产品详细介绍

本发明公开了一种原子层沉积装置，包括原子层沉积单元喷头，所述单元喷头包括高压气流入口，惰性隔离气体入口通道，出气口通 道，和两种前驱体入口通道，其中所述高压气流入口喷出高压气体以 顶起整个沉积装置，该装置是微型开放式且可移动可扩展，能够适用 于大型非平整结构表面薄膜沉积，并可直接经过简单多块组合，增加 沉积效率。

本发明公开了一种原子层沉积装置，包括原子层沉积单元喷头，所述单元喷头包括高压气流入口，惰性隔离气体入口通道，出气口通道，和两种前驱体入口通道，其中所述高压气流入口喷出高压气体以顶起整个沉积装置，该装置是微型开放式且可移动可扩展，能够适用于大型非平整结构表面薄膜沉积，并可直接经过简单多块组合，增加沉积效率。

本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置，所 述方法，即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动，依次通过其内 用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统，基片通过每个原子层沉 积系统时：调整基片温度为相应原子层沉积反应最适温度。所述装置， 包括原子层沉积反应腔、基片承载台、运动平台和温度控制装置；原 子层沉积反应腔依次设置有多个原子层沉积系统；基片承载台，设置 在原子层沉积反应腔下方；运动平台，与基片承载台连接，带动基片 承载台运动；温度控制装置，设置在基片承载台下方。所述方法能高 效快速的制备多元物质原子层沉积膜，所述装置，能方便的通过现有 原子层沉积系统组装，兼容性强，功耗低，沉积效率高。 

已在玉门油田试用，用于伴生气回收，试用结果表明该机组运行稳定可靠、 能实现无人值守，且对井口压力的波动适应性好。

能源短缺和环境污染是21世纪人类所面临的首要问题，寻求清洁替代能源是解决这一问题的有效途径，尤其是汽车燃料替代。天然气作为汽油替代燃料已经表现出了经济、环境等各方面的明显综合优势，目前在世界范围内正处于迅速发展阶段。国内近年迅速发展的汽车工业、世界能源结构的调整、西气东输工程的顺利进行都在极大地推动着汽车燃料向天然气的转换。天然气在汽车中以200个大气压的高压状态储存，因而其充装需要在专门的加气站进行，并需要远比加油机复杂得多的专门设备，这些设备中最核心的装置是天然气压缩机组，它几乎占据了加气站设备投资的一半，这决定了其生产利润的可观性，因而这一产业近年迅速崛起。加气站压缩机也称CNG压缩机，根据使用场合及天然气来源的不同有母站压缩机、常规站压缩机、子站压缩机三种型式。这种设备属于机电一体化成套机组，具有较高的技术含量和生产技术难度，同时也具有较高的生产利润率。国内已有几个厂家已介入了CNG成套机组的生产，国外产品也正涌入中国市场。目前该产品生产的毛利率仍然较高，市场需求量也正大幅度提升，产品生产组织的条件和投资不大，因而是一个良好的进入楔机，具有广阔的市场前景。 本项目始于1995年，获2007年度国家863计划立项，所研发的产品和技术的主要创新性和领先性在于：①我们持有相关技术的多项自主知识产权专利，在国内最早开始从事相关技术研究和产业推广工作，具有丰富的研究成果和产业化推广经验；②我们具有丰富的实践经验，曾为国内多家企业开发过各种规格的母站、常规站、子站CNG压缩机产品，目前国内市场在售的许多国产CNG压缩机产品都是我们主持开发或协助开发的，部分产品已经出口国外数十台套；③我们具有敦实的基础性研究成果，著有国内唯一的《CNG压缩机及其设备》科研专著；④我们的研究水平居于国际前列，基于国家863计划研发的“大型CNG母子站成套压缩机组研发及产业化”项目产品已经被产业化实施，并服务于中石油、中石化等大型天然气发展机构。 目前国内天然气汽车的普遍应用仍只局限于西安、成都、乌市等西部地区和城市，随着西气东输工程的进行，以及东海油气田的探明，我国东部大部分地区将迅速开始天然气汽车技术的发展。加气站建设是燃气汽车发展的基础性设施，所以未来5～10年将会是一个加气站设备产品需求的高峰期，预计2010年前的国内市场需求至少在1000套。十年前的天然气汽车及加气站装备主要靠国外引进，近五年来相关技术和全部装置已经完全实现了国产化，技术研发、产品生产、零部件配套、相应工程设计和安装调试等国内均可解决，市场介入时机成熟。CNG压缩机组属于大型成套设备，订单式单件生产，属典型的机械制造业，目前产品生产的毛利率约在40％，效益比较可观。

我国现有规模化的垃圾填埋场一千座以上，可利用的垃圾填埋气资源巨大，已现有的垃圾填埋气利用方式主要是发电并网，适用于在规模较大的填埋场中应用，随着天然气价格的逐步升高，将填埋气净化制备车用天然气燃料具有良好的应用前景。南京大学的垃圾填埋气净化提纯制备车用天然气技术将抽采出的填埋气：CH4、CO2、 O2、N2、H2O、H2S、NH3进行脱硫、脱碳、脱氧、脱水净化处理，获得天然气和汽车用压缩天然气。南京大学此技术已开展了中试研究，基本具备了产品转化与推广应用条件。研发技术还可在沼气、煤层气净化

本发明公开了一种用于多晶硅铸锭炉的隔热块，设置在多晶硅铸锭炉的坩埚底部外周，用于坩埚加热或冷却多晶硅过程中的隔热保温，该隔热块为中空方形筒体结构，筒体筒壁为中空夹层结构，其中内壁用于包覆设置在坩埚底部的热交换块外周壁面，且该内壁与所述热交换块外周壁面具有间隙，所述外壁用于与设置在坩埚外围的竖直隔热板固定接触，所述坩埚中心线、热交换块中心线以及隔热块中心线重合，且所述隔热块顶部低于热交换块顶部。本发明还公开了具有

加气混凝土保温砌块是由混凝土和加气混凝土复合而成；将混凝土芯块设置在砌块 内部，作为承重材料，将加气混凝土层设置在承重的混凝土芯块外围，作为混凝土芯块 的外保温层；混凝土芯块可以为实心，也可以为空心。由于砌块具有自保温功能，因此 既可降低墙体温差应力减少墙面开裂，又可降低建筑能耗。与有机保温材料相比，由于 选择加气混凝土作为外保温层，因此既可延长墙体保温层的使用寿命，又可避免冷桥出 现。由于选择普通混凝土作为主要承重材料，因此既可满足承载力的要求，又可满足经 济性的要求。经原型试验，证实复合砌块的抗压强度可达到 10MPa 以上，墙体的保温性 能可得到明显改善；生产工艺简单，现场砌筑与普通多孔砖无异，墙体综合造价相对较 低。

课题组在国防973项目、教育部“创新团队发展计划”项目、总装预研基金项目、国家自然科学基金等项目支持下，深入开展SiO2气凝胶、碳化物气凝胶等方面研究工作。纤维增强SiO2气凝胶的耐温性达650℃、密度在0.1~0.3g/cm3、热导率：0.02W/(m•K)(25℃)、抗压强度在0.4~1MPa；纤维增强SiC气凝胶在有氧环境耐温1400℃、无氧环境下耐温1600℃、密度在0.28~0.6g/cm3、抗压强度大于2Mpa、孔隙率在85~94%、室温下热导率为0.07W/(m•K)。产品可用于外墙保温专用气凝胶板材、气凝胶玻璃、钢结构防火，替代传统的保温材料对管道、炉窑及其他热工设备、热水器、冷藏设备，大型海洋舰艇、船舶、客车、航天导弹等保温。其中纤维增强SiO2气凝胶材料方面研究成果已经部分转让两家企业进行产业化生产，产生了显著的经济和社会效益。