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HMDS真空预处理烘箱
HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格: 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450     型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600   二、 技术参数: 1、控温范围:RT+10~250℃  2、温度分辨率:0.1℃     3、温度波动度:±1℃ 4、达到真空度:小于133Pa 5、真空度:100Pa~100000Pa 6、定时范围:1~9999min 7、工作室材料:316L 8、样品架:2块、3块 9、真空泵:4L/S 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率:3000W、4500W 三、产品特点: 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程: 1、首先确定烘箱工作温度; 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。 五、控制系统: 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器; 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠; 六、保护系统: 1、漏电保护; 2、超温保护; 3、缺液保护;              七、设备使用条件: 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃) 2、环境湿度:≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺: 保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。
北京中科博达仪器科技有限公司 2026-01-15
生活污水处理设备 一体化地埋式污水处理设备处理工艺
海辰环保一体化生活污水处理设备,不同小区对出水的要求差异较大。应根据我国《地面环境质量标准》(GB3838-88)和《污水综合排放标准》(GB8978-96)的有关规定和当地环保部门的要求确定处理程度,以确保出水水质。如果出水采用土地处理法处理,则按土地处理法的要求计算; 根据小区生活污水处理的原则,应选择处理效果稳定、产泥少、节能的处理方法。小区系统中的各类建筑物一般均建有化粪池,所以,化粪池应与污水处理方法相结合。 小区生活污水处理常用的几种处理工艺: 1、污水→格栅→调节池→提升泵→曝气池→沉淀池→出水 ↑←污泥回流↓ 2、污水→格栅→调节池→提升泵→接触氧化池→沉淀池→出水 3、污水→格栅→调节池→提升泵→混凝沉淀→过滤→出水(物化方法) 加药 4、污水→格栅→调节池→提升泵→SBR池或CASS→出水 加药 5、污水→格栅→调节池→提升泵→接触氧化池→混凝过滤→出水 回用工艺流程: 生物处理出水再经混凝过滤和消毒 在流程开始时一般要考虑设置均化池,这是因为小区在水质和水量上的变化都比城市污水处理厂大。均化池一般设在格栅以后。物化和生化处理是去除污染物的核心部分。
山东海辰环保科技股份有限公司 2021-08-26
一种用于再生水处理的脱氮除磷抗菌复合水处理材料
针对再生水中氮、磷、有害病菌难以同步去除问题,以天然沸石为载体,对其进行盐-热复合改性,负载镧氧化物,再载入无机抗菌离子,赋予沸石同步脱氮除磷抗菌功能,为再生水处理提供重要技术支撑。氨氮初始浓度为 8mg/L、总磷浓度为 1mg/L、大肠杆菌浓度为 104cfu/L,复合水处理材料投加量为 2g/L,搅拌 3h 后,其脱氮率达到 99.2%,总磷和大肠杆菌均未能检出,吸附饱和材料可多次进行再生利用。
北京科技大学 2021-04-13
IFC 化肥增效剂
IFC 增效剂利用植物微量营养元素和少量植物生理活性元素为有效成份,采用木质素衍生物络合,再通过廉价隋性吸附材料吸附制成。 IFC-T 化肥增效剂除了具有传统的脲酶抑制剂、硝化抑制剂及其他一些农用肥剂相似的作用效果外,更具有促进作物养分吸收和同化、提高作物抵御不良环境的能力等作用。以改善作物生长、促进作物对土壤、肥料养分的主动吸收利用为核心,使土壤环境中各种养分浓度和作物体内奢侈性硝酸盐积累降至较低水平,从源头上控制可进入水体环境的硝酸盐数量。
扬州大学 2021-04-14
染整废水集中深度处理新工艺
本工艺采用染整废水集中处理,把棉、毛、丝、麻、毛巾、床单、丝织等各种各样的染整废水集中在一起进行处理。①稳定了水质,有利于生产管理;②对处理系统中一群混合的微生物来说,多种多样的营养可以培养多种多样的细菌,提高了系统的处理效率;③大规模集中处理具有规模效应,克服了各厂单独处理废水时,由于水质波动而引起的冲击以及污泥膨胀、处理效果不佳、处理成本高等弊病。特别是染整废水生物处理后排出的剩余污泥,一般采用化学处理,将含水率99%的剩余污泥浓缩至含水率为98~97%,然后投加大量无机化学凝聚剂、高分子混凝剂、石灰进行机械脱水成含水率70~80%的泥浆、泥饼,外运填埋或是焚烧。一般很难找到出路,且易造成二次污染。 本成果在集中处理的基础上,提高单元处理设备的能力,把一个曝分成三段,通过改变污泥负荷来控制污泥指数,减少剩余污泥产生该成果获中国纺织总会科技进步三等奖。
东华大学 2021-02-01
高盐废水资源化处理技术
化工、制药、农药等行业排放的高盐废水是最难处理的一类工业废水,目前国内大多数企 业仍采用稀释生化法处理此类废水,只有少数企业采用蒸发脱盐。稀释生化不仅要消耗大量的 淡水资源,而且还增加废水的排放体积,不符合国家的污染减排政策。而蒸发脱盐不仅设备投 资高,而且运行成本也很高,且蒸发析出的盐往往会带有一些有机污染物,不能作为一般的工 业盐使用,甚至可能还要视为危险固体废物,必须委托有资质的单位进行无害化处置,费用非 常高。为了彻底解决高盐废水处理问题,本项目研究开发了高盐废水的资源化技术,即首先通 过催化氧化技术去除高盐废水中的有机污染物,然后将处理过的高盐废水用作氯碱厂生产氯气 和烧碱的原料,即实现了氯化钠的资源化利用。
华东理工大学 2021-04-11
废水深度处理与回用技术
造纸、化工、石化、纺织等行业用水量大,在水资源越来越紧张的当下,控制这些行业的 用水是大势所趋,这些行业进行废水深度处理与回用是降低水耗的关键。最近几年,华东理工 大学环境工程研究所针对不同行业废水的特点,研究开发了一些废水深度处理与回用技术,如 催化氧化技术、催化氧化-曝气生物滤池组合技术、催化氧化-生物活性炭技术、催化还原-生物 组合技术、双膜工艺等。
华东理工大学 2021-04-11
光催化技术处理有机废水技术
上海交通大学 2021-04-13
处理染料废水的豆渣吸附剂
北京工业大学 2021-04-14
活性氧处理有机废气废水技术
江南大学安全检测与分析研究室在有机废气废水的检测和治理方面有着多年的研究经验,开发出基于活性氧氧化分解有机污染物的关键技术,为企业提供各类有机废气/废水的检测和处理工艺和装备研发。以高效低耗、无害化、资源化处理新技术,实现废气/废水达标减排;研制与资源循环利用相协调的废气/废水集成处理体系,实现工程化转化;利用物联网、GPRS/3G 无线通讯技术实现对企业废气净化治理状态及效能进行 24 小时在线监控,实现采集、传输、存储功能一体。
江南大学 2021-04-13
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