三大问题;同时对植物废弃物中碳素进行了稳定封存,减少了二氧化碳排放,具有显著的生态效益。
浙江大学 2021-04-13
用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法
一种用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法 一、项目分类 显著效益成果转化 二、成果简介 现有物理气相沉积(PVD)制备多元薄膜材料采用合金靶材作为靶源,生产过程中,薄膜成分的调控范围受安装的合金靶材的成分比例的限制。如果预期获得纳微复杂结构的复合薄膜,按照常规技术路线需要上百块成分连续变化的合金靶材,这显然是无法实现的。同时,采用合金靶材制备某些多元薄膜时,需要特高纯度的或极端成分比例的靶材作为靶源,这类特殊靶材以现有技术难以制造。 为此,本发明研发出一种用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法,利用本发明技术有助于新材料的研发和促进半导体器件、切削刀具涂层等高新技术的发展。
武汉理工大学 2022-08-12
一种行列寻址的超声面阵探头的制备方法
本发明公开了一种行列寻址的超声面阵探头的制备方法,该方 法包括以下步骤:1)选取长方体形状的压电片;2)在压电片上镀上翻边 电极,即在压电片下表面和上表面平行的两侧以及压电片两个侧面分 别镀上一层电极,且这些电极相互导通 3)将压电片的下表面粘贴在背 衬上,然后在压电片的上表面沿与侧电极垂直的方向进行第一次切割; 4)在每条切槽内分别灌满环氧树脂胶,并将压电片的上表面有环氧树 脂胶的部位磨平;5)在压电片的上表面镀上
华中科技大学 2021-04-14
利用淡水鱼皮制备多肽及制备与鱼皮面膜的方法
一种利用淡水鱼皮制备多肽的方法,属于水产品加工生物技术领域。本发明 以淡水鱼皮为原料,经预处理、生物酶水解、干燥,制得多肽产品。本发明产品在化妆品等领域有广泛应用,可起到保湿抗氧化的作用。同时,口服本产品可以 达到护肤,改善关节状况的作用。本技术还利用所制备的鱼皮多肽制备面膜,实验已经证明其有改善皮肤状态的效果。 创新要点 鱼皮多肽安全,具备低抗原性,无应用的宗教限制,应用前景广阔。 本工艺技术可针对不同原料稍作调整,即可制备出高品质的鱼类多肽产品。 鱼皮多肽面膜成品低廉,效果可靠。
江南大学 2021-04-11
光敏材料及制备方法
成果与项目的背景及主要用途: 作为光导体的核心部件-电荷产生层材料,已由最早的无机材料逐步被有机光导材料取,有机材料加工成型性能优良;品种多;透光性好;无公害污染;开发周期短等。目前常用的电荷产生材料主要有酞菁化合物、花类化合物、方酸类化合物、偶氮类化合物等其中应用最多的是酞菁类化合物。 技术原理与工艺流程简介: 将酞菁氧钦粗品溶于-5℃~5℃的浓硫酸中,然后将其以一定速度滴加到不断搅拌的转型溶剂中,温度为加料温度;滴加完毕后,调节保温温度,继续搅拌1-72h,得蓝色乳浊液,静置,向其中加入低碳醇,待分层后分液,用去离子水反复萃取直至水相呈中性,分出有机相;再向其中加入沉淀剂,静置,使 TIOPC纳米粒子沉降;将上层清液倾去,抽滤,用甲醇洗涤滤饼,然后用去离子水打浆、冷冻干燥得加料温度对应的晶型的酞菁氧钦纳米粒子。 技术水平及专利与获奖情况: 发明专利两项,技术水平国内领先 应用前景分析及效益预测: 多晶型光敏性 TIOPC 纳米粒子的优点是粒径小,很大程度上简化多种晶型TIOPC 制备工艺,采用分液,萃取等技术使离子杂质更易被除去,简化现存工艺技术中繁琐的洗涤过程,与 PVB 树脂具有良好的相容性,适合作为制备有机光导体的电荷产生材料,并且使用该材料制得的光导体灵敏度高,暗衰低,残余电位低,具有良好的光导性能。 应用领域: 光电转换材料 合作方式及条件: 合作开发与技术转让
天津大学 2021-04-11
复合改性沥青制备装置及制备方法
本技术解决了现有技术存在的普通改性沥青、反应挤出机进行制备的的各自缺陷。本发明能使纳米粒子、聚合物在沥青中充分分散均匀,使所加工的改性沥青达到交通部《公路沥青路面施工技术规范》技术要求, 简化了制备聚合物基纳米复合改性沥青的复杂程序,同时可减少改性沥青制备过程中的有毒物质对环境的污染,复合改性沥青软化点略高于高速剪切法制备的复合改性沥青,低温延度提高幅度很大。
扬州大学 2021-04-14
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