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248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。   利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:   在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
北京师范大学 2021-05-09
一种银基导电胶的制备方法
(专利号:ZL 201410111072.3) 简介:本发明公开了一种银基导电胶的制备方法,属于复合材料制备技术领域。该制备方法具体步骤是:将γ-环糊精、硝酸银、聚丙烯酸钠、浓硝酸、蒸馏水混合,搅拌加热至50~80℃,缓慢滴加抗坏血酸、3,4-乙烯二氧噻吩、吡咯赖氨酸、蒸馏水的混合溶液,反应1小时,过滤,经大量蒸馏水、乙醇洗涤,干燥后得到银含量为88~96%的银基复合导电粒子;将环氧树脂、固化剂以及银基复合导电粒子充分混合,100℃下固化
安徽工业大学 2021-01-12
电子束辐射处理技术改性车用胶条
已有样品/n以辐射加工技术为代表的非动力核技术应用对传统的加工方式产生了颠覆性创新,比如航天航空特种电线、污水处理、材料改性等,产生了很好的经济效益和社会效益。汽车雨刮胶条主要成分是天然橡胶或合成橡胶,实验研究表明电子束辐射能改变橡胶传统的硫化方式,有效提升交联度,通过辐射处理的胶条具有更好的耐候性、耐磨性、拔水性。比如,经过辐照处理后,胶条刮擦循环稳定性可达50 万次,抗拉强度(100%)从4.92MPa 增加到8
华中科技大学 2021-01-12
一种荧光粉胶的涂覆方法
本发明公开了一种荧光粉胶的涂覆方法,属于 LED 封装领域,其采用压印方式对 LED 芯片进行荧光粉胶涂覆,包括 S1 将 LED 芯片固定在封装基板上;S2 将荧光粉胶涂覆在所述 LED 芯片上或者所述压印块的端面上,将所述压印块与所述 LED 芯片通过压印方式贴合一起;S3 待荧光粉胶在所述压印块和所述 LED 芯片之间稳定成形后,对所述荧光粉胶进行固化处理获得荧光粉层,实现荧光粉胶的涂覆。本发明方法操作简单,成本低,可灵活控制荧光粉胶形貌,从而提升LED封装光色一致性,其封装成本低,可大规模应用在工业中进行LED封装。
华中科技大学 2021-04-13
新型高档造纸中性施胶剂AKD清洁工艺
AKD中性施胶剂是现代造纸工业中应用最为广泛的一类施胶剂。传统的AKD 合成方法需加入苯类有机溶剂,残留于产品AKD中,损害人体健康,影响AKD产品的下游应用不能用于食品包装用纸领域。本技术通过采用新型绿色高效工艺合成AKD。解决了目前AKD生产中的问题。得到的AKD可用于高端造纸领域。
华东理工大学 2021-04-13
一种甲壳素纤维或壳聚糖纤维的真空冷冻干燥方法
“一种甲壳素纤维或壳聚糖纤维的真空冷冻干燥方法”将真空冷冻干燥技术应用于甲壳素/壳聚糖纤维生产过程中的脱水干燥,这种方法和技术可以提高甲壳素/壳聚糖纤维特别是生物医用甲壳素/壳聚糖纤维的柔顺性、蓬松性、吸水性。相对于现有甲壳素/壳聚糖等纤维生产技术,本发明技术可以减少危险性有机化学品的应用,技术工艺简单、易控,过程安全高效、稳定可靠。发明技术应用于工业生产中,绿色环保、社会效益显著。
青岛大学 2021-04-13
功能化系列共聚酯和纤维
采用高速纺丝和拉伸技术开发了高收缩涤纶,研制成具有微孔结构、保水率15%-20%的高吸水涤纶,开发了舒适性阳离子染料可染长丝以及共聚酯和纤维。相关成果获2003年度国家科技进步二等奖、1992年度国家科技进步三等奖、1988年度上海市科技进步一等奖、2002年度上海市科技进步一等奖和1991度纺织部科技进步二等奖等。
东华大学 2021-02-01
特殊形貌的聚酰胺纤维
目前人类获取水源的新途径有海水淡化、污水处理等,这些方法都成本较高,浪费大量能耗,而且操作过程复杂。近年来,科研人员针对这一问题展开了大量研究,探索出从空气中获取淡水资源的新思路,简称空气取水。空气取水在日常生活中普遍存在,如在浴室墙壁、镜面上凝成的水珠不能快速脱落,因此需要寻找一种材料或方法,让水汽快速凝成水珠并脱落。 通过纺制异形聚酰胺纤维(指尼龙6)来提高聚酰胺纤维的凝水性能,相当于做一种相转变催化剂,实现“新鲜凝水表面-凝成水滴-水滴聚并-水滴脱落-新鲜凝水表面”这样一个循环(如图),从而提高人类从空气中取水的效率。
北京大学 2021-02-01
纳米纤维基凝胶电解质
凝胶电解质具有电导率高,界面电阻小,安全性高,稳定性好等优势,有望替代传统锂金属电池液体电解液,解决锂金属电池的电解液泄露、高温胀气、锂枝晶等安全问题。 纳米纤维具有纤维直径小、比表面积大、孔隙率高、柔软、耐高低温及有机溶剂腐蚀等特点,保证纳米纤维锂离子电池凝胶电解质具有很强的吸液和保液能力。纳米纤维作为凝胶电解质支撑层不仅保证具有足够的吸收聚合物液体的能力,而且保证电解质的柔性,为可穿戴电子设备提供柔性电源。
北京科技大学 2021-02-01
胶原纤维固化单宁吸附材料
成果描述:吸附法是处理大量低浓度(<100mg/L)有毒重金属废水的最有效方法,是废水末端处理的关键技术之一。而吸附材料是吸附过程的重要物质基础,我国目前工业上普遍使用的活性炭吸附剂,其吸附容量低、适用范围不宽,而且再生困难、价格较高,使吸附法的广泛应用受到限制。从而导致我国废水处理工艺中,末端处理成本高,而且往往难以达标排放,这是困扰我国废水处理的关键技术难题。 单宁是具有与金属离子较强结合能力的天然多酚类化合物。本技术以制革厂的边角料获取胶原纤维,开发出了胶原纤维固化单宁吸附材料,主要用于水体中有毒重金属的吸附脱除。 该技术已获得国家发明专利(胶原纤维固化单宁吸附材料及其制备方法和对金属离子的吸附分离,发明专利,专利号:ZL021341745)。市场前景分析:废水中有毒重金属离子的去除,有用金属的回收。金属离子废水约占整个废水量的20%左右,市场需求很大。与同类成果相比的优势分析:与传统吸附剂相比,具有吸附容量大、吸附速度快的优点。吨水处理成本降低50-70%。国际先进。
四川大学 2021-04-10
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