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一种加工硅通孔互连结构的工艺方法
本发明公开了一种加工硅通孔互连结构的工艺方法,步骤为:①在基板上刻蚀盲孔;②在基板上沉积一层图案化介电质层;③刻蚀图案化介电质层,刻蚀掉盲孔底部的介电材料,保留盲孔侧壁的介电材料,在基板上形成介电质孔;④在介电质孔上沉积一层导电材料,形成导电孔;⑤在导电层上再沉积一层图案化介电质层,填充导电孔;⑥刻蚀板背面,暴露出导电层,在导电层上形成焊料微凸点。图案化介电质层的材料优选聚对二甲苯。本发明简化了工艺步骤,减少工艺时间并降低了费用;使用二层图案化介电质层,降低了寄生电容,提升了互连电性能,适用于高速和
华中科技大学 2021-04-14
一种铣削加工颤振主动控制系统及其方法
本发明公开了一种铣削加工颤振主动控制系统,包括位移检测单元、信号采集单元、中央控制单元、音圈电机驱动器和音圈电机,其中位移检测单元用于对工件由于颤振产生的位移执行感测,并获得检测电压信号;信号采集单元用于采集检测电压信号并输送给中央控制单元;中央控制单元根据所接收的信号相应计算控制电压信号;音圈电机驱动器将控制电压信号转换为电流信号并予以功率放大,然后输出至音圈电机使其驱动,由此实现铣削加工颤振主动控制过程。本发明还公开了相应的控制方法。通过本发明,能够以响应快、输出力大、便于操控的方式执行颤振主动
华中科技大学 2021-04-14
一种基于广义区间的切削加工颤振辨识方法
本发明公开了一种基于广义区间的切削加工颤振辨识方法,包括:获取切削加工中的切削数据形成切削加工信号数据集;对切削加工信号数据集进行区间化处理获得广义区间化的数据集,并提取其广义区间特征量集;建立初始的广义神经网络模型,并对切削加工状态进行编码,形成广义神经网络输出的理想目标,训练广义神经网络,获取优化的广义神经网络模型;将待识别的切削加工数据集的广义区间特征量集代入优化的广义神经网络模型中,计算模型输出结果,并对输出结果中的区间最大值对应状态即为辨识的切削加工状态。本发明的方法可以对切削加工颤振进行
华中科技大学 2021-04-14
一种电弧增材与铣削复合加工方法及其产品
本发明公开了一种电弧增材与铣削复合加工的方法,包括:(1) 将需要加工零件的 STL 三维模型进行分层切片及路径规划,生成相应 的 G 代码,然后导入至电弧增材和铣削加工复合装置中进行加工;(2) 控制焊枪的开关,氩气的开关以及复合装置的运动,来进行电弧增材 制造;(3)当使用焊枪堆积达到需要铣削加工的阈值时,暂停电弧增材 加工,同时 G 代码控制焊枪相对于铣刀抬高,成形件移动至铣刀下方 进行轮廓和顶面的铣削加工;(4)
华中科技大学 2021-04-14
微型皮拉尼计与体硅器件集成加工的方法
本发明公开了一种微型皮拉尼计与体硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括:在硅基片正面制备体硅器件所需的绝缘层及电路引线;在硅基片的背面或正面沉积一层绝缘隔热材料,刻蚀去除其四周部分得到绝缘隔热层;在绝缘隔热层上制备加热体和电极;在没有加热体的一面制备图形化的光刻胶掩膜;在有加热体的一面沉积金属膜;将金属膜粘贴在表面有氧化层的硅托片上;对有光刻胶掩膜的一面进行感应耦合等离子体干法刻蚀,刻穿硅基片;去除光刻胶掩膜和金属膜,得到集成结构。本发明能有效提高皮拉尼计的制备与其它工艺的兼容性,解决皮拉尼计与体
华中科技大学 2021-04-14
飞机复杂结构件数控加工动态特征技术及应用
项目组在国家科技重大专项和国家自然科学基金的支持下,提出了以加工动态特征为载体进行加工全过程工艺知识建模的技术思路,攻克了加工动态特征驱动的自动数控编程和加工变形精确控制技术,为复杂结构件从计算机辅助加工到智能数控加工的跨越提供了理论和技术支撑。 一、项目分类 关键核心技术突破 二、成果简介 飞机复杂结构件的数控加工能力是衡量一个国家航空制造水平的重要标志。新一代飞机结构件更复杂、精度要求更高、制造周期要求更短,对五轴联动数控加工技术提出了更高的要求。项目组在国家科技重大专项和国家自然科学基金的支持下,提出了以加工动态特征为载体进行加工全过程工艺知识建模的技术思路,攻克了加工动态特征驱动的自动数控编程和加工变形精确控制技术,为复杂结构件从计算机辅助加工到智能数控加工的跨越提供了理论和技术支撑。成果在多家航空航天企业推广应用,完成了多个军机和C919、ARJ21 等民机型号多件复杂结构件的研制生产,被工信部、发改委和国防科工局作为航空领域国产高档数控机床应用示范工程三大关键共性技术之一,向全国军工制造行业推广。 三、创新点 1.揭示了加工过程中间状态几何参数、工艺参数、监测检测量等动态信息的动态迭代规律和传递规律,突破了基于加工动态特征的加工全过程工艺知识建模技术,实现了复杂结构件工艺知识积累由以零件为载体到以加工动态特征为载体的模式转变。 2.提出了基于特征识别的加工特征自动排序、加工驱动几何自动创建、工艺参数自动迭代方法,构建了加工特征切削参数优化模型,实现了复杂结构件的快速编程和高效加工。 3.提出加工过程中自适应释放和消除工件变形的加工模式,研制出能监测工件变形的浮动装夹工艺装备,突破了基于加工动态特征的装夹/加工/监测/检测自适应协同控制技术,实现了加工变形精确控制。 四、主要技术指标 1.特征自动识别率大于95%; 2.刀轨自动生成率大于95%; 3.数控编程效率提高3倍以上; 4.加工效率提高30%以上; 5.大型复杂结构件加工变形控制在0.05mm/m以内。 五、知识产权及获奖 加工动态特征驱动的智能数控编程与加工技术,研究成果2016年获“国家技术发明二等奖”、2015年获“中国机械工业科学技术一等奖”。目前已拥有授权国家发明专利60余项。 六、成果图片   图1 成果总体技术   图2 加工过程零件面型检测
南京航空航天大学 2022-08-12
奶牛用小型高密度饲草型发酵TMR加工技术
一、成果简介 根据奶牛不同生长发育阶段的营养需求,以优质饲草为主要原料,通过搅拌机制成全混合日粮(TMR),然后采用特定的设备高密度压缩成型并进行一段时间的密封贮藏,经过乳酸发酵而调制成的全价发酵饲料。该发酵TMR原料以干重计:牧草30~40%、饲料作物青贮25~30%、蛋白饲料5~10%、能量饲料15~20%、糖蜜1~2%、食品加工副产品5~10%、矿物质和维生素等添加剂3~5%。发酵4周以后可以开封直接饲喂。混合饲料经发酵后能够明显改善饲料的品质
中国农业大学 2021-04-14
加工型菠菜无刺黄瓜新品种选育及开发
可以量产/n利用重组育种和优势育种相结合的方法,选育了两个无刺百皮黄瓜杂种一代新品种"华黄瓜3号"和"华黄瓜4号"。具有早熟、优质、丰产、抗病等特点。与对照品种相比,早熟5天以上;产量高8.7-14%;瓜条直,无瓜把,瓜皮白色,质脆味甜;较抗霜霉病和白粉病。两品种已通过了湖北省农作物品种审定委员会审定,并在生产中大面积推广,取得了较大的经济效益和社会效益。利用秋水仙素诱导加倍的方法选育出一个四倍体菠菜新品系,该品系平均株高14.5厘米,株型宽阔,叶柄短,平均叶柄长5.63厘米(对照为9.68厘米),
华中农业大学 2021-01-12
青花菜采后保鲜与精深加工技术
本项目提出了实用的鲜切青花菜的保鲜方法,建立了青花菜贮藏技术规程、 鲜切青花菜销售技术规程。同时,优化了青花菜超微粉制备的工艺参数,提高 了超微粉的质量;优化了超声波辅助酶法提取青花菜多酚的工艺,多酚回收率 高达 90%以上。
青岛农业大学 2021-01-12
XK2420 数控龙门镗铣床及五面加工中心
此项目是上海理工大学与上海重型机床厂及太原第一机床厂产学研合作,开发的大型数控机床,由上海理工大学应用技术研究所设计、上海重型机床厂/太原第一机床厂制造。机床为工作台移动、定梁龙门式镗铣类大型机床。工作台长度×宽度:8000×2000mm、立柱间通过宽度 2500mm,机床自重 76500Kg、工作台可承载工件重量 5000Kg。适合于各类板类、箱体类和机架类零件的数控加工,可进行铣、镗、钻、铰、攻丝等各种操作,对复杂型面和空间曲面进行三座标联动数控插补加工。机床还配套有可交换的卧式镗铣头和万能镗铣
上海理工大学 2021-01-12
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