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一种基于微流控芯片粒子捕获式的单粒子散射测量方法
本发明公开了一种基于微流控芯片粒子捕获式单粒子散射测量 方法，包括微流控芯片的设计制作、测量环境配置、对准、单粒子的 捕获和单粒子环境的构建以及单粒子大角度的散射分布的测定等相关 方法。与现有技术相比，由于结合了微流控芯片粒子捕获技术，克服 了单粒子的大角度散射、大动态范围内的光散射特性测量方法的不足， 实现了单粒子大角度散射分布的测量
华中科技大学
2021-04-14
单粒子束散射光强分布的测量装置
可以量产/n该成果公开了一种单粒子束散射光强分布的测量装置，它包括光源、分光光路、光接收和探测组件以及微流控芯片组件，所述光源包括主测量光源、辅助测量光源和系统调整光源；所述分光光路包括分光镜和PIN管；所述光接收和探测组件包括90°离轴抛物面反射镜、望远镜镜组、光阑、滤光片、ICCD探测器、信号探测及发生电路、复合滤光片、PMT探测器、示波器和计算机；所述微流控芯片组件包括微流控芯片、光屏、三轴调节具和微流泵。另外，本实用新型还公开了一种单粒子束散射光强分布的测量方法。
华中农业大学
2021-01-12
一种基于微流控芯片粒子捕获式的单粒子散射测量装置
本发明公开了一种基于微流控芯片粒子捕获式单粒子散射测量 装置，包括光源、分光光路、测量对准组件、探测组件和微流控芯片。 结合 Mie 散射理论计算的理论散射曲线参照，完成单粒子圆周范围内 大角度范围散射场的测量；同时由于结合了微流控芯片技术，解决了 单粒子的捕获和单粒子环境的构建问题。
华中科技大学
2021-04-14
光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法
本发明公开了一种光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测 量方法，可以对 IC 制造中所涉及纳米结构的结构参数和粗糙度特征参 数进行非接触、非破坏的测量。首先，通过仿真分析的手段，选出最 优测量配置与最优等效介质模型；其次，将上述仿真结果运用于实际 纳米结构的测量，包括：在最优测量配置下，对实际纳米结构进行光 学散射测量，获得测量光谱；运用基于最优等效介质模型的参数提取 算法，对测量光谱进行分析，获得提取参数的数值；通过提取参数与 待测参数间稳定性最佳的映射关系式对提取参数进行映射，获得待测 参数的数值。
华中科技大学
2021-04-11
光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法
本发明公开了一种光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法，可以对 IC 制造中所涉及纳米结构的结构参数和粗糙度特征参数进行非接触、非破坏的测量。首先，通过仿真分析的手段，选出最优测量配置与最优等效介质模型；其次，将上述仿真结果运用于实际纳米结构的测量，包括：在最优测量配置下，对实际纳米结构进行光学散射测量，获得测量光谱；运用基于最优等效介质模型的参数提取算法，对测量光谱进行分析，获得提取参数的数值；通过提取参数与待测参数间稳定性最佳的映射关系式对提取参数进行映射，获得待测参数的数值。
华中科技大学
2021-04-14
纳米尺度下大面积散射场的快速测量方法及装置
本发明公开了一种纳米尺度下快速大面积海量散射场测量的装 置，包括:起偏端，用于将光束进行调制得到一定偏振态的光束;检 偏端，用于将偏振态光束进行解调以获得样品信息;还包括物镜和第 一透镜，待测样品位于物镜的前焦面上，偏振态光束经过该第一透镜 聚焦在物镜的后焦面，待测样品散射光被物镜收集并成像于其后焦面， 进而成像于图像采集装置上;以及扫描振镜，用于使得所述物镜出射 到样品上的光束角度改变，获得待测样品不同入射角下的散射场分布 图像，实现对待测样品纳米尺度下的快速精确的形貌测量。本发明还 公开了相应的
华中科技大学
2021-04-14
一种基于磁纳米粒子交流磁化率的温度测量方法
本发明公开了一种基于磁纳米粒子交流磁化率的温度测量方法，所述方法包括如下步骤：(1)确定待测对象区域，并利用通电螺线管对待测区域施加交流激励磁场；(2)利用探测线圈采集交流激励磁场下待测区域的磁感应强度 H1；(3)保持交流激励磁场不变，将磁纳米样品放置于待测对象的待测区域内，利用探测线圈采集施加磁纳米样品之后待测区域的磁感应强度 H2；(4)计算磁纳米粒子的交流磁化率χ的实部χ’和虚部χ”；其中的 A1，A2，α都
华中科技大学
2021-04-14
测量芯片与基板相对倾角测量方法及系统
本发明公开了一种测量平面角度方法、芯片与基板相对倾角测量方法及系统，芯片和基板相对倾角的测量方法包括步骤 S21 采用标定的方式获得第一基准平面与第二基准平面之间的角度误差；S22 根据测量平面角度的方法并结合第一高度传感器测得的高度距离获得芯片与第一基准平面的第一倾角，并根据测量平面角度的方法并结合第二高度传感器测得的高度距离获得基板与第二基准平面的第二倾角；S23 将第二倾角、第一倾角和角度误差做向量减法运算获得芯片与基板之间的相对倾角。本发明利用高度传感器测量多点高度测量倾角，进而利用倾角标定
华中科技大学
2021-04-14
光散射颗粒和雾化测量
针对涡轮发动机等各类喷嘴燃油雾化试验，或水雾两相流中颗粒度测量，研究两相流参数测试技术。重点研究：(1)喷嘴雾化场中雾滴的粒径分布、各种等效粒径参数(如中位径、索太尔直径D32、X10和X90等)以及雾滴浓度的测试方法和实现技术；(2)对喷嘴雾化场中雾滴多参数的空间分布特性进行测试；(3)对喷嘴雾化的不同工况，例如不同压力、流量、油气比条件下进行测试，分析不同工况下雾化特性，获得变化规律。
上海理工大学
2023-05-09
柔性在线自动测量方法、技术及应用
仪器仪表科学技术领域,创新性地利用工业机器人作为柔性运动平台，发明了面向现代混流制造的柔性在线测量新方法，通过有效的误差控制方法设计和精细的技术实施，结合专用多功能非接触测量传感器，很好地解决了柔性在线测量灵活性、测量精度、测量效率三者之间的矛盾，实现了高性能柔性在线测量应用。发明产品通过了一汽大众、东风神龙等国内主流汽车厂的严格考核，形成了产业化应用，为多品种混流制造提供了先进的测量手段支持。
天津大学
2021-04-14