目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系，这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成，这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移，导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂，且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸，因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶， 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物，再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基，由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶，这些正型248-nm光刻胶获得了高感度（20-50mJ/cm2）、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率（＞99%）及图形线条平滑陡直等的出色表现。   利用高分子产酸剂透明性好的特点，还制备了厚膜248-nm光刻胶，可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5：1的光刻图形：   在此基础上，还制备了负型248-nm光刻胶，这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备，原料易得，反应条件温和可控，去金属杂质的方法也是简便易行，成本相对低廉，在经过多年的深入研究之后，完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中，对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料，日本公司的产品占据全球市场的70%以上，而我国在中高端产品上（248-nm光刻胶、193-nm光刻胶）完全依赖进口，即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此，我们必须尽快扭转这种不利的局面，这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注，已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化，但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多，本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始，至今近二十年来聚焦于光刻胶研究，在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果，也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章： 1.国家重大科技专项（02专项）子课题,课题编号:2010ZX02303（深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究） 2.国家自然科学基金应急管理项目，51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning，European Polymer Journal，114（2019），11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application，Reactive and Functional Polymers，130（2018），118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用，中国发明专利，专利号：9。

成果描述：癫痫是一种由于神经元异常放电所致的反复发作的慢性综合征，为常见疾病，全球患病率约5‰～10‰，每年每万人中约有20～70个新发病例。除部分患者能通过手术等方式针 对病因进行治疗外，大部分患者需要长期服用抗癫痫药物(Antiepileptic Drugs, AEDs)。虽然目前世界上批准上市的AEDs超过20种，但现有AEDs单药或联合治疗后，仍有约1/3的患者呈现药物抵抗，为难治性癫痫，因此药品研发人员一直在致力于开发新的抗癫痫药。2012年10月美国FDA批准了一种新型口服抗癫痫药吡仑帕奈(perampanel)。 吡仑帕奈是第一个被批准上市的AMPA受体拮抗剂AEDs，临床试验已证实其在辅助治疗癫痫部分发作方面有明确的临床疗效，为难治性癫痫患者提供了一个新的用药选择。目前，国内多家一线药企已经开始在国内申报新药批件。 技术目前处于国内领先水平。由于其原料药制备工艺复杂，原料成本昂贵，从而对开发工作及市场拓展带来一系列困难。经过研发团队的攻关，使用新型催化剂，极大地降低了原料及生产成本，并已经进入小批量化生产。目前，是国内唯一的关键中间体供应商，客户包括国内四家一线药企，并出口进入国际市场，完成了相关的国外DMF文件注册。市场前景分析：全球患病率约为5‰～10‰，每年每万人中约有20～70个新发病例[1]。除部分患者能通过手术等方式针对病因进行治疗外，大部分患者需要长期服用抗癫痫药物。与同类成果相比的优势分析：HPLC>99%,国内先进。

随着机器学习与人工智能的发展，传统的CPU已经无法满足大规模神经网络训练的需要。在当前机器学习与神经网络的热潮下，美国互联网和IC巨头纷纷推出自己的神经网络/人工智能芯片，抢占这一未来市场。我们研发的神经网络/人工智能芯片可以验证多种深度学习算法及应用，具有完全自主知识产权，是将来可以挑战美国人工智能芯片领域的一个重要突破。

以提高烟气中水分含量和降低烟气抽吸时的刺激性为指标,开发出了植物天 然提取物、多糖和盐类等多种新型保润剂,并运用于烟丝和再造烟叶,提高他们 的抽吸舒适度。上述技术与数家中烟工业公司合作,取得了良好的经济效益。

小试阶段/n传统的变压器机械开关有载调压装置存在下列问题：（1）分接头调节时，对电网产生冲击，甚至掉档或错档，引起严重事故（某供电局1年内出现三次此类事故）；（2）机械触头间产生电弧使变压器绝缘油极化，经常需要更换、过滤绝缘油；（3）不能进行动态调节；（4）切空载变压器产生较高的过电压；（5）辅助触头中的过渡电阻在切换过程中被击穿烧断；（6）分接开关密封不严，进水造成相间短路；（7）由于触头滚轮卡住，使分接开关停在过渡位置，

中试阶段/n人体血管总长约9.6万千米，可绕赤道2.7圈。在人类所有的疾病中，因血液循环不畅造成的疾病占67%，我国每年约有700万人死于心脑血管相关疾病，患病总人数超过3亿，2015年全球心脑血管疾病相关市场超过1万亿美元。心脑血管疾病属社会重大疾病，严重危害国民健康，QK纤溶酶的产业化对于心脑血管疾病的预防和治疗具有重大的社会意义，同时具有巨大的市场应用前景和价值。新一代溶栓蛋白酶枯草杆菌QK纤溶酶从上千株菌株中筛选得到枯草芽孢杆菌Subtilisin-QK，发酵产生

可以量产/n浮选是一种应用很广的矿物分选技术。在有色金属矿领域，其应用比例约占90%；在黑色金属矿领域，其应用比例约占50%；在其它矿产资源领域，20%以上的精矿产品是用浮选方法获得的。浮选所用的设备类型很多，包括机械搅拌式浮选机、浮选柱、气动浮选机和泡沫分离器等。其中，应用最广的是机械搅拌自吸式浮选机，占据着浮选设备的主导地位。自吸式浮选机的核心构件是其机械搅拌装置，虽然其结构随着浮选机的发展不断完善，但一个转子配一个定子的1+1结构模式却没有实质性改变。这种结构模式的不足在于： 。（1）浮选机充

研发阶段/n华中农业大学生物质与生物能源研究中心自成立以来，在彭良才博士的带领下正大力开展新型能源作物的培育和秸秆酒精产业化相关技术的攻关。通过与国内多家科研院所合作，己筛选和鉴定出一批适应于我国边际土地种植的生物质产量大和木质纤维素降解转化效率高的能源植物（甜高梁和芒草）。采用现代生物技术，对我国三大粮食作物（水稻、小麦和玉米）其秸秆细胞壁结构与组成展开遗传改良，已筛选出一批理想能源作物的新材料，不仅粮食产量稳定，其秸秆降解转化酒精的效率明显提高，同时还可提高秸秆的综合利用（如饲料、造纸、化工产品

水液压传动技术是当前流体传动与控制领域的一个前沿热点研究方向，在高层建筑灭火、食品加 工、高压水射流清洗、潜器浮力调节、水下液压机械手及作业工具等方面具有广泛的应用前景。北京工  业大学流体传动与控制中心经过长期实验和实践积累，在国内水液压技术方面具有领先优势，通过国家 863、国家自然科学基金等项目资助，已经掌握海水液压泵的关键技术，并成功研制出多台高可靠海水液 压泵样机， 样机采用全水润滑的盘配流轴向柱塞式结构，其额定工作压力可达 14 MPa，额定转速 1500 r/ min，工作流量在 100 L/min 左右，容积效率约为 85%，也可根据需要进行系列化设计，满足不同工作压力和流量需求。